Publicité
2.
Saisissez la pression et le courant ionique que vous avez validé lors de la
confirmation de la sensibilité et cliquez sur OK.
13.3.7 Étalonnez la sensibilité du SEM
Objectif
Cycle
Procédure :
1.
Introduisez le gaz de sorte que la pression à l'endroit où le RGA est installé soit
comprise entre 1 x 10
de l'argon.
2.
Déterminez la sensibilité de fonctionnement requise pour le SEM.
Si vous réglez une sensibilité élevée, le SEM peut détecter de petites fluctuations,
mais sa durée de vie est réduite.
La sensibilité standard pour chaque modèle est la suivante :
PRA : 5 x 10
WRA : 12,5 x 10
3.
Calculez le courant d'étalonnage en ampères [A] à partir de la sensibilité [A/Pa] et
de la pression en pascals [Pa].
Courant d'étalonnage [A]= Sensibilité [A/Pa] 'Pression d'étalonnage [Pa]
Exemple : Si la sensibilité est de 5 x 10
de 5 x 10
D05002883_B
D05002883_B - Entretien
Étalonner la sensibilité du multiplicateur d'électrons secondaire (SEM)
pour assurer une sensibilité constante des mesures. Le SEM amplifie les
petits courants ioniques à l'aide d'une cascade d'électrons secondaires
générés par ces électrons secondaires accélérés. Le taux d'amplification
des électrons secondaires est inversement proportionnel à l'intensité du
courant de mesure et au nombre d'heures de fonctionnement. Vous
pouvez restaurer le taux d'amplification en augmentant la tension four-
nie au SEM. Effectuez l'étalonnage à haute pression pour éviter la possi-
bilité de réduire la durée de vie du SEM ou de provoquer des lectures
fluctuantes dues à une décharge électrique.
Le cycle dépend de la fréquence d'utilisation. Si vous utilisez le RGA uni-
quement en mode FC, vous n'avez pas besoin d'effectuer cet étalonna-
ge.
-4
Pa et 1 x 10
-3
A/Pa
-3
A/Pa
-4
Pa, alors le courant d'étalonnage est de 2,5 x 10
Page 73
-3
Pa. Nous recommandons d'utiliser du N
-3
A/Pa et que la pression d'étalonnage est
04/2022 - ©Edwards Limited
ou
2
-6
A
Publicité
