ATTENTION : Risque d endommagement du système. Ne rien laisser tomber dans le
drain de la source une fois la source d ions retirée.
Figure 13-2 Drain de la source sur l'interface de l'enceinte sous vide
1. Désactivez le profil de matériel.
2. Désactivez la source d'ions. Consultez le guide de fonctionnement de la source d'ions.
Lorsque la source d'ions n'est pas utilisée, rangez-la afin de la protéger contre les détériorations et de
maintenir l'intégrité de son fonctionnement.
Nettoyez la plaque rideau
ATTENTION : Risque d endommagement du système. Ne pas poser la plaque rideau ni
la plaque à orifice sur la pointe de l orifice. Vérifiez que le côté conique de la plaque
rideau est tourné vers le haut.
ATTENTION : Risque d endommagement du système. Ne pas introduire de câble ou de
brosse métallique dans l orifice de la plaque rideau, de la plaque à orifice ou du chauffage
de l interface pour éviter d endommager l orifice.
1. Ôtez la plaque rideau de l'interface avec le vide, puis placez-la, côté conique tourné vers le haut, sur une
surface propre et stable.
Guide de l'utilisateur du système
RUO-IDV-05-6552-FR-A
Informations relatives au service et à la maintenance
Séries d'instruments 6500/6500+
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