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D05002883_B - Précautions à respecter en cours de fonctionnement
appliquée au multiplicateur d'électrons secondaire (SEM). Mais la sensibilité du SEM
peut diminuer en raison de l'historique d'utilisation du tube de l'analyseur. Afin de
maintenir la sensibilité, vous pouvez étalonner en ajustant la tension appliquée sur le
SEM.
Matériel nécessaire :
▪
Un système de pompage doté de performances d'échappement utilisable avec
l'analyseur
▪
Une jauge à vide pour mesurer la pression
▪
Du gaz pour maintenir une pression constante (N
l'argon)
▪
Un mécanisme de réglage de la pression (par exemple : vanne de fuite variable,
contrôleur de débit massique)
Dans le logiciel d'analyse des gaz dédié, utilisez la recette « calibration mode for
sensitivity calibration mode ».
Par exemple, une recette permettant de régler la tension SEM pour mesurer un courant
ionique de 2,5 x 10
une sensibilité de 5,0 x 10
L'analyseur de gaz résiduel/le contrôleur de gaz de procédé mesure des courants
ioniques de l'ordre de 0,1 mA à 0,1 pA. Si la résistance d'isolement entre l'électrode de
réseau (150 V) et l'électrode du collecteur d'ions (0 V) est de 200 MW, l'isolation peut
être considérée comme acceptable au sens normal, mais pour une mesure du
microcourant comme avec une jauge à ionisation, un courant de fuite de 0,75 mA
s'échapperait de l'électrode de réseau. En outre, le courant ionique n'est pas détectable
en dessous de 1 uA, car le sens de fuite est l'inverse du courant ionique.
11.5.3 Étalonnage de la sensibilité de la cavité de Faraday
Cavité de Faraday (FC), la sensibilité est spécifiée en saisissant le courant ionique du type
de gaz spécifié mesuré dans des conditions de pression constante et la valeur de
pression à ce moment-là. Pour plus de détails, reportez-vous à la section « Étalonnage
de la sensibilité FC » dans le mode d'emploi du logiciel.
11.5.4 Température et humidité de l'environnement de fonctionnement
La résolution varie en fonction de la température et de l'humidité de l'environnement de
fonctionnement. Si la résolution change, ajustez-la lorsque la température et l'humidité
sont constantes.
Les nombres de masse varient en fonction de la température et de l'humidité de
fonctionnement. Dans ce cas, étalonnez le nombre de masse lorsque la température et
l'humidité sont constantes.
11.6 Conversion en pression partielle
Les pics de nombres de masse qui sont mesurés par un spectromètre de masse sont
détectés comme des valeurs de courant ionique (A). Vous pouvez utiliser différentes
méthodes pour les convertir en mesures de pression partielle.
Le logiciel comprend les méthodes suivantes :
D05002883_B
-6
A lorsque du gaz N
2
-3
A/Pa (=2,5 x 10
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et un gaz général, comme
2
est introduit jusqu'à 5,0 x 10
-6
-4
A/5 x 10
Pa).
04/2022 - ©Edwards Limited
-4
Pa donnerait
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