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l'instrument, mais il serait plus efficace de démonter/nettoyer ou de remplacer la
section source d'ions plutôt que de réviser le tube de l'analyseur.
Si la révision de la section de la source d'ions n'est pas efficace, remplacer le tube du
multiplicateur d'électrons secondaire. Le facteur d'amplification de ce tube étant sujet à
une diminution progressive, il est souhaitable de mesurer périodiquement la sensibilité
(facteur d'amplification).
15.4 Interprétation de la valeur de mesure
La composition du gaz est évaluée à partir du nombre de masse du spectre et est
déterminée de manière quantitative par la valeur de courant ionique du pic supérieur du
spectre. Étant donné qu'il n'est pas possible de convertir directement la valeur de
courant ionique (A) en pression partielle (Pa), déterminez la sensibilité (A/Pa) en
effectuant un étalonnage à l'aide d'une jauge à ionisation en utilisant de l'azote afin
d'obtenir des informations sur la valeur de pression.
15.4.1 Facteur de sensibilité
La sensibilité d'un spectromètre quadripôle varie selon les types de gaz. Principales
raisons :
1.
La probabilité d'ionisation dans la source d'ions varie avec le type de gaz, comme
avec la jauge à ionisation.
2.
Plus le nombre de masse est élevé, plus l'efficacité de transmission de la section
quadripôle est réduite.
3.
Le facteur d'amplification du tube du multiplicateur d'électrons secondaire varie en
fonction de l'espèce d'ions.
Pour lire la valeur du spectre de chaque gaz en tant que quantité de gaz, alimentez le
mélange gazeux avec un rapport de volume connu et déterminez le facteur de sensibilité
pour chaque gaz.
15.4.2 Modèle de fissuration
1.
Ions dissociés par ionisation
2.
Ion divalent
3.
Isotope, etc.
Les modèles de fissuration surviennent lorsque plusieurs spectres apparaissent avec un
type de gaz, ce qui est le cas avec la plupart des types de gaz. Le nombre de masse des
gaz résiduels dans un système de vide ordinaire est inférieur ou égal à 50 et le nombre
de modèles de fissuration est faible, de sorte qu'il est relativement facile de les analyser.
Toutefois, en présence d'un mélange de gaz organique, il est difficile d'analyser le
modèle de fissuration.
15.4.3 Chevauchement de pics
Étant donné qu'un type de gaz est identifié par son nombre de masse, il est difficile de
séparer les gaz dont le nombre est identique. Par exemple, le N
forme de gaz résiduel ont des modèles de fissuration aux nombres de masse 14 et 12
respectivement. Il est possible de les juger dans une certaine mesure, mais il n'est pas
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D05002883_B - Annexe
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et le CO présents sous
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