Manuels Connexes pour Pfeiffer Vacuum OMNISTAR
Sommaire des Matières pour Pfeiffer Vacuum OMNISTAR
- Page 1 MANUEL DE L’UTILISATEUR Traduction du manuel de l‘utilisateur OMNISTAR™ THERMOSTAR™ GSD 320 Système d’analyse des gaz...
- Page 2 Global Technologies. Avertissement Les informations contenues dans ce manuel sont estimées être exactes et fiables. Pfeiffer Vacuum n’assume cependant aucune responsabilité pour leur utilisation et ne pourrait être tenu responsable de tout dommage spécial, directement ou indirectement lié...
- Page 3 Table des matières Table des matières Marques de commerce ..........2 Avertissement .
- Page 4 Premier démarrage........58 Entretien du Vari OmniStar ........60 Vue d’ensemble des pièces du système d’admission .
- Page 5 Introduction Introduction Identification du produit Dans toutes les communications avec Pfeiffer Vacuum, veuillez spécifier les informations figurant sur la plaque signalétique du produit. Pour une référence pratique, copiez ces informations entre les parenthèses ci-dessous. Figure 1-1 Plaque signalétique du produit Pfeiffer Vacuum, D-35614 Asslar Modèle : (Numéro de modèle) (AAAA/MM)
- Page 6 GSD 320 C La version gaz corrosifs de l’OmniStar/ThermoStar de Pfeiffer Vacuum, c’est-à-dire le GSD 320 C, peut convenir à certaines applications de gaz corrosifs ou inflammables. Le système n’est toutefois pas prévu pour une utilisation dans un environnement où des mélanges de gaz explosifs peuvent se produire.
- Page 7 Sécurité Consignes de sécurité Les consignes de sécurité des manuels d’utilisation de Pfeiffer Vacuum sont le résultat d’évaluations du risque et d’analyses des dangers et elles sont basées sur les normes de certifications internationales telles que spécifiées par UL, CSA, ANSI Z-535, SEMI S1, ISO3864 et DIN4844.
- Page 8 Toute utilisation de cet équipement à des fins autres que celles prévues à l’origine (y compris l’échantillonnage de gaz corrosifs ou inflammables ou l’échantillonnage de liquides) requiert l’approbation préalable écrite de la société mère Pfeiffer Vacuum. Toute utilisation du GSD 320 ne correspondant pas au domaine (élargi) d’utilisation est considérée comme non conforme et le fabricant décline toute responsabilité...
- Page 9 L’utilisateur final assume la responsabilité quant aux produits de procédés utilisés. Formation Pfeiffer Vacuum propose des cours sur l’application, l’utilisation et la maintenance afin de permettre l’utilisation optimale de ce produit. Veuillez contacter votre représentant Pfeiffer Vacuum local.
- Page 10 Présentation de l’instrument Présentation de l’instrument Vue de face Figure 3-1 Vue de face du GSD 320 Capillaire/élément Contrôles et indicateurs chauffant du panneau avant configurables (gauche/droite/haut) Touches de flèches Panneau avant amovible pour accéder à l’entrée. Raccordements Figure 3-2 Raccordement au GSD 320 Manocontact du gaz Connecteur de de purge (corrosif...
- Page 11 Présentation de l’instrument Contrôles et indicateurs du panneau avant Figure 3-3 Contrôles et indicateurs du panneau avant OmniStar Touches Les boutons-poussoirs sur le panneau avant peuvent être utilisés pour faire fonctionner le GSD 320 localement. Les touches de flèche permettent de mettre en surbrillance une de flèches...
- Page 12 Présentation de l’instrument Éléments chauffants Table 3-1 Informations relatives à l’élément chauffant Type d’élément Température Température Informations chauffant maximum supplémentaires par défaut Élément chauffant 200 °C 200 °C à capillaire 200 °C Élément chauffant 350 °C 350 °C à capillaire 350 °C Élément chauffant 150 °C 120 °C...
- Page 13 Balayage analogique : 20 ms/amu - 60 s/amu Balayage de diagramme à barres : 20 ms/amu - 60 s/amu Capillaire gazeuse du Capillaire Matériau : acier inoxydable (OmniStar) ou quartz (ThermoStar) Pression d’échantillonnage : 1 000 mbar (version standard) Débit de gaz : 1-2 sccm Longueur : 1 m (2m disponible) ®...
- Page 14 Pression : 500 … 1 500 mbar Débit de gaz : 1 … 2 sccm Capillaire de l’OmniStar : ø extérieur 1/16 po, ø intérieur 0,125 mm Capillaire du ThermoStar : ø extérieur 0,22 mm, ø intérieur 0,15 mm ...
- Page 15 Données techniques 4.12 Conditions ambiantes Stockage/transport : 5 … 45 °C Fonctionnement : 12 … 35 °C Humidité relative : maximum de 80 % jusqu’à 31 °C, diminution linéaire jusqu’à 50 % à 40 °C Application : intérieur uniquement Altitude : jusqu’à 2 000 m Catégorie de protection : IP30 Degré...
- Page 16 Données techniques 4.18 Dimensions L x l x H : 545 x 305 x 395 mm Figure 4-1 Dimensions (mm) 545 mm 305 mm...
- Page 17 Installation Installation Port et transport de l’appareil Le produit pèse > 25 kg. Transportez toujours le GSD 320 avec deux personnes plaçant leurs mains sous les parties avant et arrière du châssis. AVERTISSEMENT Une blessure physique peut être provoquée si le produit est soulevé et porté par une seule personne.
- Page 18 Installation REMARQUE Rangez les vis de blocage et la tige de blocage de transport du panneau avant et remontez-les si le GSD 320 doit être transporté à nouveau. Ventilation requise Pour une ventilation adéquate, maintenez un espace minimum de 25 mm autour du GSD 320.
- Page 19 Installation Branchement du tuyau de gaz d’échappement Prolongez le tube d’échappement avec un raccord et un tube adaptés et connectez-le à la conduite d’évacuation des gaz. REMARQUE Pour les applications corrosives ou inflammables, un échappement sur le GSD 320 C est obligatoire.
- Page 20 Installation Branchement du gaz de purge Figure 5-4 Branchement du gaz de purge Manocontact numérique du gaz de purge (corrosif uniquement) Entrée du gaz de purge (corrosif uniquement) Sur les systèmes de pompage de gaz corrosifs, le gaz de purge fournit un débit continu de gaz sec sur les roulements de la turbopompe moléculaire.
- Page 21 Installation Raccordement du capillaire OmniStar 1 Retirez le capuchon. Reportez-vous à la Figure 5-5. Figure 5-5 Dépose du capuchon 2 Raccordez le capillaire sur le point de mesure. Reportez-vous à la Figure 5-6. Figure 5-6 Raccordement du capillaire sur le point de mesure.
- Page 22 Installation ThermoStar DANGER DANGER : Gaz dangereux. Les gaz du procédé peuvent provoquer des dégâts sanitaires et environnementaux. Avant de mettre le gaz du procédé, assurez-vous que le raccordement du gaz est hermétique. DANGER DANGER : Gaz inflammables. En cas de manipulation incorrecte, les gaz inflammables peuvent provoquer des dégâts sanitaires, environnementaux et matériels.
- Page 23 Installation Dépose du panneau 1 Saisissez le capot avant au niveau des coins supérieurs et tirez doucement le capot à l’écart du cadre jusqu’à ce que les goupilles à ressorts supérieures et du milieu se avant dégagent du cadre. Reportez-vous à la Figure 5-8.
- Page 24 Installation 3 Déconnectez le câble ruban de la carte de circuits imprimés du panneau avant. Reportez-vous à la Figure 5-10. Figure 5-10 Déconnectez le câble ruban Goupille 1 Bande rouge orientée comme indiqué 4 À l’aide d’une clé à six pans de 3 mm (incluse dans le kit de livraison), retirez les vis CHC (2) de la chambre d’introduction.
- Page 25 Installation Dépose de l’isolant et 1 Enlevez l’isolant en mousse du four d’entrée. S’il le faut, insérez la partie courte de la clé à six pans dans l’isolant et tirez doucement la mousse. Il est recommandé de réglage du capillaire commencer par le haut et de progresser vers le bas lors de l’extraction de l’isolant en mousse du four.
- Page 26 Installation Raccordement de l’interface utilisateur (USER) Le GSD 320 comporte une interface Ethernet TCP/IP réservée à la communication et deux connecteurs d’entrée/sortie (E/S), E/S utilisateur et E/S auxiliaire, permettant l’interaction du GSD 320 avec les périphériques fournis par le client. Figure 5-14 Interface de contrôle par l’utilisateur et Ethernet E/S utilisateur raccordement...
- Page 27 Installation Raccordement E/S Le connecteur E/S auxiliaire s’ajoute au connecteur E/S utilisateur pour proposer une interface pour les entrées et sorties électroniques du GSD 320. auxiliaire Numéro de broche Description Sortie analogique, canal 3 (+) GND (TERRE) de référence des sorties analogiques Entrée analogique, canal 3 (-) Entrée analogique, canal 4 (-) Entrée analogique, canal 5 (-)
- Page 28 Installation Détail des E/S utilisateur et auxiliaire Les entrées numériques sont de type ACTIF BAS. Ces entrées sont tirées haut à Entrées numériques l’intérieur du module de contrôle GSD 320, ce qui permet leur activation par entrée TTL ou leur fermeture par simple contact. Une fermeture par contact est préférable pour maintenir l’isolation à...
- Page 29 Installation Raccordement de l’alimentation Figure 5-15 Branchement de l’alimentation Interrupteur secteur Alimentation Tension : 100, 120, 230 V ca Fréquence : 50 … 60 Hz Consommation électrique : 550 VA 1 Mettez l’interrupteur d’alimentation secteur en position Arrêt. 2 Branchez le cordon d’alimentation sur la source d’alimentation. Reportez-vous à la Figure 5-15.
- Page 30 Premier démarrage Premier démarrage Conditions préalables Installation effectuée selon la description du 5. Procédure 1 Mettez l’interrupteur du secteur sur marche. 2 Mettez le système de pompage en marche (selon la description de la section 7.1 on page 31 pour une utilisation avec le panneau avant ou de la section 7.2 on page 44 pour QUADERA).
- Page 31 Fonctionnement Fonctionnement Fonctionnement du panneau avant La section suivante décrit brièvement le fonctionnement du GSD 320 avec l’utilisation de l’interface du panneau avant. Figure 7-1 LED, clavier et affichage à cristaux liquides du GSD 320 Les LED indiquent l’état des sous-systèmes. Un clavier permet de naviguer parmi le menu (HAUT, BAS, GAUCHE ou DROITE), ...
- Page 32 Fonctionnement Menu FUNCTIONS Sélectionnez Setup FUNCTIONS (Configuration FONCTIONS) (Fonctions) Figure 7-4 Setup FUNCTIONS (Configuration FONCTIONS) FUNCTIONS La flèche pointant vers la droite in- PARAMETERS dique la sélection SYSTEM en cours STATUS Les choix de menu montrés dans la Figure 7-5 et dans la Figure 7-6...
- Page 33 Fonctionnement Sélectionnez FUNCTIONS PUMP DOWN (FONCTIONS POMPAGE) pour pomper POMPAGE le système. Figure 7-8 FUNCTIONS PUMP DOWN (FONCTIONS POMPAGE) PUMP DOWN SHUT DOWN TURN HEATERS ON TURN HEATERS OFF La ligne d’état indique System Pumping (Pompage du système) jusqu’à l’activation de la turbopompe.
- Page 34 Fonctionnement Sélectionnez FUNCTIONS SHUT DOWN (FONCTIONS ARRÊT) pour arrêter le SHUT DOWN système. Figure 7-11 FUNCTIONS SHUT DOWN (FONCTIONS ARRÊT) PUMP DOWN SHUT DOWN TURN HEATERS ON TURN HEATERS OFF L’écran d’avertissement suivant s’affiche. Figure 7-12 Écrans d’avertissement de l’arrêt **** WARNING **** Turning off Vacuum...
- Page 35 Fonctionnement Choix du menu Figure 7-14 Écran Setup PARAMETERS (Configuration PARAMÈTRES) PARAMETERS FUNCTIONS (Paramètres) PARAMETERS SYSTEM STATUS Les écrans du menu PARAMETERS (Paramètres) s’affichent. Reportez-vous à la Figure 7-15 et à la Figure 7-16. Figure 7-15 Écran du menu PARAMETERS (Paramètres) 1 INLET HTR SETPT ...
- Page 36 Fonctionnement 1 Sélectionnez PARAMETERS INLET HTR SETPT Exemple : changement du (PARAMÈTRES PT DE CONSIGNE ÉLÉMENT CHAUFFANT ENTRÉE). point de consigne de l’élément Figure 7-17 PARAMETERS INLET HTR SETPT (PARAMÈTRES PT DE chauffant de l’entrée CONSIGNE ÉLÉMENT CHAUFFANT ENTRÉE) INLET HTR SETPT ...
- Page 37 Figure 7-20 Écran du menu SYSTEM **** NOTICE **** Service Access Not Authorized Press OK REMARQUE Pour une assistance sur la fonctionnalité avancée du système, veuillez contacter votre représentant Pfeiffer Vacuum local. Choix du menu Figure 7-21 Setup STATUS (Configuration ÉTAT) STATUS (État).
- Page 38 Fonctionnement Figure 7-23 STATUS SYSTEM (ÉTAT SYSTÈME) Choix du menu STATUS- SYSTEM (État-Système) SYSTEM TURBO GSD320 Info Figure 7-24 Choix du menu STATUS-SYSTEM (État-Système) 1 TURBO INLET BYPASS Figure 7-25 Choix du menu STATUS-SYSTEM (État-Système) 2 CAL VLVE ...
- Page 39 Fonctionnement Figure 7-29 Écran du menu 3 BottomPlate 34 C Bearing 34 C Controller 45 C Motor 42 C Figure 7-30 Écran du menu 4 Turbo Errors Errors NONE Press any key to exit Figure 7-31 STATUS GSD320 Info (ÉTAT Infos sur le GSD320) Choix du menu...
- Page 40 Fonctionnement Erreur de turbo En cas d’erreur de turbopompe, un message d’erreur s’affiche. Le numéro de l’erreur peut être référencé dans le manuel de l’utilisateur de la turbopompe. Figure 7-34 Écran d’erreur de la turbopompe 9.2E+00 mbar Turbo 898 Hz (52200 RPM) Turbo Err006 ...
- Page 41 Fonctionnement Rappel pour le Les filtres se trouvant sur le côté du GSD 320 doivent être nettoyés ou remplacés tous les trois mois. Au bout de trois mois, le rappel suivant de nettoyage ou de remplacement nettoyage des filtres des filtres s’affiche. du GSD 320 Figure 7-38 Écran de rappel des filtres *** Attention ***...
- Page 42 Fonctionnement Changement de l’adresse IP REMARQUE Le GSD 320 est livré avec des adresses par défaut dans la plage de 192.168.x.x. Ne modifiez pas ces adresses avant qu’il ne le soit demandé dans la section, page 1 Sélectionnez PARAMETERS GSD320 IP Address (PARAMÈTRES Adresse IP du GSD320), appuyez sur OK SEL.
- Page 43 Fonctionnement 5 En cas d’échec de la configuration de l’adresse IP, un écran Failure (Échec) s’affiche. L’adresse IP est réinitialisée à son réglage précédent. Figure 7-45 Échec de la configuration de l’adresse IP *** FAILURE*** IP Configuration of GSD320 failed 010.211.070.109 Étuvage impossible Si le système n’est pas sous vide, l’élément chauffant du capillaire ne peut pas être...
- Page 44 Fonctionnement Fonctionnement à partir de QUADERA Ce chapitre fournit les instructions pour la configuration du système GSD 320 et du QMG 220, qui est interne au système, et pour l’exploitation du GSD 320 à l’aide de l’add-in QUADERA. Ces instructions présument que QUADERA 4.00 ou ultérieur est installé, que QUADERA dispose d’une licence pour utiliser l’add-in GSD 320 et que l’ordinateur et le GSD 320 sont connectés par l’intermédiaire d’un réseau ou d’un câble croisé...
- Page 45 Fonctionnement Configuration du Afin d’utiliser le GSD 320 avec QUADERA, le QMG 220 et le contrôleur GSD 320 doivent être configurés. Les deux dispositifs sont basés sur Ethernet et requièrent donc chacun système une adresse IP unique sur le même réseau. Les adresses IP d’usine par défaut sont : QMG 220 .
- Page 46 Fonctionnement REMARQUE Si l’adresse IP est modifiée à l’aide de l’étape 7 ci-dessus, vous devez attendre un minimum de 6 minutes avant de continuer. 8 Fermez la boîte de dialogue Configure. 9 Appuyez sur OK dans la boîte de dialogue Device Setup (Configuration d’appareil). Ignorez tout message d’erreur qui s’affiche et appuyez sur OK.
- Page 47 Fonctionnement 15 Cochez la case GSD 320 et appuyez sur le bouton OK pour charger l’add-in (reportez-vous à la Figure 7-50). Le formulaire principal de l’add-in GSD 320 se charge. Reportez-vous au Figure 7-51. Figure 7-50 Sélection de l’Add-in GSD 320 à démarrer Figure 7-51 Formulaire principal de l’add-in GSD 320...
- Page 48 Fonctionnement 16 Sélectionnez le GSD 320 dans la liste déroulante des appareils (Device) illustrée dans la Figure 7-51. Si aucun appareil n’est affiché, appuyez plusieurs fois sur le bouton Refresh (Actualiser) jusqu’à ce que l’appareil figure dans la liste déroulante. Si le GSD 320 s’affiche dans la liste des appareils, passez à...
- Page 49 Fonctionnement 18 Appuyez sur le bouton Find by IP (Rechercher par IP) représenté dans la Figure 7-52. 19 Entrez manuellement l’adresse IP du GSD 320 appropriée pour votre ordinateur ou pour votre application réseau. 20 Cliquez sur le bouton Retrieve (Récupérer) comme indiqué dans la Figure 7-53 ci dessous.
- Page 50 Fonctionnement 22 Appuyez sur la touche Config, comme indiqué dans la Figure 7-51 pour ouvrir la boîte de dialogue Configuration (Configurer) représentée ci-dessous dans la Figure 7-52. 23 Appuyez sur le bouton Edit (Modifier) représenté dans la Figure 7-54. Figure 7-54 Boîte de dialogue de configuration montrant le bouton Edit 24 Changez l’adresse IP du QMG 220 sur la même adresse IP définie dans l’étape page 45.
- Page 51 Fonctionnement 28 Appuyez sur le bouton Verify (Vérifier). QUADERA se connecte à l’appareil et vérifie le GSD320 et le QMG 220. REMARQUE Cette étape est essentielle, car elle établit la relation système entre le GSD 320 et le QMG 220. 29 Fermez la boîte de dialogue Configuration.
- Page 52 Fonctionnement Connect ......Connecte QUADERA au GSD 320 pour les communications et le contrôle. Quand la connexion est établie, ce bouton s’affiche et fonctionne comme «...
- Page 53 Fonctionnement ......Multiplicateur d’électrons Activé Figure 7-55 Bake Out Configuration (Configuration de l’étuvage) Les paramètres suivants servent à la configuration de l’étuvage : ces paramètres sont interdépendants, c’est-à-dire que la modification d’un peut affecter les autres : Start Date (Date de démarrage).
- Page 54 Fonctionnement Les paramètres suivants s’affichent pour montrer la configuration actuelle de l’étuvage. La configuration actuelle de l’étuvage est contenue dans le GSD 320 et reste en vigueur jusqu’à sa modification avec le bouton Set New Values (Définir nouvelles valeurs) : Begin in (Commencer dans) .
- Page 55 Sécurité. Usage prévu Le GSD 320 Vari OmniStar avec régulateur EVR 116 le contrôleur RVC 300 est conçu pour le contrôle manuel ainsi que pour l’analyse automatique des gaz non corrosifs et ininflammables (dans la limite de la compatibilité du matériel, des TLV et des dispositifs de verrouillage).
- Page 56 Pompe à membrane Le Vari OmniStar équipé d’un distributeur EVR 116 et d’un contrôleur de vanne RVC 300 permet l’échantillonnage de gaz dans une plage de pressions comprise entre 5E-3 mbar et 1 000 mbar. Le système est raccordé à la chambre de traitement à échantillonner par une bride de type DN 16 KF.
- Page 57 Installation Raccordement du Le raccordement du Vari OmniStar au point de mesure se fait par une bride DN 16 KF fixée sur le tube. La ligne de raccordement doit être aussi courte que possible afin de Vari OmniStar sur le réduire le volume mort additionnel et d’obtenir un temps de réponse minimum.
- Page 58 RVC 300 pour connaître sa procédure de démarrage. Contrôle des Le contrôleur RVC 300 a été configuré pour fonctionner correctement conjointement avec le Vari OmniStar. Les réglages doivent être vérifiés avant la mise en marche initiale. paramètres du RVC 300 Tous les paramètres sont indiqués dans...
- Page 59 Vari OmniStar L’écran de fonctionnement en mode REGULATION lors du pompage est montré dans la Écran de régulation de la pression Figure 8-5. Les symboles >+25+< s’affichent sur le panneau avant afin d’indiquer si la vanne est fermée ou ouverte et si la pression de l’analyseur est ou non en cours de régulation. Les signes plus (+) et les flèches orientées vers l’intérieur indiquent que la pression est en...
- Page 60 Ceci peut entraîner une condition de surpression dans la chambre d’analyse du Vari OmniStar. Par exemple, si la pression de service monte de 5E-3 mbar à 1 000 mbar en moins de 60 secondes, vous devez tout d’abord fermer manuellement le distributeur en désactivant l’entrée Vari avant que la pression commence à...
- Page 61 Vari OmniStar Vue d’ensemble des pièces du système d’admission Figure 8-9 montre un système d’admission totalement démonté. Figure 8-9 Composants principaux du système d’admission Distributeur EVR 116 Interface avec Mini-vanne Vanne serrage spécial EVI 005 MI électromagnétique (haute-cond.) spéciale (dérivation) Remplacement de l’EVR 116...
- Page 62 Vari OmniStar 1 Retirez le panneau frontal et les capots du GSD 320. Voir Figure 8-10. Figure 8-10 Dépose des capots Panneaux supérieur et de droite Protections Panneau avant et isolant 2 Retirez les protections d’accès de gauche, de droite et supérieure.
- Page 63 Vari OmniStar Figure 8-12 Panneau de gauche Ensemble Bloc de refroidissement Plaque protection thermique 11 Déposez l’électrovanne supérieure après avoir retiré l’écrou et les deux rondelles. Reportez-vous à la Figure 8-13. Figure 8-13 Retrait de l’électrovanne supérieure. Électrovanne supérieure Ensemble EVR 116 12 Retirez l’isolant en mousse de l’intérieur et de l’extérieur de la partie inférieure du...
- Page 64 Vari OmniStar 14 Déposez et remplacez l’EVR 116 en suivant la procédure ci-dessous. Prenez soin de garder les éléments retirés pour le remplacement de l’EVR 116. 15 Retirez le tube de la vanne EVR 116 à pression régulée. 16 Démontez la vanne de régulation de la pression de l’admission du gaz en retirant les trois vis.
- Page 65 Entretien du GSD 320 Formation à la maintenance Pfeiffer Vacuum propose des cours de maintenance pour ce produit. Les exemples et la documentation plus détaillée de ces cours permettent à l’utilisateur de maintenir les équipements dans un état de marche correct. Pour plus d’informations, veuillez contacter votre centre de service Pfeiffer Vacuum local.
- Page 66 Maintenance Maintenance 10.1 Réduction du capillaire (OmniStar) Conditions Système arrêté préalables Capillaire détaché du point de mesure La longueur du capillaire reste adéquate après le raccourcissement Outils nécessaires Coupe-tube, outil de coupe pour capillaire ou couteau.
- Page 67 Maintenance 4 Contrôlez la pression de la chambre d’analyse. La pression totale de la chambre d’analyse s’affiche sur le panneau avant du GSD 320 ; la pression totale peut également être déterminée à l’aide du logiciel. La pression affichée doit être ≥ 1 x 10 mbar ...
- Page 68 Maintenance 2 Cassez le capillaire au point préalablement entaillé. Reportez-vous à la Figure 10-4. Figure 10-4 Rupture du capillaire 3 Démarrez le système. Patientez 10 minutes (temps d’accélération de la turbopompe). 4 Contrôlez la pression de la chambre d’analyse. La pression totale de la chambre d’analyse s’affiche sur le panneau avant du GSD 320 ;...
- Page 69 Maintenance 4 Retirez le panneau avant du GSD 320 selon la procédure décrite dans la Dépose du panneau avant. Déposez ensuite le capot du boîtier de l’élément chauffant du four d’entrée, comme indiqué dans la Dépose du boîtier de l’élément chauffant de l’entrée.
- Page 70 50 mm du capillaire à quartz dépassent de l’extrémité de l’élément chauffant. Enroulez l’excès de capillaire dans le four. 7 Changement d’un capillaire en acier inoxydable (OmniStar) uniquement: S’i le faut, découpez le raccord utilisé pour fixer le capillaire sur le point des mesure.
- Page 71 Maintenance Le tube en J et le raccord hexagonal étant toujours fixés sur le capillaire, extrayez le capillaire de l’élément chauffant par le four avant. Reportez-vous à Figure 10-8. Figure 10-8 Déposez l’ensemble de capillaire en acier inoxydable Tube en J Raccord hexagonal Déconnectez le raccord hexagonal de l’ancien capillaire.
- Page 72 Maintenance 8 Installez l’isolant en mousse dans le four. Insérez le bord inférieur de la mousse en premier afin que celle-ci soit maintenue en place entre la paroi du four et la plaque. Insérez ensuite la moitié supérieure de la mousse dans le four. Assurez-vous que le capillaire à...
- Page 73 Maintenance 10 Connectez le câble ruban sur le panneau avant. Reportez-vous à la Figure 10-12. Figure 10-12 Réinstallez le câble ruban du panneau avant Goupille 1 Bande rouge orientée comme indiqué 11 Réinstallez le panneau avant de la manière suivante: 11a Insérez les goupilles à...
- Page 74 6 Déposez le panneau avant et déconnectez le capillaire en respectant la procédure l’6 on page 69 pour le ThermoStar ou de l’7 on page 70 pour l’OmniStar. 7 Procédez comme suit pour changer l’orientation de l’entrée de l’élément chauffant du côté vers le haut. Reportez-vous à la Figure 10-14 et à...
- Page 75 Déposez les panneaux vides du haut et du côté du four en retirant les (4) vis CHC de chaque panneau. Pour les appareils OmniStar, l’électrovanne de l’entrée doit être tournée de 180° afin que les bornes électriques soient à l’opposé du tuyau de l’élément chauffant.
- Page 76 Maintenance Déplacez le panneau avec l’élément chauffant vers le côté du GSD 320 et fixez- le avec quatre vis CHC. REMARQUE Les cordons d’alimentation de l’élément chauffant comportent du mou pour le déplacement du panneau, il peut cependant être nécessaire de tirer une longueur supplémentaire de l’intérieur du GSD 320.
- Page 77 Maintenance 10.5 Dépose du PrismaPlus du GSD 320 Le PrismaPlus doit être enlevé du GSD 320 pour permettre le remplacement du filament. Outils nécessaires Clé hexagonale M2 Clé hexagonale M4 Clé hexagonale M5 Procédure 1 Exécutez la commande <Shutdown> (Arrêt) du GSD. 2 Débranchez le GSD 320 du secteur.
- Page 78 Maintenance 5 Retirez le capot en le glissant vers l’arrière du GSD 320, comme le montre la Figure 10-18. Figure 10-18 Retrait du capot par glissement vers l’arrière du GSD 320 6 Desserrez maintenant les (2) vis CHC avec la clé hexagonale M5. Les vis sont représentées dans la Figure 10-19.
- Page 79 Maintenance 7 Glissez maintenant le capteur hors du GSD 320, comme indiqué dans la Figure 10-20. Figure 10-20 Dépose du capteur PrismaPlus 8 Pour terminer, débranchez les câbles ethernet, des entrées analogiques et numériques et d’alimentation, comme l’indique la Figure 10-21.
- Page 80 Maintenance 10.6 Remplacement du filament REMARQUE Les instructions relatives au remplacement d’une source d’ions HS fermée figurent dans le mode d’emploi du PrismaPlus, référence BG 5214. 10.7 Toile filtrante Nettoyage La toile filtrante de l’arrivée d’air doit être nettoyée en cas d’accumulation substantielle de poussière.
- Page 81 Maintenance Figure 10-22 Nettoyage et remplacement des toiles filtrantes. Toile filtrante Support Toile filtrante Vis inférieures...
- Page 82 Lorsque vous travaillez dans une zone sous vide, utilisez toujours des outils propres et portez des gants non pelucheux. Outils nécessaires REMARQUE Le kit d’admission du gaz OmniStar est nécessaire pour le remplacement du diaphragme du GSD 320 OmniStar. Numéro de commande : PT 162 001 Outils spéciaux pour le GSD 320 Clé...
- Page 83 Maintenance 7 Détachez le capillaire de la vanne d’admission du gaz avec une clé ouverte de 1/4 po. 8 Utilisez la clé hexagonale M2,5 pour retirer les (2) vis de fixation de la bride d’admission du gaz. Les deux vis de fixation sont représentées dans la Figure 10-23.
- Page 84 Maintenance 13 Remplacez le piston avec son ressort, le joint et le joint torique 12,42 X 1,78 (reportez-vous à la Figure 10-24). Contrôlez les surfaces d’étanchéité et nettoyez-les si nécessaire. Figure 10-24 Dépose du piston 1 ..Joint torique 2 .
- Page 85 Maintenance Figure 10-25 Ensemble de vanne 1 ..Joint torique 9,25 x 1,78 2 ..Vis de fixation 3 ..Diaphragme 4 .
- Page 86 Maintenance 10.9 Remplacement du diaphragme de la ThermoStar AVERTISSEMENT Lorsque vous travaillez dans une zone sous vide, utilisez toujours des outils propres et portez des gants non pelucheux. Outils nécessaires REMARQUE Un kit d’admission du gaz ThermoStar est nécessaire pour le remplacement du diaphragme du GSD 320 ThermoStar.
- Page 87 Maintenance 11 Remplacez les joints toriques 9,25 x 1,78 et 18,77 x 1,78. (Voir Figure 10-26). Contrôlez les surfaces d’étanchéité de la bride d’admission du gaz et nettoyez-les si nécessaire. Figure 10-26 Admission du gaz (ThermoStar) 1 ..Diaphragme 2 .
- Page 88 Respectez attentivement la procédure correspondante. Changez le palier de la turbopompe au moins tous les quatre ans. Contactez votre centre de services de Pfeiffer Vacuum local. Définissez les cas dans lesquels la fréquence des remplacements doit être réduite (ex.
- Page 89 Maintenance...
- Page 90 Maintenance...
- Page 91 Ringwood Vic 3134, Australie d’autres fabricants) ou un de ses distributeurs nationaux Adaptateur d’élément BG 442 778 -T Pfeiffer Vacuum chauffant de capillaire Figure 11-1 Adaptateur d’élément chauffant de capillaire Adaptateur d’élément chauffant de capillaire Tube d’élément chauffant de capillaire...
- Page 92 12.2 Pièces pour les deux systèmes Description Numéro de commande Filament en tungstène (standard) BN 846281 -T Yttrié à l’iridium BN 846 395 -T 12.3 OmniStar Numéro de Description commande Jeu de consommables pour entrée de gaz, consistant en : PT 162001 Capillaire en...
- Page 93 à la directive sur les biens dangereux (version actuelles). Si des appareils sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante, Pfeiffer Vacuum effectuera la décontamination aux frais de l’expéditeur. Neutralisez l’appareil en le rinçant avec de l’azote ou de l’air sec.
- Page 94 Mise au rebut Mise au rebut DANGER Danger : Pièces contaminées. Les pièces contaminées peuvent être nocives pour la santé et l’environnement. Avant de commencer le travail, déterminez si des pièces sont contaminées. Respectez les règlements en vigueur et prenez les précautions nécessaires lors de la manipulation des pièces contaminées.
- Page 95 RVC 300 Settings Annexe A RVC 300 Settings Paramètres du contrôleur de vanne RVC 300, micrologiciel Version 2.11. Configuration Mode ... . Pression Vanne ... . EVR 116 STD Capteur .
- Page 96 RVC 300 Settings AO 1 ..Capteur de signal AO 2 ..Signal de vanne AO 3 ..Position de la vanne AO 4 .
- Page 97 ● Directive Basse tension 2014/35/UE ● Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE ● Limitation de l'utilisation de certaines substances dangereuses 2011/65/UE ● Machines 2006/42/CE (Annexe II, No. 1 A) OmniStar™ GSD 320 ThermoStar™ GSD 320 Système d’analyse des gaz Normes harmonisées et normes nationales appliquées : Sécurité...
- Page 98 UN SEUL FOURNISSEUR DE SOLUTIONS DE VIDE Dans le monde entier, Pfeiffer Vacuum est reconnu pour ses solutions de vide innovantes et adaptées, son approche technologique, ses conseils et la fiabilité de son service. UNE LARGE GAMME DE PRODUITS Du composant au système complexe, nous sommes votre seul fournisseur de solutions de vide offrant une gamme complète de produits.