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100 V
0
Fig. 2:
1 Cathode
2 Wehnelt
3 Zone d'ionisation
Émission
V1
V2
V3
V4
V6
V9
Courant de protection
Tab. 3:
3.2.2 Source d'ions à faisceau croisé
La construction ouverte de la source d'ions à faisceau croisé permet une réaction rapide aux change-
ments dans la composition du gaz. Sa durée de vie est élevée et elle est équipée de deux filaments. La
source d'ions à faisceau croisé permet un passage direct des faisceaux moléculaires perpendiculaire-
ment et parallèlement à l'axe système.
Filament standard
W, avec YO
Versions étanches au gaz
Dans le cas de sources d'ions à faisceau croisé étanches au gaz, la zone d'ionisation est scellée. La
conductance vers l'enceinte à vide est d'environ 1 l/s.
Sélection de la pression de fonctionnement pour les versions étanches au gaz
► Sélectionnez une pression de fonctionnement <10
1)
2)
3)
1 2
3
Arrangement électrode et courbe de potentiel de la source d'ions axiale
4
5
6
Valeurs typiques de la source d'ions axiale
-Ir sont aussi disponibles.
x
-6
À p > 5 × 10
hPa, réduisez à 0,1 mA.
Avant de réduire V2 à < 50 eV, réduisez « Émission » à 0,1 mA et V9 à < 20 V pour éviter une surcharge de la
cathode.
5 V au domaine de masse 1024 ou 2048
4
5
6
Focalisation
Orifice d'entrée
Système à tiges
Référence Ion
Cathode
Focalisation
Axe de champ
Déviation interne
Wehnelt
W
YO
-Ir
x
-6
hPa dans l'enceinte à vide.
Description du produit
1)
1 mA
90 V
2)
70 eV
20 V
3)
10 V
300 V
30 V (max. 40)
4,2 A
3,5 A
19/58
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