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TO DOWN » pour verrouiller les gammes de mesure les plus sensibles. Pour éviter ce problème, utili-
sez le compteur d'ions.
Facteur d'amplification
Détermination du facteur d'amplification
► Enregistrez la gamme intéressante du spectre de masse en mode de fonctionnement SEM et Fa-
Le rapport des courants de deux pics correspondants est l'amplification qui s'applique aux conditions de
fonctionnement qui ont été entrées. Cette méthode prend en compte l'influence de la déviation ionique
à 90°.
7.7 Ions de surface
Sous le bombardement d'électrons dans la source d'ions, les contaminations adsorbées sont désor-
bées en tant qu'ions EID qui apparaissent ensuite dans le spectre, par exemple avec des masses 16 (O
+), 19 (F+), 23 (Na+), 35/37 (Cl+) et 39/41 (K+). Les ions EID deviennent principalement apparents
pendant les mesures UHV. Ils peuvent être réduits par dégazage (dégazage ou fonctionnement tempo-
raire avec émission élevée). Pour distinguer les ions EID des ions du volume, réduisez la valeur de la
tension d'axe de champ au niveau du paramètre « Axe de champ ». Ceci va significativement réduire
la hauteur de pic des ions normaux. Celle des ions EID est moins affectée, car ils sont formés sur le
potentiel le plus élevé. Ainsi, pour éviter la suppression des ions normaux, ne sélectionnez pas une va-
leur « Axe de champ » trop faible.
7.8 Utilisation de la fonction de dégazage
La fonction de dégazage est prévue en particulier pour les mesures UHV avec une source d'ions à gril-
le.
Procédé
► Observez les informations sur les sources d'ions individuelles.
► N'activez pas le dégazage à des pressions >10
► Optimisez la protection du filament « Courant de protection » pour le fonctionnement de dégaza-
► Si vous ne souhaitez pas utiliser la fonction de dégazage, ou si celle-ci n'est pas autorisée, réglez
7.9 Détermination des valeurs optimales pour les paramètres
Pour certaines applications, il est nécessaire de diverger par rapport au réglage-usine. Avec l'augmen-
tation de la contamination, ou après des révisions, il est recommandé d'optimiser les réglages de la ma-
nière décrite dans les sections suivantes. Pour un aperçu schématique des potentiels et de leurs dési-
gnations, reportez-vous à la section « Fiche technique ». Avec les valeurs standard pour les différentes
sources d'ions intégrées dans le dispositif, on doit pouvoir mesurer un spectre – sauf pour le type de
source d'ions « SPEC(ial) ». Cependant, les valeurs doivent toujours être optimisées pour l'analyseur
utilisé. Le but de l'optimisation des paramètres de la source d'ions est d'atteindre une sensibilité élevée,
une bonne forme de pic et une faible discrimination de masse. Parfois, d'autres conditions doivent aussi
être remplies. Ce chapitre s'applique à toutes les sources d'ions ; certains potentiels ne sont pas néces-
saires pour toutes les sources d'ions.
Procédé
► Observez les informations détaillées sur les sources d'ions individuelles.
raday.
mination de la source d'ions.
ge.
le « Courant de protection » sur 0 A pour bloquer le fonctionnement de dégazage.
-7
hPa, car cela pourrait causer une sévère conta-
Utilisation
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