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Table des matières
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5.1.1 Choix de l'orientation de montage
5.1.2 Préparation du système d'admission de gaz
5.1.3 Installation de la plaque de support
5.1.4 Utilisation du pont sur chevalets d'assemblage
5.1.5 Dépose de la protection pour le transport
5.1.6 Dépose du tube protecteur
5.1.7 Installation des aimants de collimation électronique
5.2
Installation de l'analyseur
5.3
Raccordement du système d'admission de gaz
5.4
Installation du générateur HF QMH 40x
5.5
Installation du pré-amplificateur électromètre EP 422 sur l'analyseur
5.6
Dépose/installation de la plaque de raccord SEM
5.7
Montage du contre pré-amplificateur ions CP 400
5.8
Raccordement des câbles des composants
Mise en service
Utilisation
7.1
Ajustement de la source d'ions
7.1.1 Ajustement de la source d'ions axiale
7.1.2 Ajustement de la source d'ions croisés
7.1.3 Ajustement de la source d'ions à grille
7.2
Fonctionnement de l'analyseur à haute température
7.3
Dépose/installation des plaques de raccord
7.4
Étuvage de l'analyseur
7.5
Évaluation de la sensibilité
7.6
Multiplicateur d'électrons secondaire (SEM)
7.7
Ions de surface
7.8
Utilisation de la fonction de dégazage
7.9
Détermination des valeurs optimales pour les paramètres
7.9.1 Sélection des modes de fonctionnement recommandés
7.9.2 Optimisation avec gaz-test
7.9.3 Configuration du paramètre de source d'ions « Émission »
7.9.4 Configuration du paramètre de source d'ions « Courant de protec-
tion »
7.9.5 Configuration du paramètre de source d'ions « V1 Référence Ion »
7.9.6 Configuration du paramètre de source d'ions « Cathode V2 »
7.9.7 Configuration du paramètre de source d'ions « V3 Focalisation »
7.9.8 Configuration du paramètre de source d'ions « V4 Axe de champ »
7.9.9 Configuration du paramètre de source d'ions « V5 Extraction »
7.9.10Configuration du paramètre de source d'ions « V6/ V7 Déviation in-
terne »
7.9.11Configuration du paramètre de source d'ions « V8 Réserve »
7.9.12Configuration du paramètre de source d'ions « V9 Wehnelt »
7.9.13Réglage de la résolution
7.9.14Adaptation de la polarité du câble HF
Expédition
Recyclage et mise au rebut
9.1
Informations générales sur la mise au rebut
9.2
Élimination du système du spectromètre de masse
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
Informations de commande
11.1 Commande de pièces
11.2 Commande de pièces de rechange
Caractéristiques techniques et dimensions
12.1 Fiche technique
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