Table des Matières
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La turbopompe à bride d'entrée ISO doit être fixée à la
chambre à vide à l'aide de colliers doubles ou simples. Le
tableau suivant décrit, pour chaque dimension de bride et pour
chaque type de collier, le nombre de colliers nécessaires ainsi
que le couple de serrage prescrit.
BRIDE
TYPE DE
COLLIER
ISO 63
Collier double
à filet M10
Collier simple
à filet M8
ISO 100
Collier double
à filet M10
Collier simple
à filet M8
La turbopompe à bride d'entrée ConFlat doit être fixée à la
chambre à vide à l'aide des éléments mécaniques Varian
prévus à cet effet. Pour tout autre détail, se reporter à
l'appendice "Technical Information".
NOTE
Le DRYVAR 150 ne peut être fixé par sa base.
Pour l'installation des accessoires en option, se reporter à
"Technical Information".
UTILISATION
Ce
paragraphe
présente
opérationnelles.
Avant d'utiliser le système, effectuer tous les branchements
électriques et pneumatiques. Pendant le chauffage éventuel de
la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit
pas dépasser 120°C.
! ! ! !
Ne jamais faire fonctionner la pompe si la bride d'entrée n'est
pas reliée à la chambre à vide ou si elle n'est pas fermée avec
la bride de fermeture.
! ! ! !
Éviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires
éventuels pendant les opérations de chauffage. La température
élevée peut être à l'origine de lésions graves.
! ! ! !
ATTENTION!
Éviter tout choc ou déplacement brusques de la turbopompe
lorsqu'elle est en marche. Cela pourrait endommager les
paliers
! ! ! !
ATTENTION !
Pour le "refoulement à l'air" de la pompe, utiliser un gaz inerte
dépourvu de poussière, particules ou humidité (Ex. azote). La
pression d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être
inférieure à 2 bars (au-delà de la pression atmosphérique).
Pour le pompage de gaz agressifs, ces pompes sont dotées
d'une porte spéciale à travers laquelle il est nécessaire de
fournir à la pompe un flux de gaz inerte (azote ou argon) pour
protéger les paliers (voir l'appendice "Technical Information").
! ! ! !
Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz
toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures
typiques de chaque gaz.
Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs.
N.
COUPLE DE
SERRAGE
4
22 Nm
4
11 Nm
4
22 Nm
8
11 Nm
les
principales
procédures
DANGER!
DANGER!
DANGER!
Mise en marche et utilisation du DRYVAR 150
Pour allumer le DRYVAR 150 il suffit de fournir la tension
d'alimentation.
Le
automatiquement la présence de l'alimentation et met la pompe
en marche.
La première mise en marche de la pompe se fait en mode "Soft
Start". Au terme du cycle de démarrage, ce mode se désactive
automatiquement et les mises en marche suivantes se font
sans le passage "Soft Start". Pour obtenir à nouveau une mise
en marche "Soft Start", il faut réactiver ce mode opératoire à
l'aide du logiciel (Cf. paragraphe "RS232 COMMUNICATION
DESCRIPTION" dans l'appendice "Technical Information").
Pendant le "soft Start", si le dispositif "vent valve" est installé,
après la commande de start seule la pompe à membrane
interne se met en marche pendant 2 minutes avec le "vent
valve" ouvert pour permettre le séchage des soupapes de la
pompe. Si le "Soft Start" n'est pas actif, le temps d'attente est
de 30 secondes.
Si le "vent valve" n'est pas installé, refouler manuellement l'air
de la pompe turbomoléculaire immédiatement après le start et
jusqu'à ce que celle-ci commence de tourner.
Utiliser toujours un gaz inerte dépourvu de poussière,
particules ou humidité pendant la réalisation de ces opérations.
La LED verte LD1 placée sur le panneau de la base du
DRYVAR 150 indique, par sa fréquence de clignotement, les
conditions opérationnelles du système :
-
allumée fixe : la pompe est en rotation normale ;
-
clignote lentement (période d'environ 400 ms) : le système
est en état de rampe, de freinage, de stop ou d'attente
interlock.
-
clignote rapidement (période d'environ 200 ms) : condition
d'erreur.
Arrêt du DRYVAR 150
Pour arrêter le DRYVAR 150, il suffit de retirer la tension
d'alimentation. Le contrôleur incorporé arrête immédiatement la
pompe.
Arrêt d'urgence
Pour arrêter le DRYVAR 150 en conditions d'urgence, il faut
débrancher le câble d'alimentation de la prise de courant.
ENTRETIEN
Le DRYVAR 150 n'exige aucun entretien particulier. Toute
intervention doit être effectuée par un personnel agréé.
Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler
l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet,
attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à ce que la
température superficielle de la pompe soit inférieure à 50°C.
En cas de panne, il est possible de bénéficier du service
réparations Varian ou du "Varian advanced exchange service"
qui permet d'obtenir un système régénéré en remplacement du
système endommagé.
Avant de renvoyer une pompe au constructeur pour réparation
ou "advanced exchange service", remplir et faire parvenir au
bureau Varian de votre région la fiche "Sécurité et Santé" jointe
au présent manuel d'instructions. Une copie de cette fiche
devra être mise dans l'emballage de la pompe avant
l'expédition.
En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son
élimination conformément aux réglementations nationales
concernant la gestion des déchets.
6
MODE D'EMPLOI
contrôleur
incorporé
reconnaît
NOTE
! ! ! !
DANGER!
NOTE
87-900-920-01(B)
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