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15. Annexe
15.1 Principe de fonctionnement
Le tube de l'analyseur du spectromètre quadripôle se compose d'une section source
d'ions, d'une section filtre et d'une section détecteur. La masse d'ions générée par la
source d'ions est analysée dans la section filtre et le courant ionique est mesuré par la
section détecteur.
Figure 37 Structure du tube de l'analyseur du spectromètre quadripôle
1. Source d'ions
1. Source d'ions
3. Détecteur
3. Détecteur
L'exemple de spectre ci-dessous montre les rapports masse/charge électrique. Une
forme d'onde à intervalles égaux est obtenue pour une masse. La composition du gaz est
indiquée par la position des pics et la quantité de gaz est associée à la hauteur du pic,
par exemple H
position du nombre de masse 28 et Ar à la position du nombre de masse 40.
Figure 38 Exemple de spectre sur un spectromètre quadripôle
15.2 Principes de fonctionnement
15.2.1 Section de la source d'ions
La structure de la source d'ions est identique à celle de la jauge à vide à ionisation de
type cathode chaude, dans laquelle les thermions émis par le filament sont accélérés et
les molécules de gaz ionisées. Dans la jauge à vide d'ionisation, les ions sont recueillis
D05002883_B
D05002883_B - Annexe
à la position du nombre de masse 2, H
2
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2. Filtre
2. Filtre
O à la position 18, N
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04/2022 - ©Edwards Limited
à la
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