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5. Réglez la tension de déviation sur « Déviation interne »
6. Avant l'optimisation, laissez le dispositif chauffer pendant 30 minutes avec l'émission activée.
7.9.2 Optimisation avec gaz-test
Procédé
1. Laissez un gaz approprié s'écouler à l'intérieur à une pression de 5 × 10
2. Si vous ne pouvez pas laisser du gaz s'écouler à l'intérieur, effectuez l'optimisation avec un pic de
Souvent, pour améliorer la sensibilité, on utilise des procédés d'admission avec une pression dans la
source d'ions plus élevée que dans l'environnement. Dans ces cas, déterminer la sensibilité en A/hPa
n'a aucun sens.
7.9.3 Configuration du paramètre de source d'ions « Émission »
« Courant » : le courant d'émission typique est de 1 mA. Pour des cathodes yttriées, c'est la valeur
maximum. Dans certains cas (par exemple, une source d'ions à grille), la sensibilité est supérieure avec
2 mA. Cependant, parfois, la sensibilité maximum est atteinte avec des réglages d'émission plus bas,
par exemple pour des sources d'ions croisés avec des aimants de collimation électronique. Ceci est dû
aux effets de charge spatiale. Observez les informations détaillées concernant votre type de source
d'ions. Recommandation : Si vous changez la valeur « Courant d'émission »,optimisez aussi la valeur
« Courant de protection ».
Travail avec une basse énergie électronique et de hautes pressions
► Avec un réglage basse énergie électronique ("Cathode », par exemple <50 V), réglez « Courant
► À des pressions >10
7.9.4 Configuration du paramètre de source d'ions « Courant de protection »
Quand la pression remonte dans la source d'ions, le courant de chauffage du filament augmente. Cet
effet est utilisé pour désactiver la cathode quand la pression remonte. Le « Courant de protection »
détermine le seuil de désactivation. Si l'activation de l'émission est impossible, cela est généralement
dû au réglage trop bas du « Courant de protection ».
Procédé
► Pour obtenir une protection optimum, réglez le seuil de seuil de désactivation aussi bas que pos-
7.9.5 Configuration du paramètre de source d'ions « V1 Référence Ion »
« Référence Ion » est le potentiel nominal pour la formation d'ions avec la source d'ions. Le potentiel
efficace est un peu inférieur à cause du coefficient de pénétration du champ d'extraction et à la charge
spatiale électronique. « Référence Ion » est le potentiel de référence pour tous les autres potentiels (se
reporter à la fiche technique). « Référence Ion » est la tension positive la plus haute. De ce fait, virtuel-
lement toutes les particules négatives (des électrons, principalement) se déplacent vers la zone d'ioni-
sation. La désorption induite par l'impact électronique peut ainsi y avoir lieu, si cela est possible. Les
interférences liées aux jauges d'ionisation à proximité sont ainsi évitées de manière efficace. En géné-
ral, la valeur « Référence Ion » doit être réglée (environ 20 V) pour dépasser légèrement l'énergie élec-
tronique (« V2 Cathode »). La cathode est ainsi sur un potentiel positif par rapport à la masse ; la sour-
8)
rement, si nécessaire.
– Attendez le procédé de dégazage initial.
source d'ions spéciales).
– Pour des masses plus élevées, l'optimisation nécessite d'inclure des composants correspon-
dants, sinon l'air est approprié.
gaz résiduel approprié.
– Faites attention aux changements de dégazage qui surviennent en cas de changement de
paramètres, par exemple en ce qui concerne le H
d'émission » sur 0,1 – 0,2 mA ou moins pour éviter une surcharge sur le filament.
-5
hPa, par exemple, réduisez la valeur "Courant d'émission » sur 0,2 mA
pour améliorer la linéarité de la mesure (courant d'ions/pression partielle).
sible.
– Le réglage est optimal quand vous êtes à peine capable d'activer l'émission sans déclencher
le circuit de protection (protection du filament).
Seulement en cas de type de détecteur SEM
8)
et réajustez « Axe de champ » légè-
-6
hPa flow in (pour des
O.
2
Utilisation
43/58
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