Manuels Connexes pour Pfeiffer Vacuum QMA 4X0
Sommaire des Matières pour Pfeiffer Vacuum QMA 4X0
- Page 1 MANUEL DE L'UTILISATEUR Traduction d'original QMA 4X0 Analyseur quadrupolaire pour QMG 700 HiQuad ®...
- Page 2 Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
- Page 3 Responsabilité et garantie Conditions propriétaire Qualification personnelle 2.8.1 Garantir la qualification du personnel 2.8.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation 2.8.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Conditions opérateur Description du produit Structure Sources d’ions 3.2.1 Source d’ions axiale 3.2.2 Source d’ions à...
- Page 4 Expédition Recyclage et mise au rebut Informations générales sur la mise au rebut Élimination du système du spectromètre de masse Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Informations de commande 11.1 Commande de pièces 11.2 Commande de pièces de rechange Caractéristiques techniques et dimensions 12.1 Fiche technique...
- Page 5 Table des matières 12.2 Dimensions Déclaration de conformité CE Déclaration de Conformité UK 5/58...
- Page 6 Valeurs typiques de la source d’ions axiale Tab. 4: Valeurs typiques de la source d’ions à faisceau croisé Tab. 5: Valeurs typiques de la source d’ions à grille Tab. 6: Pièces de rechange pour QMA 4x0 Tab. 7: Fiche technique Tab. 8: Dimensions Tab. 9: Dimensions des sources d’ions...
- Page 7 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: QMA avec SEM à décalage axial de 90° Fig. 2: Arrangement électrode et courbe de potentiel de la source d’ions axiale Fig. 3: Arrangement électrode et courbe de potentiel de la source d’ions à faisceau croisé...
- Page 8 QMA 430 Vous trouverez le numéro de la pièce sur la plaque signalétique du produit. Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d'apporter des modifications techniques sans préavis. Les figures de ce document ne sont pas à l’échelle. Les dimensions sont indiquées en mm, sauf avis contraire.
- Page 9 Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations. Plaque signalétique La plaque signalétique est située sur le côté de l’unité. D-35614 Asslar Mod. QMA 4x0 PT M0x xxx Made in United States 2022/08 Input 1.3.4 Abréviations Abréviation...
- Page 10 A propos de ce manuel Abréviation Explication Vide ultra-élevé extrême Iridium yttrié Tab. 2: Abréviations utilisées 1.4 Justificatif de marque de commerce ● HiQuad ® est une marque déposée de Pfeiffer Vacuum GmbH. ● QUADERA ® est une marque déposée de Inficon GmbH. 10/58...
- Page 11 Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d’une éva- luation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la vie du produit.
- Page 12 Sécurité Risques lors de l’installation DANGER Danger de mort à cause de la tension électrique sur l’analyseur Pendant le fonctionnement, une tension dangereuse est présente sur le système d’électrodes de l’analyseur QMA. Dans certaines conditions, les composants dans le système de vide sont dange- reux au toucher.
- Page 13 Sécurité Risques liés à l’expédition AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement par produits contaminés L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou répara- tion implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance. ► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité. Risques pendant la mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû...
- Page 14 ● Utilisation suite à des modifications techniques (à l’intérieur ou à l’extérieur du produit) ● Utilisation avec des accessoires ou pièces de rechange inappropriés ou non approuvés 2.6 Responsabilité et garantie Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité et garantie si la société exploitant le produit ou une partie tierce : ● ignore ce document ●...
- Page 15 ─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum 2.8.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de cours et de formations techniques. Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum.
- Page 16 5. Observer la fiche technique. 6. Si ce manuel de l’utilisateur ne permet pas de répondre à toutes les questions posées lors de l’uti- lisation ou de l’entretien du produit, contacter le Pfeiffer Vacuum Service Center. – Des informations sont disponibles dans la zone de service Pfeiffer Vacuum.
- Page 17 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Structure Un analyseur quadrupolaire est constitué de : ● Source d’ions ● Filtre de masse avec tiges quadripolaires ● Détection d’ions (SEM et unité de déviation avec Faraday, ou seulement Faraday) ● Enveloppe protectrice avec brides La haute précision mécanique et l’optimisation de l’unité...
- Page 18 Description du produit 3.2 Sources d’ions L’ionisation est obtenue par impact ionique. Sous l’effet de l’émission thermique, les électrons quittent un câble chauffé et sont ensuite focalisés par des champs d’attraction vers la zone d’ionisation. Le pro- cédé d’ionisation est le facteur le plus décisif pour la qualité de toute l’analyse. Toute erreur à ce niveau du procédé...
- Page 19 Description du produit 100 V Fig. 2: Arrangement électrode et courbe de potentiel de la source d’ions axiale 1 Cathode Focalisation 2 Wehnelt Orifice d’entrée 3 Zone d’ionisation Système à tiges Émission 1 mA Référence Ion 90 V Cathode 70 eV Focalisation 20 V Axe de champ...
- Page 20 Description du produit Exemples d’applications ● Analyse de faisceaux de particules et analyse de gaz générale ● Analyses de gaz qualitatives et quantitatives (composition et écoulement du temps) ● Analyse des gaz corrosifs et réactifs (avec des accessoires spéciaux) ● Détection de la contamination dans les gaz ●...
- Page 21 Description du produit 1 2 3 100 V -100 V Fig. 3: Arrangement électrode et courbe de potentiel de la source d’ions à faisceau croisé 1 Wehnelt Plaque de base 2 Cathode Focalisation 3 Zone d’ionisation Orifice d’entrée 4 Extraction Système à...
- Page 22 Description du produit ce d’entrée mis à la terre. La cathode est raccordée au milieu ; chaque moitié de celle-ci peut ainsi fonctionner séparément. Dégazage Avec la fonction de dégazage, le taux de dégazage de la source d’ions à grille et de la désorption des ions de surface est réduit.
- Page 23 Description du produit 3.3 Filtre de masse Une sélection correcte de la matière et des méthodes de fabrication hautement précises garantissent un haut degré de linéarité et de reproductibilité. 3.3.1 QMA 430 Le système à tiges de 8 mm en acier inoxydable peut être utilisé jusqu’à un numéro de masse de 300. 3.3.2 QMA 400 Pour des domaines de masse plus élevés ainsi que pour une stabilité...
- Page 24 Description du produit 3.4.2 Détection des ions négatifs CP 400 0...-3.5kV +3.1kV HV 702 Fig. 6: Détection des ions négatifs Procédé ► Avec HV 702, appliquez +3,1 kV sur la première dynode (HV-) pour la détection des ions négatifs (-3,1 kV pour les ions positifs). –...
- Page 25 – Toutes les matières ne sont pas disponibles pour tous les types de sources d’ions. 3.5.2 Aimant de collimation électronique Pfeiffer Vacuum recommande d’équiper la source d’ions à faisceau croisé avec une unité magnétique pour les applications dans les domaines de masse élevés, pour la détection de faisceaux moléculaires et dans le QMA 410 pour la séparation He et D2.
- Page 26 Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum. ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, conservez toujours à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique.
- Page 27 Transport et stockage 4 Transport et stockage 4.1 Transport du produit AVIS Dégâts causés par un transport incorrect Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut endommager le produit. ► Conforme aux instructions pour un transport en toute sécurité. Emballage Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine.
- Page 28 Installation 5 Installation 5.1 Préparation de l’analyseur pour l’installation DANGER Danger de mort à cause de la tension électrique sur l’analyseur Pendant le fonctionnement, une tension dangereuse est présente sur le système d’électrodes de l’analyseur QMA. Dans certaines conditions, les composants dans le système de vide sont dange- reux au toucher.
- Page 29 Installation 5.1.2 Préparation du système d’admission de gaz Fig. 9: Alignement correct de la bride du QMA avec la source d’ions C/B Procédé ► Préparez le système d’admission de gaz de manière à pouvoir facilement le raccorder plus tard à la source d’ions. ►...
- Page 30 Installation 5.1.4 Utilisation du pont sur chevalets d’assemblage Fig. 11: Analyseur sur le pont sur chevalets d’assemblage 1 Analyseur Pont sur chevalets d’assemblage 2 Support Procédé 1. Fixez avec des pinces le pont sur chevalets d’assemblage sur une table stable. 2. Placez l’analyseur avec le support sur le pont sur chevalets d’assemblage. 5.1.5 Dépose de la protection pour le transport AVIS Défaillance liée à...
- Page 31 Installation Fig. 12: Dépose de la protection pour le transport 1 Protection pour le transport Enveloppe protectrice de l’analyseur 2 Filtre de masse Procédé 1. Retirez avec précaution la protection pour le transport et rangez-la pour une utilisation ultérieure. 2. Contrôlez les dommages à l’intérieur et les courts-circuits sur le câblage. 5.1.6 Dépose du tube protecteur Conditions préalables ●...
- Page 32 Installation 5.1.7 Installation des aimants de collimation électronique AVIS Défaillance liée à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement.
- Page 33 ► Pendant l’installation, utilisez une lame de couteau pour maintenir le joint vertical stationnaire. Installation à 2 personnes En fonction de la position d’installation, le travail peut être difficile. Pfeiffer Vacuum recommande l’assistance d’une deuxième personne pour éviter les dom- mages. Condition préalable ●...
- Page 34 Installation 5.3 Raccordement du système d’admission de gaz ATTENTION Risques sanitaires et environnementaux dus aux de gaz de procédé utilisés Les gaz utilisés (gaz de procédé) constituent un risque sanitaire et environnemental. ► Contrôler l'étanchéité des branchements avant de laisser le gaz de procédé pénétrer dans le système.
- Page 35 Installation Fig. 16: Tube protecteur 1 Tube protecteur Grandes vis (2×) Fig. 17: Plaque de raccord SEM 1 Vis (3×) Goupille 2 Vis à six pans creux intérieurs (3×, SW 1,5 mm) Approche générale ► Pour retirer la plaque de raccord SEM, retirez l’EP 422. ►...
- Page 36 Installation 7. Mettez en place le tube protecteur. 8. Installez les deux grandes vis. 9. Raccordez tous les câbles à la plaque de raccord SEM. 5.7 Montage du contre pré-amplificateur ions CP 400 Vous trouverez des informations sur le montage du contre pré-amplificateur ions CP 400 dans le ma- nuel de l’utilisateur correspondant pour le CP 400.
- Page 37 Calibration du générateur haute fréquence Dans les systèmes complets, Pfeiffer Vacuum effectue une calibration d’usine du générateur haute fré- quence spécifiquement pour l’analyseur. Procédez de la manière suivante si le générateur haute fré- quence n’est plus calibré précisément pour s’accorder à l’analyseur.
- Page 38 Réglage de la source d’ions croisés avec un aimant Pour les analyses à des pressions différentes, Pfeiffer Vacuum recommande de retirer l’unité magnéti- que ou de réduire les émissions à 0,1 mA. À de faibles niveaux d’émissions (jusqu’à 0,1 mA), le procé- dé...
- Page 39 Utilisation 8. Déterminez la valeur la plus favorable pour « IonRef » et la polarité optimale de câble comme dé- crit dans la section « Réglage sans aimant ». 9. Augmentez « Extraction » jusqu’à ce que la sensibilité soit réduite de 5 % ; ceci augmente la sta- bilité.
- Page 40 7.5 Évaluation de la sensibilité Pfeiffer Vacuum détermine à l’usine la sensibilité avec ou sans SEM. Le journal de test fourni à la livrai- son du produit contient les valeurs qui ont été déterminées. La sensibilité est spécifiée dans A/hPa pour un gaz de référence.
- Page 41 Utilisation TO DOWN » pour verrouiller les gammes de mesure les plus sensibles. Pour éviter ce problème, utili- sez le compteur d’ions. Facteur d’amplification Détermination du facteur d’amplification ► Enregistrez la gamme intéressante du spectre de masse en mode de fonctionnement SEM et Fa- raday.
- Page 42 Utilisation 7.9.1 Sélection des modes de fonctionnement recommandés Fig. 19: Paramètres par défaut du programme de réglage de la source d’ions du logiciel Qua- dera Fig. 20: Paramètres optimisés de la source d’ions pour le spectre avec azote et oxygène, en utilisant un CB-IQ comme exemple Utilisation de la «...
- Page 43 Utilisation 5. Réglez la tension de déviation sur « Déviation interne » et réajustez « Axe de champ » légè- rement, si nécessaire. 6. Avant l’optimisation, laissez le dispositif chauffer pendant 30 minutes avec l’émission activée. – Attendez le procédé de dégazage initial. 7.9.2 Optimisation avec gaz-test Procédé...
- Page 44 Utilisation ce d’ions n’émet ainsi aucun électron vers l’environnement. Ceci permet d’éviter des interférences avec le seau de Faraday du système et les instruments de mesure à proximité (par exemple, les jauges d’io- nisation). Par ailleurs, les gaz absorbés dans l’environnement peuvent être émis par l’impact électroni- que ce qui pourrait avoir un effet sur la mesure.
- Page 45 Utilisation Fig. 21: Pics érodés Fig. 22: Réduction de la valeur « Axe de champ » Réduction de la valeur « Axe de champ » ► Réduisez la valeur « Axe de champ » quand l’ajustement du paramètre « Résolution » entraîne une diminution de la hauteur de pic au lieu d’une amélioration de la résolution.
- Page 46 Utilisation 7.9.11 Configuration du paramètre de source d’ions « V8 Réserve » Le potentiel V8 est utilisé dans des cas spéciaux. 7.9.12 Configuration du paramètre de source d’ions « V9 Wehnelt » La tension Wehnelt est seulement utilisée avec la source d’ions axiale. 7.9.13 Réglage de la résolution Procédé...
- Page 47 ► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité. Décontamination payante Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme « Sans contaminants », à votre charge. Expédier le produit en toute sécurité...
- Page 48 – Fluoroélastomères (FKM) – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 9.2 Élimination du système du spectromètre de masse Les systèmes de spectromètre de masse Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler. 1. Démontez les éléments du boîtier.
- Page 49 Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment.
- Page 50 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails con- tenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
- Page 51 Unité filament avec 2 filaments en tungstène, recouvert Y , pour sour- BN845282 -T ce d’ions croisés, également étanche au gaz Unité filament avec 2 filaments en tungstène, pour source d’ions à grille BN845095 -T Tab. 6: Pièces de rechange pour QMA 4x0 51/58...
- Page 52 Caractéristiques techniques et dimensions 12 Caractéristiques techniques et dimensions 12.1 Fiche technique Paramètre Valeur Surpression Surpression admissible ≤ 2000 hPa (absolue) Vide Pression de fonctionnement (Faraday) ≤1 × 10 hPa dans la source d’ions Pression de fonctionnement (SEM) ≤1 × 10 hPa dans la source d’ions 9) 10) Sensibilité...
- Page 53 Caractéristiques techniques et dimensions Paramètre Valeur Faisceau croisé (étanche au gaz), avec un raccord axial Alésage dans la céramique de verre pour tube avec un diamètre extérieur de 3 mm Température de dégazage Sans câbles et plaques de raccord ≤400 °C Avec aimant de collimation électronique ≤300 °C Avec câbles et plaques de raccord...
- Page 54 Caractéristiques techniques et dimensions Dimension [mm] Décalage SEM 90° Faraday QMA 400 QMA 430 QMA 410 QMA 400 QMA 410 267,5 269,2 DN 63 CF DN 63 CF DN 100 CF DN 63 CF DN 100 CF DN 63 CF DN 63 CF DN 63 CF Ø...
- Page 55 La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabri- cant. Déclaration pour produit(s) du type : Analyseur QMA 4x0 Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européen- nes suivantes. Basse tension 2014/35/CE Compatibilité...
- Page 56 EN IEC 61326-1:2021 EN 55011:2016 + A1:2017 + A11:2020 + A2:2021 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitu- tion du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...
- Page 57 57/58...