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4.
Créez une recette de mode d'étalonnage.
5.
Saisissez le courant de réglage sur la recette. Les normes d'expédition sont les
suivantes :
PRA : 2,5 x 10
WRA : 6,25 x 10
6.
Entrez la pression du gaz d'écoulement dans la recette. Les normes d'expédition
sont les suivantes. Veuillez vous y reporter.
PRA : 5 x 10
WRA : 5 x 10
7.
Saisissez le nombre de masse m/z du gaz qui s'écoule dans la recette.
28 pour le gaz N
40 pour gaz Ar
Après avoir terminé les saisies ci-dessus, cliquez sur Set Now (définir maintenant).
Le logiciel passe en mode d'étalonnage de sensibilité.
8.
Réglez le panneau de commande comme indiqué.
SEM : comme suit
Collecteur ionique : SEM
Filament : 1 ou 2
D05002883_B
D05002883_B - Entretien
-6
-4
A à 5 x 10
Pa
-6
-4
A à 5 x 10
Pa
-4
Pa
-4
Pa
2
Page 74
04/2022 - ©Edwards Limited
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