Manuels Connexes pour Pfeiffer Vacuum QMH 40X
Sommaire des Matières pour Pfeiffer Vacuum QMH 40X
- Page 1 MANUEL DE L'UTILISATEUR Traduction d'original QMH 40X Générateur de haute fréquence pour QMG 700 HiQuad ®...
- Page 2 Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
- Page 3 Utilisations non conformes prévisibles Responsabilité et garantie Conditions propriétaire Qualification personnelle 2.9.1 Garantir la qualification du personnel 2.9.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation 2.9.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum 2.10 Conditions opérateur Description du produit Structure Description fonctionnelle Raccordements 3.3.1 Connexion QC à...
- Page 4 Recyclage et mise au rebut 11.1 Informations générales sur la mise au rebut 11.2 Élimination du système du spectromètre de masse Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Informations de commande 13.1 Commande de pièces 13.2 Commande de PDR et accessoires Caractéristiques techniques et dimensions...
- Page 5 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Documents applicables Tab. 2: Abréviations employées Tab. 3: Conditions ambiantes autorisées Tab. 4: Affectation des broches de la connexion QC Tab. 5: Fonctions Tab. 6: Codage Tab. 7: Affectation des broches du raccordement FA Tab.
- Page 6 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Structure Fig. 2: Affectation des broches de la connexion QC Fig. 3: Affectation des broches du raccordement FA Fig. 4: Affectation des broches de la connexion EP Fig. 5: Échauffement max. admissible Fig.
- Page 7 QMH 402-2 Vous trouverez le numéro de la pièce sur la plaque signalétique du produit. Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d'apporter des modifications techniques sans préavis. Les figures de ce document ne sont pas à l’échelle. Les dimensions sont indiquées en mm, sauf avis contraire.
- Page 8 A propos de ce manuel 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes. Action unique Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape. ►...
- Page 9 Abréviation Explication Fréquence radio (haute fréquence) Multiplicateur d’électrons secondaire Tab. 2: Abréviations employées 1.4 Justificatif de marque de commerce ● HiQuad ® est une marque déposée de Pfeiffer Vacuum GmbH. ● QUADERA ® est une marque déposée de Inficon GmbH. 9/50...
- Page 10 Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d’une éva- luation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la vie du produit.
- Page 11 ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, con- tactez Pfeiffer Vacuum Service. ► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité.
- Page 12 Sécurité AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxi- ques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opéra- tions de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à...
- Page 13 Conditions ambiantes autorisées 2.5 Utilisation conforme Le générateur de haute fréquence QMH 40x est un composant du système de spectromètre de masse quadripôle HiQuad QMG 700 de Pfeiffer Vacuum et génère les tensions HF et CC nécessaires au sys- tème de tige de l'analyseur quadrupolaire QMA. Le générateur de haute fréquence est exclusivement destiné...
- Page 14 ● Utilisation suite à des modifications techniques (à l’intérieur ou à l’extérieur du produit) ● Utilisation avec des accessoires ou pièces de rechange inappropriés ou non approuvés 2.7 Responsabilité et garantie Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité et garantie si la société exploitant le produit ou une partie tierce : ● ignore ce document ●...
- Page 15 ─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum 2.9.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de cours et de formations techniques. Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum.
- Page 16 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Structure Fig. 1: Structure 1 Élément de commande : « calibrage de masse Raccordement pour pré-amplificateur de bas/haut » l'électromètre « ep1 (faraday) » 2 Barre éclairée : « ajustage » Raccordement pour pré-amplificateur de l'électromètre «...
- Page 17 Description du produit 3.3 Raccordements 3.3.1 Connexion QC à l'appareil de commande QC 700 Interfaces sur QC 700 Pour de plus amples informations sur les interfaces de QC 700, référez-vous au manuel de l'utilisateur de QMG 700 HiQuad. Un câble de raccordement de 3 m est installé en permanence sur le QMH 4x0 pour le raccordement au QC 700.
- Page 18 Description du produit Directions des signaux ● IN = QMH est récepteur ● OUT = QMH est émetteur Mot de signalisation Niveau Fonction de QMH SCAN± 0 – +10,24 V MASSE = (SCAN/10.24 V) x M RESOL± 0 – +10,24 V ΔM = ΔM + (RESOL/10.24 V) x ΔM EP±...
- Page 19 Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum. ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, conservez toujours à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique.
- Page 20 Description du produit 3.5 Étendue de la livraison ● Générateur de haute fréquence QMH ● Câble de raccordement au QMS 700/QC 700, longueur 3 m (fixé en permanence sur l'appareil) Déballage du produit et contrôle du contenu de la livraison 1. Déballer le produit. 2.
- Page 21 Transport et stockage 4 Transport et stockage 4.1 Transport du produit AVIS Dégâts causés par un transport incorrect Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut endommager le produit. ► Conforme aux instructions pour un transport en toute sécurité. Emballage Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine.
- Page 22 Installation 5 Installation DANGER Danger de mort en cas de contact avec la haute tension De hautes tensions sont présentes dans l’appareil. Danger de mort en cas de contact avec des élé- ments sous tension. La mise en service de l’appareil alors qu’il est visiblement endommagé implique un danger de mort.
- Page 23 Installation 5.1.1 Respect des conditions ambiantes ≥ 30 cm ≤ 50°C Fig. 5: Échauffement max. admissible Recommandations ► Évitez de faire fonctionner l'appareil s'il est exposé à une forte humidité, à une atmosphère pous- siéreuse, à des vibrations mécaniques et à des fluctuations extrêmes de la température ambiante. ►...
- Page 24 Installation 5.1.3 Installation d'un générateur de haute fréquence avec support sur QMA Fig. 7: Installation d'un générateur de haute fréquence avec support sur QMA 1 Analyseur QMA Disque de freinage 2 Générateur de haute fréquence QMH Support 3 Support Face avant du QMH 4 Boulons M4 Circlip Fig.
- Page 25 RF A et RF B du QMA. ► Si nécessaire, reportez-vous au journal de test pour ce qui concerne la polarité. ► Utilisez uniquement les câbles fournis par Pfeiffer Vacuum, avec la longueur et la capacité spécifi- ées.
- Page 26 Installation ● La tension admissible par rapport au potentiel du châssis est de ±500 V DC max. ● Le potentiel effectif de l'axe de champ correspond à 99,9% de la tension fournie. ● L'alimentation FA externe doit être limitée en courant à 2 mA, pour des raisons de sécurité. Procédure ►...
- Page 27 Mettre en service 6 Mettre en service Conditions préalables ● Toutes les connexions électriques établies ● Toutes les conditions initiales de l’ensemble du système remplies (par ex. vide adéquat) 6.1 Temps d'attente Pas de fonctionnement avec des masses plus élevées pendant le temps d'attente Pendant le temps d'attente, ne faites pas fonctionner le QMH avec des masses plus éle- vées (PREMIÈRE MASSE + LARGEUR DE BALAYAGE ≤0,5 M ), car cela pourrait nuire...
- Page 28 Mettre en service Calibrage du générateur HF sur « ajustage » La gamme de rotation est égale à trois rotations, ensuite, les valeurs de réglage se répètent. L'angle de rotation pour le désajustage admissible est approx. de 90° pour M = M 1.
- Page 29 7 Utilisation 7.1 Mesure de spectres Pfeiffer Vacuum fournit le QMH avec une échelle de masse calibrée et une résolution réglée, dans un système complet avec appareil de commande et analyseur. L'unité de contrôle fournit un signal « RE- SOLUTION » par lequel la largeur du pic de masse ΔM peut être présélectionnée dans la plage –...
- Page 30 En cas de changements de pas dans le nombre de masse, il faut plusieurs ms (selon la taille et la direc- tion du pas et le type de QMH) jusqu'à ce que les valeurs HF et DC se stabilisent dans le nouvel état. Les appareils de commande de Pfeiffer Vacuum tiennent compte de ce phénomène dans le logiciel in- tégré.
- Page 31 AVIS Dommage sur composants électroniques lié à une réparation incorrecte Pfeiffer Vacuum a accordé très précisément les platines de l'appareil avec les autres groupes d'as- semblage. Un calibrage correct peut uniquement être effectué en usine. ► Ne remplacez jamais les platines ou d'autres composants lors de réparations sur l'appareil.
- Page 32 ► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité. ► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, con- tactez Pfeiffer Vacuum Service. ► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité.
- Page 33 ● Contrôlez les connexions HF de l'analyseur QMA. ● Débranchez tous les câbles et contrôlez l'isola- tion du châssis au niveau des douilles RF+ et Si < 9 MΩ : Contactez Pfeiffer Vacuum Servi- ce. (voir symptôme F11) 33/50...
- Page 34 ● Soufflez délicatement le générateur HF QMH à son de la poussière dans l'air comprimé. le générateur HF QMH Défaut dans le générateur ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. QMH HF « défaut » clignote pour les Consommation de courant ● Contrôlez le câble de raccordement HF.
- Page 35 Anomalies Symptôme d'erreur Causes possibles et lo- Action corrective calisation « prêt » ne brille pas, bien que Le fusible F2 est défectu- ● Contrôlez la tension secteur de l'appareil de la période d’attente se soit écou- eux (voir symptôme d'er- commande QMS.
- Page 36 ► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité. Décontamination payante Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme « Sans contaminants », à votre charge. Expédier le produit en toute sécurité...
- Page 37 – Fluoroélastomères (FKM) – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 11.2 Élimination du système du spectromètre de masse Les systèmes de spectromètre de masse Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler. 1. Démontez les éléments du boîtier.
- Page 38 Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment.
- Page 39 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails con- tenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
- Page 40 Informations de commande 13 Informations de commande 13.1 Commande de pièces Commande de pièces détachées, d’accessoires ou de composants optionnels ► Toujours préciser les informations suivantes pour commander des pièces détachées, des acces- soires ou des composants optionnels : ● Tous les détails de la plaque signalétique ●...
- Page 41 Caractéristiques techniques et dimensions 14 Caractéristiques techniques et dimensions 14.1 Fiche technique Paramètre Valeur Dimensions 235 × 193 × 340 mm Carter (l × H × P) (approx.) Longueurs de câble Câble de commande (QC) Prolongateur de câble de commande 7 m (sur un total de 10 m) Câble coaxial HF 0,7 m Câble d'axe de champ...
- Page 42 Caractéristiques techniques et dimensions Paramètre QMH 400-1 QMH 400-5 Puissance apparente de la charge HF, [kVA] max. Tension d’alimentation [V DC] +24 ±0,5 / -24 ±0,5 Consommation de courant (désajustage max. admissible) ● Four froid ≤ 2.5 ● Four chaud ≤2,3 ●...
- Page 43 Caractéristiques techniques et dimensions Paramètre QMH 400-1 QMH 400-5 Domaine de réglage de la résolution ● Largeur de pic constant ΔM , télécommandée avec le si- 0,2–2,2 0,3–7 gnal RESOLUTION ● Une résolution constante ΔM/M peut être réglée : résolu- 0–2 0–2 tion grossière...
- Page 44 Caractéristiques techniques et dimensions 14.4 Dimensions RF + FARAD RF – 67.5 Fig. 11: Dimensions Dimensions en mm 44/50...
- Page 45 M , de la direction de la réponse en as, du type de QMH et de la précision de mesure requise. Pfeiffer Vacuum recommande d'expérimenter pour optimiser les périodes d'attente, en particulier pour les vitesses de mesure rapides. C'est le seul moyen de trouver le meilleur compromis entre vitesse et précision de mesure. Les valeurs indicatives suivantes s'appliquent pour la résolution unitaire (ΔM...
- Page 46 Annexe 15.2 Méthode de calibrage du nombre de masse M et de la largeur de li- gne ΔM La position du maximum di pic sur l'échelle de masse est souvent utilisée pour définir le nombre de masse d'un pic. Cependant, cette méthode est sujette à erreurs. Pour de plus amples informations con- cernant l'échelle de masse et la largeur de pic, une définition de la méthode de mesure correspondante est nécessaire.
- Page 47 Annexe 100% 0.5 u 0.5 u M [u] Fig. 14: Méthode de calibrage du nombre de masse M et de la largeur de ligne ΔM 15.2.4 Écarts par rapport à M et ΔM Les diagrammes montrent comment les écarts par rapport aux valeurs indicatives peuvent être détermi- nés.
- Page 48 La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabri- cant. Déclaration pour produit(s) du type : Générateur de haute fréquence QMH 40x Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européen- nes suivantes. Basse tension 2014/35/CE Compatibilité...
- Page 49 EN IEC 61326-1:2021 EN 55011:2016 + A1:2017 + A11:2020 + A2:2021 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitu- tion du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...