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5.
Dans le menu File (fichier), sélectionnez Send Calibration Data (envoyer données
d'étalonnage).
13.3.4 Confirmez la sensibilité (cavité de Faraday)
Objectif :
Cycle :
Procédure :
1.
Réglez le débit de gaz dans le capteur entre 1 x 10
et WRA).
Nous recommandons de l'azote ou de l'argon.
Exemple : Introduisez de l'azote gazeux jusqu'à 5 x 10
2.
Réglages de recette :
Mode : Tendance
Tension d'ionisation (WR uniquement) : 70 eV.
Unité de l'axe des Y : [A] (intensité)
Nombre de masse de mesure : Débit de gaz (ex. N2 m/z = 28)
3.
Réglages de commande
Dans le menu Sensor, ouvrez le panneau de commande et effectuez les réglages
suivants :
Collecteur ionique = FC
Mode de courant d'émission
D05002883_B
D05002883_B - Entretien
La sensibilité de la source d'ions diminue pendant le fonctionnement en
continu. Lorsque la sensibilité est réduite, il est difficile de détecter de
petites fluctuations de la pression partielle.
Le taux de réduction dépend des conditions de fonctionnement (types
de gaz, pression). Nous vous conseillons de confirmer la sensibilité et sa
réduction environ une fois par mois.
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-3
Pa et 1 x 10
Pa (modèles PRA
-3
Pa
04/2022 - ©Edwards Limited
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