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Installation
Fig. 10:
Raccordement des vis à tête hexagonale et des trous taraudés
1. Pour le raccordement de la pompe turbomoléculaire, utilisez uniquement les kits de montage
2. Placez la bride à chapeau au-dessus de la bride de vide poussé sur la pompe turbomoléculaire.
3. Insérez le circlip dans la gorge latérale sur la bride de vide poussé de la pompe turbomoléculaire.
4. Fixez la pompe turbomoléculaire avec la bride à chapeau, le circlip et l'anneau de centrage à la
5. Utilisez tous les composants prescrits pour la pompe turbomoléculaire.
6. Vissez les vis à tête hexagonale dans les trous taraudés.
7. Serrez les vis à tête hexagonale en croix en 3 étapes.
Fig. 11:
Raccordement du goujon fileté et du trou taraudé
1. Pour le raccordement de la pompe turbomoléculaire, utilisez uniquement les kits de montage
2. Vissez le nombre requis de goujons avec l'extrémité la plus courte dans les trous de la contre-
3. Placez la bride à chapeau au-dessus de la bride de vide poussé sur la pompe turbomoléculaire.
4. Insérez le circlip dans la gorge latérale sur la bride de vide poussé de la pompe turbomoléculaire.
5. Fixez la pompe turbomoléculaire avec la bride à chapeau, le circlip et l'anneau de centrage à la
6. Utilisez tous les composants prescrits pour la pompe turbomoléculaire.
7. Bloquez les écrous en croix en 3 étapes.
Fig. 12:
Raccordement des goujons et des trous traversants
1. Pour le raccordement de la pompe turbomoléculaire, utilisez uniquement les kits de montage
2. Placez la bride à chapeau au-dessus de la bride de vide poussé sur la pompe turbomoléculaire.
3. Insérez le circlip dans la gorge latérale sur la bride de vide poussé de la pompe turbomoléculaire.
30/70
Raccord à bride ISO-K à une bride ISO-F, vis à tête hexagonale et trou taraudé
agréés Pfeiffer Vacuum.
contre-bride conformément à la figure.
– Observez la résistance à la traction minimale du matériau de bride et la profondeur des vis.
– Couple de serrage : 5, 15, 25 ± 2 Nm
Raccord à bride ISO-K à une bride ISO-F, goujon fileté et trou taraudé
agréés Pfeiffer Vacuum.
bride.
– Observez la résistance à la traction minimale du matériau de bride et la profondeur des vis.
contre-bride conformément à la figure.
– Couple de serrage : 5, 15, 25 ± 2 Nm
Raccord à bride ISO-K à une bride ISO-F, goujon fileté et trou traversant
agréés Pfeiffer Vacuum.
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