Brugsanvisning - Varian 969-9085 Série Mode D'emploi

Table des Matières

Publicité

GENEREL INFORMATION
Dette materiel er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren
bedes lÊse denne hÂndbog samt enhver yderligere vejledning,
Varian har leveret, inden udstyret tages i brug. Varian er ikke
ansvarlig, hvis vejledningen ikke er n¯je fulgt, eller hvis den kun er
delvist fulgt, og heller ikke hvis udstyret anvendes forkert af
ukvalificeret personale, hvis der foretages uautoriserede indgreb
p det, eller hvis udstyret benyttes p en mÂde, der stÂr i kontrast
til det pÂgÊldende lands sÊrlige normer.
Turbo-V2000HT serien omfatter turbomolekulÊre pumper til
h¯jvakuum og til ultra-h¯jvakuum. Pumperne er i stand til at
pumpe alle typer luftarter og luftforeninger. Denne serie er ikke
egnet til at pumpe vÊsker eller faste partikler.
Pumpeeffekten opnÂs ved hjÊlp af en turbine, der roterer ved h¯j
hastighed (max. 33000 omdr./min.) drevet af en h¯jeffektiv
trefaset
elektrisk
motor.
fuldstÊndig fri for forurenende stoffer og finder derfor god
anvendelse, nÂr der krÊves et "rent" vakuum.
I det f¯lgende gives alle n¯dvendige oplysninger for operat¯rens
sikkerhed under brug af udstyret. For detaljerede oplysninger
henvises til den vedlagte "Technical Information ".
I denne hÂndbog findes f¯lgende regler:
!
ADVARSEL!
Advarslerne henkalder operat¯rens opmÊrksomhed p et indgreb
eller en sÊrlig handling, der kan forÂrsage alvorlig fare for
kvÊstelser, hvis den ikke udf¯res korrekt.
!
VIGTIGT !
Disse ord forekommer inden en arbejdsmetode, der skal
overholdes for ikke at skabe risiko for skade p udstyret.
BEM8RK
BemÊrkningerne indeholder vigtige yderligere oplysninger.
OPBEVARING
Det er n¯dvendigt at overholde f¯lgende forskrifter for at sikre op-
timal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylÊre pumper fra
Varian:
S¯rg for, at omgivelserne opfylder f¯lgende betingelser i
forbindelse med
transport,
pumperne:
temperatur: fra ñ20 RC til +70 RC,
relativ fugtighed: fra 0 til 95% (ikke kondenserende).
Kunden skal altid starte de turbomolekylÊre pumper ved
hjÊlp af Soft-Start funktionen ved modtagelse og start af
pumperne for f¯rste gang.
De turbomolekylÊre pumper m opbevares i 10 mÂneder fra
forsendelsesdatoen.
!
VIGTIGT!
Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er lÊngere, er
det n¯dvendigt at sende pumpen tilbage til fabrikken. Yderligere
oplysninger fÂs ved henvendelse til den lokale Varian reprÊsen-
tant.
FORBEREDELSE TIL MONTERING
Pumpen leveres med en sÊrlig beskyttelsesemballage. Kontakt
vores lokale salgskontor, hvis der findes tegn p beskadigelse, der
kan vÊre sket under transporten.
Pas p at pumpen ikke falder p gulvet og at der ikke st¯des til
den under udpakningen.
Smid ikke emballagen vÊk ude i naturen. Al emballage er
genbrugsmateriale
i
overensstemmelse
85/399/EÿF vedr¯rende milj¯beskyttelse.
Turbo-V2000HT
pumperne
flytning og opbevaring af
med
direktivet
For at undg afgasningsproblemer skal man ikke r¯re med de
bare hÊnder de dele, der vil bliver udsat for vakuum. Brug altid
handsker eller anden passende beskyttelse.
er
Pumpen kan ikke beskadiges ved blot at vÊre udsat for den
atmosfÊriske luft. For at undg forurening fra st¯v anbefales det
dog, at pumpen holdes tilpakket, indtil den monteres i anlÊgget.
MONTERING
Grundet dens vÊgt m pumpen kun hÂndteres ved hjÊlp af dertil
bestemt l¯fte- og flytningsudstyr. I forbindelse med l¯ft anvendes
¯jeboltene, der fastspÊndes i de gevindskÂrne huller M8 pÂ
pumpens beklÊdning.
KontrollÈr, at pumpen er egnet til den konkrete brug. Pumpen er
projekteret til brug i pumpesystemer til PVD eller generelt til
anvendelse, der krÊver et "rent" vakuum. Kontakt Varian Vacuum
Technologies eller forhandleren, hvis pumpen skal benyttes til
andre former for brug.
Tapen og beskyttelsesproppen m f¯rst fjernes, nÂr turbopumpen
sluttes til systemet.
13

BRUGSANVISNING

!
VIGTIGT !
BEM8RK
!
ADVARSEL!
!
VIGTIGT !
87-900-914-01(F)

Publicité

Table des Matières
loading

Ce manuel est également adapté pour:

969-9084 sérieTurbo-v 2000ht

Table des Matières