Publicité
Fig. 21:
Fig. 22:
Réduction de la valeur « Axe de champ »
► Réduisez la valeur « Axe de champ » quand l'ajustement du paramètre « Résolution » entraîne
Le but de l'optimisation mutuelle de « l'axe de champ » et de la « résolution » est d'obtenir un niveau
de pic maximum avec la résolution désirée et une forme de pic suffisamment bonne. Si la réduction de
la valeur « Axe de champ » ne permet pas de corriger un défaut de forme de pic, cela peut être lié à
une contamination ou un problème mécanique (par exemple, centrage incorrect de la sources d'ions ou
assemblage dans une position inclinée). Dans le chapitre « Ions de surface », vous découvrirez com-
ment différencier les ions normaux des ions EID à l'aide du paramètre « Axe de champ ».
7.9.9 Configuration du paramètre de source d'ions « V5 Extraction »
La tension d'extraction (V5 Extraction) accélère les ions de la zone d'ionisation vers le système à tiges.
Procédé
1. Ajustez « V5 Extraction » sur la hauteur de pic maximum.
2. Optimisez aussi la valeur « Focalisation » en cas de changement de la valeur « V5 Extraction ».
7.9.10 Configuration du paramètre de source d'ions « V6/ V7 Déviation interne »
Les tensions de déviation (« Déviation », « DEFI » et « DEFO ») dirigent les ions à travers le conden-
sateur de déviation 90°. Dans le QMG, en mode de fonctionnement Faraday, elles sont automatique-
ment commutées sur le potentiel de masse. Les deux plaques de déviation sont respectivement sur un
potentiel positif pour les ions négatifs, et sur un potentiel négatif pour les ions positifs. Le filtre de masse
accélère les ions vers l'unité de déviation et les dirige vers le SEM.
Une tension de déviation
La plaque de déviation interne est sur le potentiel « V6 Déviation interne », la plaque de déviation ex-
terne est directement raccordées au seau de Faraday et au pré-amplificateur électromètre EP1 et est
donc sur le potentiel de terre. La valeur optimum est déterminée par le potentiel de formation d'ions
« Référence Ion » et dans une certaine mesure par la tension SEM.
Valeurs indicatives
● Référence Ion : 120 V | 40 V
● Déviation interne : 300 V | 200 V
Procédé
► Ajustez la « Déviation interne » pour atteindre la hauteur de pic maximum.
► Optimisez à nouveau la « Déviation interne » à chaque fois que vous changez la valeur « Ten-
Pics érodés
Réduction de la valeur « Axe de champ »
une diminution de la hauteur de pic au lieu d'une amélioration de la résolution.
sion SEM ».
Utilisation
45/58
Publicité
