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Description du produit
Exemples d'applications
● Analyse de faisceaux de particules et analyse de gaz générale
● Analyses de gaz qualitatives et quantitatives (composition et écoulement du temps)
● Analyse des gaz corrosifs et réactifs (avec des accessoires spéciaux)
● Détection de la contamination dans les gaz
● Mesure des isotopes
● Analyse de gaz résiduels sur les procédés sous vide (par exemple, décapage plasma)
● Surveillance/contrôle de procédé (par exemple, contrôle à boucle fermée de composition de gaz
● Applications à faisceau moléculaire
Grâce à leur consommation de gaz minimale, à la faible démixtion et à la faible constante de temps, les
versions étanches au gaz sont particulièrement appropriées pour :
● Mesure des gaz et des solvants dans les fluides
● Analyse de la respiration
● Analyse de mélanges de gaz
● Détection de traces grâce à la réduction de l'influence du gaz résiduel
● Gaz toxiques ou corrosifs
Fonction
Les électrons émis par la cathode et focalisés par le Wehnelt raccordé sur la cathode pénètrent dans la
zone d'ionisation par un interstice et perpendiculairement à l'axe du système. Dans la zone d'ionisation,
les électrons ionisent le gaz. Les ions sont attirés par l'électrode d'extraction et focalisés dans le filtre
de masse par la lentille ionique (focalisation). Le faisceau d'électrons, le faisceau de particules (quand
un faisceau moléculaire est admis) et l'extraction des ions sont respectivement perpendiculaires les uns
par rapport aux autres. Le potentiel d'axe de champ , qui est inférieur de quelques volts au potentiel de
la zone d'ionisation, focalise principalement les ions de la zone d'ionisation dans le filtre de masse.
Dégazage
Le dégazage de la source d'ions à faisceau croisé est seulement recommandé dans des cas exception-
nels.
● Pression : ≤ 10
● Émission : ≤ 10 mA (à 550 V)
● Durée : ≤ 5 minutes
20/58
ou de sources d'évaporation)
-8
hPa
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