Sécurité
Risques lors de l'installation
Danger de mort à cause de la tension électrique sur l'analyseur
Pendant le fonctionnement, une tension dangereuse est présente sur le système d'électrodes de
l'analyseur QMA. Dans certaines conditions, les composants dans le système de vide sont dange-
reux au toucher. La tension électrique représente un danger mortel.
► Protégez les pièces installées, les unités raccordées et les lignes contre les connexions galvani-
► Assurez-vous que l'enceinte à vide, le QMA et l'appareillage complet ont toujours une connexion
► Fournissez une protection supplémentaire si l'utilisateur risque de toucher l'analyseur quand le
► Assurez une protection mécanique contre le contact de l'analyseur et les composants installés.
► Assurez une séparation obligatoire de l'alimentation en courant lors de l'ouverture du système
Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses
Les tensions de l'IS 716 et les tensions auxiliaires BIAS, TARGET et EXTR sont mortelles.
► Observez la fiche technique de l'IS 716.
► Utilisez seulement des câbles de fabrication professionnelle.
Danger de mort en cas d'électrocution
Les tensions sous les plaques de raccordement sont mortelles. Le fonctionnement est interdit si les
tubes protecteurs ont été retirés.
► Réinstallez tous les tubes protecteurs qui ont été retirés avant de raccorder les câbles.
► Faites attention aux informations complémentaires dans les chapitres correspondants pour des
Risques pendant le fonctionnement
Risques sanitaires et environnementaux dus aux de gaz de procédé utilisés
Les gaz utilisés (gaz de procédé) constituent un risque sanitaire et environnemental.
► Contrôler l'étanchéité des branchements avant de laisser le gaz de procédé pénétrer dans le
► Veiller à ce que le système des gaz d'échappement soit compatible avec les gaz injectés.
► Tenir compte des interactions potentielles entre les matériaux et les gaz de procédé.
► Respecter les directives en vigueur lors de la manipulation de gaz utilisés.
► Respecter les mesures de protection.
Risques pendant la maintenance
Risque d'intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxi-
ques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opéra-
tions de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L'élimination illégale de substances toxiques nuit à l'environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environne-
► Décontaminer les pièces concernées avant d'exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
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ques, les éclats ou le flux porteur de charge.
correcte à la terre protectrice.
système de vide est ouvert.
(par exemple, en utilisant un contact de porte).
DANGER
DANGER
sources d'ions spéciales.
ATTENTION
système.
AVERTISSEMENT
mentaux dus aux substances de procédé toxiques.