Brukerveiledning - Varian Turbo-V300 ICE Mode D'emploi

GENERELL INFORMASJON
Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere.
Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen
informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke
holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av
manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis,
feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av
utstyret eller handlinger som på noen måte er i strid med
nasjonale bestemmelser.
Turbo-V300 ICE serien med pumper er turbo-molekulære
pumper for bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg innenfor
halvlederindustrien, og kan pumpe nesten alle typer gass eller
gassforening. De er ikke beregnet for å pumpe væsker eller
faste partikler.
Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin (maks. 56000
opm) koplet til en trefaset elektrisk motor. Turbo-V300 ICE
pumper har ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for
anlegg med behov for "rene" vakuum.
De følgende avsnitt inneholder all informasjon som er
nødvendig for å sikre brukeren når utstyret er i bruk. For mer
detaljert bruk vises det til tillegget "Teknisk informasjon".
Denne manualen bruker følgende standardprotokoll:
ADVARSEL!
Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet
til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke
følges, kan medføre alvorlige skader.
FORSIKTIG!
Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de
ikke følges, kan føre til at utstyret skades.
MERK
Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra
teksten.
LAGRING
Når pumpene transporteres
miljømessige krav oppfylles:
- temperatur: fra -20°C til +70°C
- relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens)
Skal utstyret lagres lengre, må pumpen MYKSTARTES (se
kontrollenhetens manual).
KLARGJØRE TIL INSTALLASJON
Pumpen leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser
denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten,
må du ta kontakt med det lokale salgskontoret.
Når pumpen pakkes ut, må du se til at den ikke slippes ned
eller utsettes for noen form for støt.
Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte. Alle materialer
er 100% resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399
om miljøbeskyttelse.
FORSIKTIG!
For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal
utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. Bruk alltid
hansker eller andre og passende verneutstyr.
eller lagres, må følgende
Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge pumpen.
Likevel anbefaler vi å holde den lukket til den er montert i
systemet, slik at den ikke forurenses eller utsettes for
nedstøving.
INSTALLASJON
Ikke installer eller bruk pumpen i miljøer som utsettes for regn,
snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer
eller miljøer med stor brannfare.
Under bruk må følgende forhold respekteres:
- maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk)
- temperatur: fra +5°C til +35°C
- relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens).
Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede
skjermer. Se "Teknisk informasjon" for detaljer.
Turbo V300 ICE serien turbo-molekulære pumper må kun
brukes med en av de spesielle Varian kontrollere (serie 969-
9433, 969-9533), og må koples til hovedpumpen (se skjema i
"Teknisk informasjon").
Fjern tapen og ta ut beskyttelsesproppen først når turbopumpen
skal sluttes til systemet.
17

BRUKERVEILEDNING

MERK
FORSIKTIG!
87-900-897-01(C)