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3.
Retirez le câblage de RF 1 (A) et 2 (B) qui fixe le pôle Q à l'intérieur du cylindre (voir
figure : Dimensions WRA
le cylindre lorsque vous retirez le câblage.
4.
Retirez les quatre vis M2 en bas du cylindre. Tirez le cylindre droit vers le haut pour
le retirer. Lors de la dépose du cylindre, l'état de montage du SEM sera confirmé.
5.
Retirez les prises connectées aux broches « l » et « m » de l'embase du tube de
l'analyseur (A). Le fait de retirer cette broche sépare le SEM de la bride de base. Si
une force est exercée horizontalement sur la broche, elle risque de se casser.
6.
Installez un nouveau SEM. Placez la prise sur les broches « l » et « m » (A).
7.
Placez le cylindre (A) dans sa position d'origine. Fixez-le à l'aide de quatre vis M2
(B).
8.
Réglez le câblage de RF1 et RF2 sur Q-Pole dans la position d'origine. Fixez-le avec
deux vis M2.
9.
Installez le câblage FIL1, FIL2, FIL.C, GRID, FOCUS et GAUGE sur la source d'ions.
10.
Reliez les deux bandes et fixez‐les avec des vis M2.
11.
Vérifiez la continuité et l'isolation en vous référant au
13.3 Calibrate (étalonner)
Pour utiliser le RGA dans des conditions normales, un étalonnage ou un réglage
périodique est nécessaire. Nous vous recommandons d'étalonner à intervalles fixes.
D05002883_B
D05002883_B - Entretien
). Faites attention de ne pas laisser tomber la vis M2 dans
Page 62
tableau : Tube de
l'analyseur.
04/2022 - ©Edwards Limited
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