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Analyseur de gaz résiduel (RGA)

MANUEL DU MATÉRIEL

D05002883_B

Traduction des instructions d'origine

Sommaire des Matières pour Edwards PRA Serie

Page 1 edwardsvacuum.com Analyseur de gaz résiduel (RGA) MANUEL DU MATÉRIEL D05002883_B Traduction des instructions d’origine...
Page 2 Avis de droit d'auteur ©Edwards Limited 2022. Tous droits réservés. Informations sur les marques Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited, Innovation Drive, Burgess Hill, West Sussex RH15 9TW. Non-responsabilité Le contenu de ce manuel peut être modifié à tout moment sans préavis. Nous déclinons toute responsabilité...
Page 8 Figure 40: Diagramme de stabilité du plan (U, V) et des lignes de scan de masse..87 D05002883_B Page 8 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 9 Le « personnel formé » pour le fonctionnement de cet équipement désigne : ▪ des travailleurs qualifiés ayant des connaissances dans les domaines de la mécanique, de l’ingénierie électrique, du traitement de la pollution et de la technologie du vide ainsi que D05002883_B Page 9 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 10 Indique un danger potentiel lié à une surface chaude. Avertissement – Sous pression L'équipement contient des gaz/liquides sous pression. Avertissement – Risque d’explosion Risque d'explosion lors de la réalisation de la tâche. Obligatoire – Lire le manuel D05002883_B Page 10 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 11 Risque d’explosion ou d’incendie. Le tube de l’analyseur contient une cathode très chaude (environ 1 400 °C). Si le gaz à introduire dans le tube de l’analyseur est combustible ou inflammable, vérifiez sa densité limite et la quantité de gaz avant utilisation. D05002883_B Page 11 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 12 -3 kV lorsque le SEM est activé. AVERTISSEMENT : MATÉRIAU INFLAMMABLE Risque d’incendie. Avant d’allumer l’appareil, vérifiez que la tension de fonctionnement et la tension d’alimentation sont identiques. Une alimentation incorrecte pourrait provoquer des dommages ou un incendie. D05002883_B Page 12 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 13 Si l’appareil est mis sous tension alors que le tube de l’analyseur n’est pas branché, cela risque d’endommager les composants. D05002883_B Page 13 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 14 Les éléments de la liste des consommables ne sont pas couverts par la garantie. ATTENTION : IMPACT DÛ À UN CHOC Risque d’endommagement de l’équipement. Équipement délicat. Faites en sorte que l’appareil ne puisse pas subir d’impacts. D05002883_B Page 14 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 15 AVERTISSEMENT : TENSION DANGEREUSE Risque de choc électrique. Ne pas modifier l’adaptateur secteur. En cas de modification, le fonctionnement et les performances ne sont pas garantis. Cela risquerait de provoquer un incendie ou un choc électrique. D05002883_B Page 15 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 16 Utilisez cet adaptateur secteur en respectant les spécifications prévues. ATTENTION : RÉEMBALLAGE Risque d’endommagement de l’équipement. Remettez l’adaptateur secteur dans son emballage original au départ d’usine. S’il est expédié sans emballage, il risque de s’abîmer. D05002883_B Page 16 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 17 Lorsque vous mettez cet adaptateur secteur au rebut, respectez les réglementations gouvernementales applicables. Si le tube de l’analyseur ou ses pièces ont été utilisés dans un environnement susceptible d’affecter la santé humaine, respectez une méthode agréée pour les mettre au rebut. D05002883_B Page 17 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 18 REACH de l’UE, dans la carte à circuits imprimés, le châssis et le connecteur. Cet appareil est conforme à la directive RoHS de l’UE, avec les exemptions liées aux matériaux de l’annexe III pour le plomb (Pb). D05002883_B Page 18 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 19 § 0,05/0,5/1,0 (mA) Dégazage Bombard électron 330 V, 5 mA Tension appliquée au -1,0 à -3,0 -1,0 à -3,0 -1,0 à -3,0 SEM (kV) Température maximale ‡ 120 °C 250 °C d’étuvage (lorsque D05002883_B Page 19 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 20 ‡ Dans des conditions de fonctionnement standard (10-40 °C). Humidité (15-18 %), température maximale d’étuvage lorsque l’unité de capteur est connectée à 200 °C et 250 °C. Veiller à maintenir la température ambiante inférieure à 25 °C et l’humidité D05002883_B Page 20 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 21 4.2 Configuration standard Tableau 2 Configuration standard Élément Quantité Unité de capteur Tube de capteur CD contenant le logiciel et le mode d’emploi Adaptateur secteur CA/CC Câble LAN 4.3 Modèles PRA Figure 1 Dimensions PRA D05002883_B Page 21 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 22 4.4 Modèles WRA Figure 2 Dimensions WRA 4.5 PRA100/PRA200 (avec tube de l’analyseur) Figure 3 Dimensions PRA100/PRA200 (avec tube de l’analyseur) 4.6 PRA100S/PRA200S (avec tube de l’analyseur) Figure 4 Dimensions PRA100S/PRA200S (avec tube de l’analyseur) D05002883_B Page 22 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 23 D05002883_B - Spécifications et configurations 4.7 WRA200S/WRA300S (avec tube de l’analyseur) Figure 5 Dimensions WRA200S/WRA300S (avec tube de l’analyseur) D05002883_B Page 23 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 24 Pour lancer une mesure. La LED orange en haut indique que Bouton de marche (START) la mesure a commencé. L’unité de pression partielle mesurée. Pour O , l’afficha‐ LED d’affichage des unités de valeur de mesure ge indique un pourcentage (%). D05002883_B Page 24 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 25 Connecteur RJ45 (8 pôles 8 fils) pour brancher le câble Connecteur Ethernet (LAN) Le connecteur de communication Ethernet assure une connexion câblée pour PC Windows avec un logiciel dédié installé. Prend en charge uniquement les PC sous Windows. D05002883_B Page 25 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 26 5.4 Commutateur DIP Le commutateur DIP configure l’unité de capteur. Il est possible de changer les commutateurs 2 et 4 avec l’alimentation sous tension. Après avoir effectué d’autres D05002883_B Page 26 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 27 D05002883_B - Boutons et connexions modifications, réinitialisez l’alimentation de l’unité de capteur pour qu’elles soient appliquées. D05002883_B Page 27 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 28 OFF = Mode distant (fonctionnement du PC) Pour définir l’adresse du capteur pour cette unité RGA. Pour les réglages des commutateurs, voir le tableau ci-dessous. Adresse Adresse (0 : OFF, 1 : ON) D05002883_B Page 28 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 29 Capteur 6 192.168.250.16 Capteur 7 192.168.250.17 Capteur 8 192.168.250.18 Capteur 9 192.168.250.19 Capteur 10 192.168.250.20 Capteur 11 192.168.250.21 Capteur 12 192.168.250.22 Capteur 13 192.168.250.23 Capteur 14 192.168.250.24 Capteur 15 192.168.250.25 Capteur 16 192.168.250.26 D05002883_B Page 29 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 30 à la terre (SELV-E selon EN 61010). ▪ Prévoyez suffisamment d’espace autour de l’appareil pour que les évents des panneaux restent dégagés et pour permettre une bonne dissipation de la chaleur. D05002883_B Page 30 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 31 Vérifiez la continuité du filament entre FIL1 et FIL.C et entre FIL2 et FIL.C. Mesurez la résistance. Si les filaments sont intacts, la résistance est d’environ 1 W. Si le filament est cassé, la résistance est infinie (circuit ouvert). D05002883_B Page 31 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 32 10. N.F. 11. GRILLE 11. GRILLE 12. RF1 12. RF1 6.2.2 Installez l’unité de capteur ATTENTION : UNITÉ DE CAPTEUR Veillez à ce que l’unité de capteur ne se cogne pas contre d’autres structures. D05002883_B Page 32 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 33 Raccordez la prise de terre à une protection de terre de classe A pour éviter les courants de fuite. Raccordez le brochage du connecteur d’alimentation et serrez fermement les vis afin que le connecteur d’alimentation ne puisse pas se détacher. D05002883_B Page 33 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 34 3. Câble LAN 4. Unité de capteur 4. Unité de capteur 5. Moyeu de commutation 5. Moyeu de commutation 6. Unité de capteur (maximum 16 unités) 6. Unité de capteur (maximum 16 unités) D05002883_B Page 34 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 35 Le voyant POWER s’allume. Aucune indication à l’écran. ▪ Mode local Les voyants POWER et Pa s’allument. 0,0 x 10 s’affiche à l’écran sous la forme « 0.0 » et « -0 ». D05002883_B Page 35 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 36 Confirmez que la pression de fonctionnement est suffisamment basse et allumez le filament à plusieurs reprises jusqu’à ce que le gaz émis diminue. Cliquez sur Measure MES pour démarrer l’analyse du gaz. Les voyants S et M s’allument. D05002883_B Page 36 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 37 Avec la fonction de mesure à l’arrêt, mettez le commutateur DIP 4 sur ON. Effectuez une analyse des gaz en vous référant à la section Fonctionnement du panneau avant à la page 38. D05002883_B Page 37 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 38 La pression partielle est indiquée sur l’écran pendant la mesure. Le bouton CH permet de changer de type de gaz, de He à ration (%) H O, N ANY et TP. MESU – 3 D05002883_B Page 38 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 39 (« F2 » est indiqué pour le filament 2, le cas échéant). 9.4 En cas de défaillance RF Err. - 2 Si une défaillance se produit dans RF avec le bouton START activé, la mention « RF » s’affiche à l’écran. D05002883_B Page 39 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 40 Si le signal de verrouillage est émis lorsque le bouton START est allumé, la mention « Prot » s’affiche à l’écran. La mention « Prot » peut également apparaître en cas de hausse instantanée de la pression juste après l’allumage du filament. D05002883_B Page 40 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 41 à la terre avec le contact de relais ou le collecteur ouvert. Le courant de fuite maximal admissible sur l’unité externe est de 0,1 mA ou moins. La tension de saturation maximale entre l’émetteur et le collecteur est de 0,4 V. D05002883_B Page 41 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 42 Différentiel : Résolution : 0,01 V Remarque : Pour connecter plusieurs enregistreurs ou dispositifs en parallèle sur l’entrée analogique W en série avec la du RGA, utilisez une résistance (impédance d’entrée) d’environ 100 k D05002883_B Page 42 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 43 à l’amplificateur opérationnel d’entrée. Si un autre enregistreur est connecté en parallèle à l’entrée analogique du RGA, il est possible que la tension d’entrée de cet enregistreur fluctue en raison de cette impédance indéfinie. D05002883_B Page 43 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 44 Les ions qui ont traversé le quadripôle sont incidents sur le SEM. Les ions sont incidents sur la surface métallique du 1er étage à travers l’orifice d’entrée des ions dans le SEM, et D05002883_B Page 44 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 45 Calculez le rapport de (2) à (3), c’est-à-dire « (2)/(3) », pour obtenir le facteur d’amplification du SEM et vérifier l’état de détérioration. Exemple : Valeur SEM mesurée = 9,71e-5A, valeur FC mesurée = 6,12e-11A D05002883_B Page 45 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 46 Pour éviter les brûlures, prenez des précautions, y compris des panneaux bien visibles indiquant « Avertissement – Température élevée » à proximité du tube de l’analyseur. Allumez l’élément chauffant pour commencer l’étuvage. D05002883_B Page 46 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 47 11.5.2 Étalonnage de la sensibilité SEM La sensibilité du spectromètre de masse est déterminée par des facteurs tels que la sensibilité intrinsèque de la source d’ions, la transmission du quadripôle et la tension D05002883_B Page 47 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 48 Les pics de nombres de masse qui sont mesurés par un spectromètre de masse sont détectés comme des valeurs de courant ionique (A). Vous pouvez utiliser différentes méthodes pour les convertir en mesures de pression partielle. Le logiciel comprend les méthodes suivantes : D05002883_B Page 48 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 49 Si l’instrument n’est pas utilisé pendant une période prolongée, stockez le tube de l’analyseur dans une atmosphère de gaz inerte (azote par exemple). Si le tube de l’analyseur est stocké dans une atmosphère très humide, cela risque d’abîmer le SEM. D05002883_B Page 49 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 50 MTBF 100 000 heures minimum à charge maximale, 25 Fiabilité °C Norme de sécurité : UL/c-UL (UL 60950-1 : 2e édition), Norme applicable TUV/GS (EN 60950-1 : 2e édition), EMI : FCC classe B, EN 55022 et EN55024 classe B, CE D05002883_B Page 50 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 51 Si vous mettez sous tension des broches incorrectes, vous risquez de provoquer des dégâts internes. ATTENTION : POWER OFF (hors tension) Pour éviter d’endommager l’unité, vérifiez que l’alimentation est bien coupée avant d’effectuer des branchements. D05002883_B Page 51 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 52 Vérifiez le connecteur d’entrée d’alimentation. Cause Le câble d’alimentation présente une rupture de continuité. Remède Vérifiez la continuité et l’isolation des fils du câble d’alimentation à l’aide d’un testeur de circuit ou autre. D05002883_B Page 52 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 53 Tension nominale 24 V c.c. Consommation électrique 138 mA (à 24 V c.c.) Interface Connecteur femelle RJ45 8 pièces Distance maximale de transmission 100 m Possibilité de montage sur rail DIN uni- Installer versel D05002883_B Page 53 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 54 Tension nominale 24 V c.c. Consommation électrique 275 mA (à 24 V c.c.) Interface Connecteur femelle RJ45, 16 pièces Distance maximale de transmission 100 m Possibilité de montage sur rail DIN uni- Installer versel D05002883_B Page 54 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 55 Vérifiez que l’alimentation est coupée. Câblage du connecteur d’alimentation 8 ports ▪ Branchez l’alimentation 24 V c.c. sur le connecteur d’alimentation de cette unité Prenez soin de couper l’alimentation principale lorsque vous branchez l’alimentation électrique. D05002883_B Page 55 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 56 Prenez soin de couper l’alimentation principale lorsque vous branchez l’alimentation électrique. Figure 25 Branchement électrique 16 ports A. Raccordement en tant qu’alimentation A. Raccordement en tant qu’alimentation B. Raccordement en tant qu’alimentation B. Raccordement en tant qu’alimentation redondante redondante unique unique D05002883_B Page 56 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 57 Si FIL1 a grillé sur un modèle équipé de deux filaments, remplacez le filament par FIL2. Si les deux filaments ont grillé ou si la source d’ions est très contaminée, il faut remplacer la source d’ions. Contactez notre représentant local. D05002883_B Page 57 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 58 Fixez le câblage à l’aide de la bande de fixation. Vérifiez la continuité et l’isolation conformément à la section Installation du tube de l’analyseur Installez le tube de l’analyseur à la page 30. D05002883_B Page 58 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 59 Desserrez les vis M2 (A) sur les joints FIL1, FIL2 et FIL.C à l’aide d’un petit tournevis et retirez les bornes du joint hermétique. Retirez les deux vis M2 (entourées) du montant de la source d’ions à l’aide d’un petit tournevis. D05002883_B Page 59 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 60 4. OBJECTIF 5. N.F. 5. N.F. 6. HV 6. HV 7. FIL2 7. FIL2 8. FIL1 8. FIL1 9. TP 9. TP 10. N.F. 10. N.F. 11. GRILLE 11. GRILLE 12. RF1 12. RF1 D05002883_B Page 60 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 61 13.2.4 Remplacer le multiplicateur d’électrons secondaire (SEM) (modèles WRA) Desserrez la vis M2 pour retirer le câblage FIL1, FIL2, FIL.C, GRID, FOCUS et GAUGE de la source d’ions. Desserrez la vis M2 pour desserrer les deux bandes. D05002883_B Page 61 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 62 Vérifiez la continuité et l’isolation en vous référant au tableau : Tube de l’analyseur. 13.3 Calibrate (étalonner) Pour utiliser le RGA dans des conditions normales, un étalonnage ou un réglage périodique est nécessaire. Nous vous recommandons d’étalonner à intervalles fixes. D05002883_B Page 62 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 63 Ouvrez le panneau de commande dans le menu Sensor. Dans le réglage de fonctionnement du bouton FIL, décochez toutes les cases sauf « RF ». Commencez la mesure et confirmez que vous observez une tension CC sur le testeur de circuit. D05002883_B Page 63 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 64 Tournez les potentiomètres d’ajustage de la résolution sur le panneau arrière du capteur pour ajuster la résolution tout en confirmant les spectres. (L) Réglez le côté masse basse (H) Réglez le côté masse haute D05002883_B Page 64 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 65 Pendant que vous ajustez les potentiomètres, suivez le sens de rotation et le nombre de rotations à tout moment. Figure 28 Spectre de référence (PRA100) Figure 29 Spectre de référence (PRA100S) D05002883_B Page 65 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 66 D05002883_B - Entretien Figure 30 Spectre de référence (PRA200/200S ou WRA200S) m/z=1-100 Figure 31 Spectre de référence (PRA200/200S ou WRA200S) m/z=101-200 Figure 32 Spectre de référence (WRA300S) m/z=1-100 D05002883_B Page 66 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 67 Effectuez un étalonnage lorsque vous remplacez le capteur ou la Cycle : source d’ions, ou si les conditions ambiantes (température, humi- dité) changent, ou lorsque vous confirmez la sensibilité. Procédure : D05002883_B Page 67 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 68 Définissez des points d’étalonnage pour plusieurs pics principaux (m/z = 2, 18, 28, 32, 40, 44...). Il faut au moins trois points pour l’étalonnage. Les nombres de masse des points que vous ne saisissez pas sont estimés à partir de l’extrapolation et de l’interpolation. D05002883_B Page 68 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 69 Nombre de masse de mesure : Débit de gaz (ex. N2 m/z = 28) Réglages de commande Dans le menu Sensor, ouvrez le panneau de commande et effectuez les réglages suivants : Collecteur ionique = FC Mode de courant d’émission D05002883_B Page 69 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 70 Lors de l’utilisation de la fonction de dégazage, la pression au niveau du capteur doit être aussi basse que possible. (inférieur à 1 x 10 Pa recommandé) Créez une recette de dégazage et utilisez‐la. Mode = Slow (lent) D05002883_B Page 70 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 71 Chaque fois que vous changez de source d’ions ou de cap- Cycle teur. Procédure : Faites circuler le gaz dans le capteur jusqu’à atteindre la pression cible. Ensuite, commencez la mesure et confirmez la pression totale. D05002883_B Page 71 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 72 Réglez le coefficient de conversion pour convertir le courant ionique Objectif en pression partielle. Si vous le convertissez par ratio, cet étalonna- ge n’est pas nécessaire. Cycle Après avoir confirmé la sensibilité. Procédure : Dans le menu Setting, sélectionnez Sensitivity factor. D05002883_B Page 72 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 73 Courant d’étalonnage [A]= Sensibilité [A/Pa] 'Pression d’étalonnage [Pa] Exemple : Si la sensibilité est de 5 x 10 A/Pa et que la pression d’étalonnage est de 5 x 10 Pa, alors le courant d’étalonnage est de 2,5 x 10 D05002883_B Page 73 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 74 Après avoir terminé les saisies ci-dessus, cliquez sur Set Now (définir maintenant). Le logiciel passe en mode d’étalonnage de sensibilité. Réglez le panneau de commande comme indiqué. SEM : comme suit Collecteur ionique : SEM Filament : 1 ou 2 D05002883_B Page 74 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 75 Pour remplacer le tube SEM, contactez votre représentant de service local. 13.5 Liste des pièces consommables ATTENTION : GARANTIE Les éléments de la liste des consommables ne sont pas couverts par la garantie. D05002883_B Page 75 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 76 WRA300S d’onde anormale. Multiplicateur PRA-S d’électrons secon- D05002013 La sensibilité diminue. WRA-S daire (SEM) 13.6 Liste du matériel Reportez-vous à ces listes lors de la mise au rebut ou du recyclage. D05002883_B Page 76 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 77 Figure 35 Tube d’analyseur Tableau 10 Tube d’analyseur Matériau Numéro. Pièces Filament Ir (iridium) Revêtement Y (oxyde d’yttrium) Filament Joint hermétique Verres borosilicate Broche Fe-Ni-Co (Kovar) Grille Mo (Molybdène) (alumine) Gaines d’isolement Quadripôle SUS304 SUS303 D05002883_B Page 77 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 78 (alumine)/Fe-Ni-Co (Kovar) ches Autres SUS304 Tableau 11 Unité de capteur Matériau Numéro Pièces Carter Al (aluminium) Connecteur Laiton/Téflon SUS303/POM (polyacétal) Autocollant panneau PET (Polytéréphtalate d’éthylène) SUS304 Autres Carte d’alimentation Figure 36 Unité de capteur D05002883_B Page 78 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 79 à l’intérieur. Dans ce cas, il est possible que le courant d’émission ne soit pas normal, même si l’autre filament présente une continuité. Dans ce cas, remplacez la source d’ions. D05002883_B Page 79 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 80 La tension du multiplicateur d’électrons secondaire (SEM) est trop faible. Remède Augmentez la tension SEM à l’aide du logiciel fourni. Cause Le nombre de masse n’est pas étalonné correctement. Remède Ré-étalonnez la masse à l’aide du logiciel inclus. D05002883_B Page 80 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 81 Renforcez le câblage de terre ou prenez des mesures, par exemple installez une unité de capteur ou un tube d’analyseur avec une terre flottante. D05002883_B Page 81 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 82 élevée. Lorsqu’il est activé et désactivé à l’aide d’un relais, assurez-vous que le courant d’actionnement minimum du relais est de 10 mA ou moins. Cause Défaillance du circuit d’entrée. Remède Consultez notre représentant le plus proche pour réparation et inspection. D05002883_B Page 82 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 83 HS1, remplissez le formulaire HS2 électronique, imprimez-le, signez-le et renvoyez-nous l’exemplaire signé. Remarque : Si nous ne recevons pas un formulaire HS2 dûment rempli, votre équipement ne pourra pas être entretenu. D05002883_B Page 83 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 84 La structure de la source d’ions est identique à celle de la jauge à vide à ionisation de type cathode chaude, dans laquelle les thermions émis par le filament sont accélérés et les molécules de gaz ionisées. Dans la jauge à vide d’ionisation, les ions sont recueillis D05002883_B Page 84 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 85 En remplaçant l’équation (1) par l’équation (2), on obtient l’équation différentielle de Maschew, qui correspond à l’équation (3). D05002883_B Page 85 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 86 Cela peut se résumer de la manière suivante : « Appliquer la tension dans la figure : Structure du tube de l’analyseur du spectromètre quadripôle et tension de balayage tout en maintenant le rapport U/V à un rapport permettant d’obtenir une résolution appropriée ». D05002883_B Page 86 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 87 Il est nécessaire de réviser le tube de l’analyseur si la sensibilité a diminué d’un facteur de 3 ou plus par rapport à la période initiale ou si la forme d’onde devient pointue et que le bruit est perceptible. Normalement, des filaments de rechange sont fournis avec D05002883_B Page 87 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 88 CO présents sous forme de gaz résiduel ont des modèles de fissuration aux nombres de masse 14 et 12 respectivement. Il est possible de les juger dans une certaine mesure, mais il n’est pas D05002883_B Page 88 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 89 Les hydrocarbures de type C apparais- sent à 36-44, en particulier à 39, 41 et 43. Hydrocarbures Hydrocarbures Certains pics de CO de C13 et O18 appa- Hydrocarbures, CO raissent à 45 et 46. D05002883_B Page 89 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 90 Sur le PC, définissez l’adresse IP fixe du RGA ci-dessus. Pour plus de détails sur la configuration de l’adresse IP du PC, voir Configuration du réseau PC RGA Configurez le réseau PC RGA à la page 92. D05002883_B Page 90 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 91 Dans le menu Setting, sélectionnez Communication IP address setting et cochez « Optional » pour le capteur à connecter. L’adresse IP variable que vous avez définie s’affiche. Ouvrez à nouveau la boîte de dialogue Sensor type et connectez-la à l’unité RGA. D05002883_B Page 91 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 92 (carte réseau) et sélectionnez Proper- ties Dans la liste, sélectionnez Internet proto- cole version4, TCP/IPv4 et cliquez sur Pro- perties Sélectionnez Use the following IP address. Définissez l’adresse IP du PC. Réglez l’option Subnet Mask sur 255.255.255.0. D05002883_B Page 92 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 93 Activer ou désactiver le pare-feu Windows Désactiver le pare-feu Windows 15.7.3 Ajouter des règles de pare-feu pour autoriser les communications RGA Droits d’administrateur requis (par ex. système d’exploitation : Windows10) Quitter le logiciel Windows D05002883_B Page 93 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 94 D05002883_B - Annexe Dans Control Panel, sélectionnez System and Security, Windows Defender Firewall et cliquez sur Advanced Settings Inbound Rules (Règles de trafic entrant) Nouvelle règle Program ® Next D05002883_B Page 94 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 95 RGA (par défaut, il est installé dans C:\ED- WARDS\ C:\Program Files (x86)\Edwards Cliquez sur Next. Allow the connection ® Next. Cochez « Domain », « Private », « Public » ® Next. D05002883_B Page 95 04/2022 - ©Edwards Limited...
Page 96 Dans Inbound Rules, vérifiez que « RGA » a été ajouté. Fermez l’écran de configuration du pare- feu Windows, démarrez le logiciel et véri- fiez la connexion de communication avec l’unité de capteur RGA. D05002883_B Page 96 04/2022 - ©Edwards Limited...
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