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Figure 40 Diagramme de stabilité du plan (U, V) et des lignes de scan de masse
15.2.3 Section du détecteur
La section du détecteur collecte et amplifie les ions qui ont traversé la section du filtre.
Certains analyseurs simplifiés peuvent attraper directement les ions simplement avec la
cavité de Faraday, pour mesurer la valeur du courant ionique. Normalement, on utilise
un tube multiplicateur d'électrons secondaire, un Channeltron, un Ceratron ou un autre
dispositif pour convertir les ions incidents en électrons, les amplifier en appliquant un
facteur de 5 ou 6 et les envoyer vers l'amplificateur CC du contrôleur.
Pour l'amplification électronique, une haute tension d'environ -2 kV est appliquée à
l'extrémité incidente de l'amplificateur. L'unité de détection est disposée en position
OFF-AXIS par rapport à l'axe central de la section du filtre pour empêcher l'incidence des
rayons X mous générés par la section de la source d'ions et dans le filtre.
15.3 Manipulation du spectromètre quadripôle
15.3.1 Plage de pression de mesure
Normalement, la plage de fonctionnement est de 0,01 Pa ou moins. Si le spectromètre
est utilisé à une pression supérieure, le filament de la source d'ions s'oxyde ou grille, ce
qui détériore le tube du multiplicateur d'électrons secondaire. Dans la plage de 10
on constate une perte de linéarité et la sensibilité peut diminuer.
Pour mesurer un gaz à haute pression, pompez la section du tube de l'analyseur de
manière différentielle à l'aide d'une pompe turbomoléculaire et effectuez la mesure en
alimentant en gaz le système à mesurer tout en le contrôlant.
15.3.2 Détérioration
Il est nécessaire de réviser le tube de l'analyseur si la sensibilité a diminué d'un facteur
de 3 ou plus par rapport à la période initiale ou si la forme d'onde devient pointue et
que le bruit est perceptible. Normalement, des filaments de rechange sont fournis avec
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D05002883_B - Annexe
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