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Figure 26 Affectation des broches vue du côté atmosphérique (PRA)
1. FIL1
1. FIL1
3. FIL2
3. FIL2
5. RF
5. RF
7. RF
7. RF
9. IC (FC) PRA
9. IC (FC) PRA
13.2.2 Remplacement du filament (modèles WRA)
1.
Desserrez les vis M2 (A) sur les joints FIL1, FIL2 et FIL.C à l'aide d'un petit tournevis
et retirez les bornes du joint hermétique.
2.
Retirez les deux vis M2 (entourées) du montant de la source d'ions à l'aide d'un
petit tournevis.
D05002883_B
D05002883_B - Entretien
10. TP
10. TP
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2. Grille
2. Grille
4. FIL.C
4. FIL.C
6. HV
6. HV
8. IC (SEM/FC)
8. IC (SEM/FC)
04/2022 - ©Edwards Limited
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