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Description du produit
ce d'entrée mis à la terre. La cathode est raccordée au milieu ; chaque moitié de celle-ci peut ainsi
fonctionner séparément.
Dégazage
Avec la fonction de dégazage, le taux de dégazage de la source d'ions à grille et de la désorption des
ions de surface est réduit.
● Pression : ≤ 10
● Émission : ≤ 20 mA (à 550 V)
● Durée : 10–15 minutes
Recommandations de dégazage pour la source d'ions à grille
1. Effectuez un dégazage pendant 10 – 15 minutes.
2. Attendez la pression limite.
3. Contrôlez le spectre.
4. Si nécessaire, répétez l'opération.
100 V
Fig. 4:
1 Grille
2 Cathode
Émission
V1
V2
V4
V6
Courant de protection
Tab. 5:
6)
7)
22/58
-7
hPa
1
2
0
Arrangement électrode et courbe de potentiel de la source d'ions à grille
3
Orifice d'entrée
4
Système à tiges
Valeurs typiques de la source d'ions à grille
À p > 5 × 10
-6
hPa, réduisez à 0,2 mA.
Avant de réduire V2 à < 50 eV, réduisez « Émission » à 0,1 mA et V9 à < 20 V pour éviter une surcharge de la
cathode.
3
4
Référence Ion
Cathode
Axe de champ
Déviation interne
W
YO
-Ir
x
6)
2 mA
120 V
7)
100 eV
10 V
200 V
4,2 A
3,5 A
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