Table des Matières
Publicité
MONTÁŽ VÝVĚVY
VÝSTRAHA
Pokud dojde k poruše rotoru, propojení vývěvy se systémem
by mohlo být vystaveno velkému točivému momentu. Pokud
toto propojení nebude schopno vydržet tento točivý moment,
vývěva
by
se
mohla
odpojit
elektromotoru by se mohl odpojit od pláště vývěvy. V tomto
případě by z vývěvy nebo systému mohly vyletět kovové
úlomky, které by mohly způsobit vážný úraz nebo smrt a také
poškodit okolní zařízení.
Vývěvu TV 1001 Navigator
přívodní přírubu turbomolekulární vývěvy připevněte
protipřírubě systému pomocí přípojky, která odolá točivému
momentu 8900 Nm kolem své osy. Např. přírubu ISO-K lze
připevnit příchytkami z vysoce pevné oceli (jako je typ
IC63250DCMZ firmy Varian).
Následující
tabulka
uvádí
IC63250DCMZ pro každou přírubu a příslušný utahovací
moment.
PŘÍRUBA
POČET
ISO 160
10
ISO 200
8
ISO 250
6
Následující tabulka uvádí nezbytný počet šroubů pro každou
přírubu ISO-F a příslušný utahovací moment.
PŘÍRUBA
POČET
ISO 200 F
12
ISO 250 F
12
Třída ocelových šroubů pro přírubu "F" musí být > 8.8
Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ConFlat se musí
připevnit
k vakuové komoře použitím příslušného materiálu
firmy Varian. Viz podrobný popis v příloze "Technické
informace".
Vývěvu TV 1001 Navigator lze instalovat v libovolné poloze.
POZNÁMKA
Vývěvu TV 1001 Navigator nelze připevnit pomocí její
podstavy.
VAROVÁNÍ
Podle směrnice EN 61010-1 patří vývěva TV 1001 Navigator
do druhé elektroinstalační (nebo přepěťové) třídy. Zařízení
připojte do napájecí sítě, která splňuje uvedenou třídu.
Vývěva TV 1001 Navigator je vybavena vstupními a výstupními
konektory a konektory pro sériovou komunikaci, které se musí
připojit k externím obvodům tak, aby žádná elektrická součást
nebyla přístupná.
Zajistěte, aby izolace zařízení připojeného k vývěvě TV 1001
Navigator byla přiměřená i v případě
směrnice EN 61010-1.
POUŽITÍ
Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních
postupů. Před použitím systému proveďte všechna elektrická a
pneumatická připojení.
Při zahřívání vakuové komory teplota přívodní příruby nesmí
překročit 120 °C.
VÝSTRAHA!
Turbomolekulární
vývěvu
přívodní příruba připojená k vakuové komoře.
Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího příslušenství
nedotýkejte. Vysoká teplota může způsobit popáleniny.
od
systému
nebo
kryt
umístěte do stabilní polohy a
nezbytný
počet
příchytek
UTAHOVACÍ MOMENT
35 Nm
35 Nm
35 Nm
UTAHOVACÍ MOMENT
5 Nm
5 Nm
jediné poruchy podle
nikdy
nepoužívejte,
nebude-li
Během chodu chraňte vývěvu před nárazy, vibracemi a
prudkými pohyby. Mohly by se poškodit ložiska.
Pro odplynění vývěvy používejte vzduch nebo inertní plyn,
který je zbaven prachu a smítek. Tlak při odvětrávacím otvoru
musí být menší než 2 bary (nad atmosférickým tlakem). Pro
čerpání
agresivních
speciálním otvorem, který umožňuje plynulý přítok inertního
plynu (např. N
, Ar) pro ochranu ložisek vývěvy (viz přílohu
2
"Technické informace").
k
Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo
radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro
likvidaci každého plynu.
Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů.
Zapnutí a používání vývěvy TV 1001 Navigator
Pro uvedení vývěvy TV 1001 Navigator do provozu je nutné
přivést síťové napětí. Integrovaný regulátor automaticky
zjišťuje blokování, přítomnost spouštěcích signálů a uvede
vývěvu do provozu.
První spuštění vývěvy je v režimu "pozvolného rozběhu".
Jakmile bude rozběhový cyklus dokončen, režim "pozvolného
rozběhu" se automaticky vypne a další starty již budou probíhat
bez "pozvolného rozběhu". Chcete-li opět zapnout režim
"pozvolného
rozběhu",
programovým příkazem (viz odstavec "POPIS KOMUNIKACE
RS 232/485" v příloze "Technické informace").
Zelená kontrolka umístěná na čelním panelu základny vývěvy
TV 1001 Navigator indikuje provozní stavy systému blikáním:
•
bez blikání: vývěva se otáčí normálně;
•
pomalé blikání (interval cca 400 ms): systém se pozvolna
rozbíhá nebo brzdí, nebo stojí, nebo je ve stavu "čekání na
blokování";
•
rychlé blikání (interval cca 200 ms): poruchový stav.
Vypnutí vývěvy TV 1001 Navigator
Pro vypnutí vývěvy TV 1001 Navigator je nutné přerušit síťové
napětí. Vestavěný regulátor vývěvu okamžitě zastaví.
Pro zajištění bezpečnosti obsluhy musí být controller čerpadla
Turbo-V napájený trojžilovým přívodním kabelem (viz tabulka
dílů, které lze doobjednat) se zástrčkou (mezinárodně
schválenou). Používejte tento kabel se zástrčkou a patřičně
uzemněnou zásuvku, abyste předešli úrazu elektrickým
proudem a aby byly zaručené požadavky norem ES.
Vysoké napětí, které vzniká v controlleru může způsobit vážné
zranění, i smrtelné. Před prováděním zásahů údržby uvnitř
jednotky přívodní kabel odpojte.
Nouzové zastavení
Pro okamžité zastavení vývěvy TV 1001 Navigator v nouzové
situaci je třeba odpojit napájecí kabel ze síťové zásuvky.
55
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ
VAROVÁNÍ
plynů
jsou
tyto
vývěvy
vybaveny
VÝSTRAHA!
musíte
jej
aktivovat
patřičným
VÝSTRAHA!
87-900-945-01(G)
Publicité
Table des Matières
