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Sortie = 50 %
Temps = 1 heure
Remarque :
Pendant une opération de dégazage normale, 100 % de la puissance de dégazage
correspond à 5,0 mA de courant d'émission, 50 % à 2,5 mA et 10 % à 0,5 mA.
Toutefois, s'il y a beaucoup de dépôts, le flux d'électrons thermiques sera instable
et s'arrêtera et le courant d'émission indiquera 0,0 mA comme illustré ci-dessous
dans la figure. Dans ce cas, le PC n'émet pas de message d'erreur et le temps
restant progresse comme en fonctionnement normal. Renouvelez l'opération de
dégazage pour dégazer complètement la source d'ions.
7.
Vérifiez à nouveau la sensibilité après dégazage. Si, après dégazage, le courant
ionique est inférieur à 1 x 10
dégazage plus long avec un courant supérieur ou envisagez de remplacer la source
d'ions.
13.3.5 Étalonnez la mesure de la pression totale
Objectif
Cycle
Procédure :
1.
Faites circuler le gaz dans le capteur jusqu'à atteindre la pression cible. Ensuite,
commencez la mesure et confirmez la pression totale.
D05002883_B
D05002883_B - Entretien
-7
A/Pa de plus d'un ordre de grandeur, envisagez un
Corrigez la mesure de pression totale en calculant un coeffi‐
cient de correction à l'aide de la jauge à vide de la chambre.
Chaque fois que vous changez de source d'ions ou de cap-
teur.
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04/2022 - ©Edwards Limited
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