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Fonctionnement en mode CI
Lorsqu'un système de CI est installé avec un système JetClean, le MFC est
partagé par les deux systèmes. Son utilisation est volontairement restreinte à
l'un des deux systèmes à la fois. Dans ce cas, l'alimentation de gaz B est dédiée
à l'hydrogène utilisé pour le nettoyage de la source. Pour des informations
détaillées concernant le système JetClean, se reporter au Manuel d'utilisation
JetClean installé sur votre PC avec le présent manuel.
Tableau 11 État du MFC du système CI
Résultat
Flux gaz A
Gaz A
Ouvert(e)
Gaz B
Fermé(e)
Débitmètre
Ouvert
massique
consigne
Vanne d'arrêt
Ouverte
Les états Open (Ouvert) et Closed (Fermé) sont indiqués sur les moniteurs par
Opened and Closed (Ouvert et Fermé) respectivement.
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Balayage
Flux gaz B
avec gaz A
Fermé(e)
Ouvert(e)
Ouvert(e)
Fermé(e)
Ouvert
Ouvert
consigne
100 %
Ouverte
Ouverte
Manuel d'utilisation du système GC/MS TQ série 7000/7010
Évacuation
Balayage
du module
avec gaz B
de régulation
Fermé(e)
Fermé(e)
Ouvert(e)
Fermé(e)
Ouvert
Ouvert
100 %
100 %
Ouverte
Ouverte
Mode Attente,
à la pression
atmosphérique
ou mode EI
Fermé(e)
Fermé(e)
Fermé
0 %
Fermée