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4. Spécifications et configurations
4.1 Caractéristiques techniques et spécifications
Tableau 1 Caractéristiques techniques et spécifications
Série
Modèle
Plage de nombres de
masse (amu)
Résolution (M/DM)
Spectromètre de mas-
se
Détecteur
Sensibilité (A/mbar)
Pression partielle mini-
male détectable
(mbar)
Pression de fonction‐
nement maximale
(mbar)
Mesure des pressions
totales
Plage de mesure de
pression totale
Linéarité (mbar)
Source d'ions
Filament
Tension d'ionisation
(eV)
Courant d'émission
(mA)
Dégazage
Tension appliquée au
SEM (kV)
Température maximale
d'étuvage (lorsque
D05002883_B
D05002883_B - Spécifications et configurations
PRA
PRA100
PRA100S
1-100
FC
FC/SEM
1e-5
400*
e-10
e-14
B – Type A avec fonction de mesure de la pression totale
0,5
-
-1,0 à -3,0
120 °C
Page 19
PRA200
PRA200S
1-200
M/DM=1M (100 % P.H.)
Type quadripôle (QMS)
FC
FC/SEM
‡
1e-5
400
e-10
e-14
1e-4
Oui
Commande 1e-4 - e-7 mbar
-
Ir/Y
O
2
3
50
Bombard électron 330 V, 5 mA
-
-1,0 à -3,0
WRA
WRA200S
WRA300S
1-200
1-300
FC/SEM
FC/SEM
FC:2.5e-4 A
FC:2.0e-4 A
à 1,0 mA
à 1,0 mA
‡
SEM:400
SEM:400
FC : commande e-12
SEM : commande e-11
25-70
§
0,05/0,5/1,0
-1,0 à -3,0
‡
250 °C
04/2022 - ©Edwards Limited
‡
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