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Fonctionnement
Calcul de la pression de gaz autres que l'air
► Calculez la pression efficace avec la formule suivante :
6.3 Respect de la temporisation d'amorçage
Les systèmes de mesure à cathode froide ont une temporisation d'amorçage quand ils sont activés.
Cette temporisation d'amorçage augmente à basse pression et est typiquement dans les unités déga-
zées propres :
● 10
● 10
● 2 × 10
L'amorçage est un processus statique pour lequel des dépôts même minimes peuvent avoir une grande
influence sur les surfaces intérieures.
6.4 Pollution
La contamination du jauge dépend
● de la pression dans les enceintes à vide
● du type de fluide de process
● de la contamination existante ou nouvellement accumulée ou sa pression partielle (p. ex. vapeurs,
● de la durée de service
Le fonctionnement continu dans la plage comprise entre 10
nation grave et réduire la durée de vie et les intervalles d'entretien. Avec des basses pression constan-
tes (p < 1 × 10
cessaire.
La contamination de la jauge entraîne généralement des déviations dans les valeurs mesurées :
● Dans la gamme de basses pressions (< 1 × 10
Effet sur le degré de pollution
Dans une certaine mesure, le niveau de contamination peut être influencé. Des précautions particuliè-
res doivent être prises dans le cas de vapeurs formant des dépôts dans le plasma (p. ex. du système
de mesure à cathode froide).
► Implémentez des mesures préventives géométriques (tôles de protection, angles) pour les parti-
► Choisissez une position de bride avec une pression partielle de contamination minimale.
► Désactivez la jauge en présence de vapeurs de dépôt.
► Protégez le capteur pendant la séparation de vapeurs à l'aide de dispositifs de sectionnement
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P
= C × p
eff
● P
= Pression efficace
eff
● C = Facteur de correction
● p = Pression affichée (jauge calibrée pour l'air)
-7
hPa environ 6 secondes
-8
hPa environ 1 minute
-9
hPa environ 5 minutes
Garantie
Toute anomalie de l'unité résultant directement d'une contamination et de l'usure (comme
l'aide d'amorçage) n'est pas couverte par la garantie.
particules de process, etc.)
-6
hPa), une durée de vie de > 1 an peut être atteinte avant qu'un nettoyage ne soit né-
trop basse (contamination du système à cathode froide). Une contamination excessive va causer
des instabilités (séparation des couches dans la chambre de mesure). Ceci peut entraîner des
courts-circuits. Un étanchement complet de la décharge de gaz est aussi possible en cas de con-
tamination résultant de couches isolées.
cules se propageant en ligne droite.
(p. ex. vanne).
-4
hPa et 10
-2
hPa peut causer une contami-
-3
hPa), la pression affichée est généralement
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