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BEFESTIGUNG DER PUMPE
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GEFAHR!
Wenn ein L‰uferschaden auftritt, kˆnnte die Verbindung zwi-
schen der Pumpe und dem System mit einem erheblichen
Drehmoment belastet werden. Setzt die Verbindung diesem
Drehmoment keinen ausreichenden Widerstand entgegen,
besteht die Mˆglichkeit, dass sich die Pumpe vom System oder
der Motor vom Pumpengeh‰use lˆst. In diesem Fall kˆnnten
Metallsplitter von der Pumpe oder vom System geschleudert
werden, die schwere Sch‰den oder den Tod und/oder Sch‰den
an benachbarten Ger‰ten zur Folge haben kˆnnten.
TV 1001 SEM in einer stabilen Position befestigen. Den Ein-
trittsflansch der Turbopumpe am Gegenflansch des Systems
montieren. Diese Verbindung soll einem Drehmoment von
8.900 Nm um die eigene Achse standhalten.
Der ISO-K-Flansch kann zum Beispiel mit hochfesten Stahlklem-
men befestigt werden (Typ Modell Varian IC 63250 DCMZ).
Die nachstehende Tabelle gibt an, wie viele Klemmen IC 63250
DCMZ f¸r jeden Flansch erforderlich sind und mit welchem
Anzugsmoment sie festzuziehen sind.
FLANSCH
ANZ.
ISO 200 K
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Turbopumpen mit ISO 200 F Eingangsflansch sind mit dem
speziellen Varian Befestigungsmaterial an die Vakuum kam-
mer anzuschlieflen. F¸r ausf¸hrliche Informationen siehe im
Anhang "Technical Information".
Modell TV 1001 SEM kann in jeder beliebigen Position instal-
liert werden.
HINWEIS
Modell TV 1001 SEM kann nicht mittels seines Sockels befes-
tigt werden.
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ACHTUNG!
Der TV 1001 SEM gehˆrt zur zweiten Installationsklasse (‹-
berdruck) die von den Normen EN 61010-1 vorgesehen ist. Die
Vorrichtung mufl daher an eine Speisungsleitung angeschlos-
sen werden, die dieser Kategorie entspricht.
Der TV 1001 SEM hat Verbinder f¸r den Ein-und Ausgang und die
Schnittstellenkommunikation, die an die Auflenkreise angeschlossen
werden m¸ssen, sodafl kein Teil unter Spannung zug‰nglich ist .
Sicherstellen, dafl die Isolierung der an den TV 1001 SEM ange-
schlossenen Vorrichtung auch bei einer Einzelstˆrung ausreichend
isoliert, wie es von der Richtlinie EN 61010-1 vorgesehen wird.
F¸r die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical
Information".
GEBRAUCH
In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorg‰nge
erl‰utert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen
und pneumatischen Anschl¸sse auszuf¸hren. W‰hrend der
eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Tempera-
tur am Eingangsflansch 120YC nicht ¸berschreiten.
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GEFAHR!
Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der
Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen
oder nicht mit dem Verschluflflansch verschlossen ist.
W‰hrend des Aufheizens d¸rfen weder die Pumpe noch even-
tuelle heifle Zubehˆrteile ber¸hrt werden. Es besteht Verbren-
nungsgefahr.
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ACHTUNG!
W‰hrend des Betriebs sind Stofl- und Vibrationseinwirkungen
sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da
die Lager besch‰digt werden kˆnnten.
ANZUGSMOMENT
35 Nm
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GEBRAUCHSANLEITUNG
F¸r die Bel¸ftung der Pumpe trockene staub und partikelfreie
Luft oder Inertgase verwenden. Der Eingangsdruck am Bel¸f-
tungsanschlufl soll unter 2 bar (¸ber dem atmosph‰rischen
Druck) betragen. Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die
Pumpen mit einer ÷ffnungsklappe ausgestattet, ¸ber die zum
Schutz der Lager Inertgas (Stickstoff oder Argon) zuzuleiten ist
(siehe Anhang "Technical Information").
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GEFAHR!
Wenn die Pumpe zur Fˆrderung von giftigen, leicht entflamm-
baren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die f¸r das
jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorg‰nge und Maflnahmen zu
befolgen. Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von exp-
losionsf‰higen Gasen verwendet werden.
Einschaltung und Gebrauch von Modell TV
1001 SEM
Zur Einschaltung von Modell TV 1001 ist es mit der erforderli-
chen Versorgungsspannung zu versorgen. Der eingebaute
Controller erfaflt automatisch das Vorhandensein von Interlock-
und Anlaufsignalen und startet die Pumpe.
Die Erstinbetriebnahme der Pumpe erfolgt im Modus "Soft
Start", der sich nach dem Anlaufzyklus selbstt‰tig abschaltet.
Daher erfolgen alle nachfolgenden Pumpenanl‰ufe ohne den
Modus "Soft Start". Um die Pumpe erneut im Modus "Soft Start"
zu starten, ist dieser Modus mittels der Software wieder frei-
zugeben
(siehe
Abschnitt
DESCRIPTION" im Anhang "Technical Information").
Die gr¸ne LED LD1 an der Bodenplatte von Modell TV 1001
gibt mit der H‰ufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen
des System an:
-
Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Be-
trieb.
-
Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System befindet
sich entweder im Status Rampe, Abbremsung, Stopp oder
ìWaiting for Interlockî.
-
Schnelle Blinkanzeige (ca. 200 ms): Fehlerstatus.
Stoppen von Modell TV 1001 SEM
Zum Stoppen von Modell TV 1001 SEM ist die Versorgungs-
spannung abzuschalten. Der eingebaute Controller sorgt f¸r
den sofortigen Pumpenstopp.
Not-Aus
Zur Stillsetzung von Mod. TV 1001 SEM in Notsituationen ist
vom Controller das Netzkabel abzuziehen.
WARTUNG
Modell TV 1001 SEM erfordert keine Wartung. Eventuelle Ein-
griffe d¸rfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgef¸hrt
werden.
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GEFAHR!
Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die
Pumpe ¸ber ÷ffnung des entsprechenden Ventils bel¸ften und
abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Tempera-
tur am Pumpengeh‰use unter 50YC abgesunken ist.
Bei Defekten kann der Varian Service oder der "Varian advan-
ced exchange service" in Anspruch genommen werden, der ein
general¸berholtes System als Ersatz f¸r das defekte System
zur Verf¸gung stellt.
HINWEIS
Bevor Fa. Varian ein System zur Reparatur oder den Um-
tauschdienst eingesandt wird, ist das Formular "Sicherheit und
Gesundheit", das diesem Handbuch beiliegt, ausgef¸llt an die
ˆrtliche Verkaufsstelle zu senden. Eine Kopie ist der Verpa-
ckung des Systems vor dem Versand beizulegen.
Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der ein-
schl‰gigen nationalen Vorschriften zu erfolgen.
"RS
232
COMMUNICATION
87-900-973-01
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