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100 V
0
-100 V
Fig. 3:
1 Wehnelt
2 Cathode
3 Zone d'ionisation
4 Extraction
Émission
V1
V2
V3
V4
V5
V6
Courant de protection
Tab. 4:
3.2.3 Source d'ions à grille
La source d'ions à grille a une construction très ouverte, un taux de dégazage extrêmement faible et
peut être facilement dégazée. Elle émet seulement quelques ions de surface. Elle est toujours équipée
de deux filaments en tungstène.
Exemples d'applications
● Analyse de gaz résiduels dans UHV
● Mesures de désorption
Fonction
Les deux électrons qui sont émis par la cathode annulaire sont accélérés vers la grille et passent princi-
palement par la grille. Les ions formés à l'intérieur de la grille sont attirés par le filtre de masse via l'orifi-
4)
5)
1 2 3
4
5
Arrangement électrode et courbe de potentiel de la source d'ions à faisceau croisé
5
6
7
8
Valeurs typiques de la source d'ions à faisceau croisé
Avec aimant 0,7 mA / À p > 5 × 10
Avant de réduire V2 à < 50 eV, réduisez « Émission » à 0,1 mA et V9 à < 20 V pour éviter une surcharge de la
cathode.
6
7
8
Plaque de base
Focalisation
Orifice d'entrée
Système à tiges
Référence Ion
Cathode
Focalisation
Axe de champ
Extraction
Déviation interne
W
YO
-Ir
x
-6
hPa, réduisez à 0,1 mA.
Description du produit
4)
1 mA
90 V
5)
70 eV
20 V
15 V
250 V
300 V
4,2 A
3,5 A
21/58
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