Varian 969-9007 Série Mode D'emploi page 21

NEI
! ! ! !
ADVARSEL!
For å unngå skader må du aldri stikke fingrer eller andre
gjenstander inn i inngangen til turbopumpen. Vi anbefaler
på det sterkeste å bruke en beskyttelsesskjerm (valgfritt
ekstrautstyr). Brukes en vibrasjonsdemper eller fleksible
metallbelger på inngangen, må du kontrollere at pumpen
er godt festet til underlaget.
Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede
skjermer. Se "Teknisk informasjon" for detaljer.
Turbo-V 250 serien turbo-molekulære pumper må kun brukes
med en av de spesielle Varian kontrollere (969-9423, 969-
9504, 969-9523, 969-9425 eller 969-9866), og må koples til
hovedpumpen (se skjema i "Teknisk informasjon").
Turbopumpen kan monteres i en valgfri stilling. Fest
turbopumpen i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot
en koplingsflens med et dreiemoment på 1000 Nm rundt
aksen, eller ved å bruke bunnfestesettet.
Turbopumpene med ISO
vakuumkammeret med dobble eller enkle klemmer. Følgende
tabell angir det nødvendige antall klemmer og det relevante
strammemomentet for de enkelte flensdimensjonene.
FLENS TYPE KLEMME
ISO 100 Dobbel klemme
gjenge M10
Enkel klemme
gjenge M8
Turbopumpen med innløpsflens ConFlat skal festes på
vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle låsedelene fra
Varian. For detaljer henvises det til "Teknisk informasjon".
For å feste pumpen til fundamentet er det nødvendig å bruke
tre M4-skruer, som skrues fast i hullene på pumpens
fundament. Skruene skal klare en belastning på 500 N/mm
skruenes riktige strammemoment er 0,9 Nm.
For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Teknisk
informasjon".
BRUK
Alle instruksjoner for korrekt bruk av turbopumpen finnes i
kontrollenhetens manual.
Les nøye gjennom denne manualen før pumpen tas i bruk.
For å øke trykkgrensene kan pumpehuset varmes opp med en
varmer som kan fås som ekstrautstyr. Mens oppvarmingen av
kammeret pågår må temperaturen ved inngangsflensen ikke
overskride 120°C.
Bruk alltid vannavkjøling under oppvarmingen
innløpsflens skal festes
ANTALL STRAMME-
MOMENT
4 22 Nm
8 11 Nm
Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under
oppvarmingen. De
brannskader.
Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved lufting av
pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2
bar.
Unngå støt eller brå bevegelser av pumpen når den er i bruk.
Dette kan føre til at lagrene skades.
Ved pumping av
spesialversjoner av Turbo - V 250 pumpen. Disse pumpene har
en spesiell port som kan brukes til flyt av inaktive gass med
trykk mellom 0.4 og 1 mbar l/s.
VEDLIKEHOLD
Turbo-V 250 serien pumper er vedlikeholdsfrie. Alt arbeid på
pumpen må kun utføres av autorisert personell.
Før noe arbeid gjøres på turbopumpen må den frakoples
til tilførselen, den må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og
deretter vente til rotoren har stanset.
Dersom pumpen stanser, må du ta kontakt med Varians
reparasjonservice eller med Varians avanserte bytteservice
som kan tilby overhalte pumper til erstatning for den ødelagte
pumpen.
Før pumpen returneres til produsenten for reparasjon, eller
som innbytte for en overhalt pumpe, må det vedlagte skjemaet
"Helse og sikkerhet" fylles inn og sendes til det lokale
salgskontoret. En kopi av dette arket må vedlegges pumpen
som sendes tilbake.
Dersom en pumpe skal kasseres, må dette skje i henhold til
nasjonale bestemmelser.
2
18
BRUKERVEILEDNING
! ! ! !
ADVARSEL!
høye temperaturene kan
! ! ! !
FORSIKTIG
! ! ! !
FORSIKTIG
! ! ! !
FORSIKTIG
aggressive gasser må
! ! ! !
ADVARSEL!
MERK
87-900-851-01(A)
føre til
det brukes