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Die Pumpe darf nicht in Umgebungen benutzt werden, die unge-
sch¸tzt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressi-
ven Gasen sind und in denen Explosions- und erhˆhte Brandge-
fahr besteht.
Beim Betrieb m¸ssen folgende Umgebungsbedingungen ein-
gehalten werden:
-
Maximaldruck: 2 Bar ¸ber dem atmosph‰rischen Druck
-
Temperatur: von +5QC bis +35QC
-
Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95% (nicht kondensierend)
NEIN !
!
GEFAHR!
Um Verletzungen auszuschlieflen, darf auf keinen Fall und
aus keinem Grunde in die Eingangsˆffnung der Turbopumpe
gefaflt werden; aus dem gleichen Grunde d¸rfen keine Ge-
genst‰nde in diese ÷ffnung gegeben werden. Es wird der
Einsatz eines Schutzgitters (Sonderzubehˆr) empfohlen. Bei
Installation eines Ersch¸tterungsd‰mpfers oder eines Metall-
balges auf der Eingangsˆffnung mufl die Turbopumpe am
Unterteil befestigt werden
Sind Magnetfelder vorhanden, m¸ssen die Pumpen ¸ber Einsatz
eines entsprechend geeigneten Schutzschirms gesch¸tzt werden.
Weitere Informationen: siehe Schema in "Technical Information".
Die Turbomolekularpumpen der Serie Turbo-V6000 d¸rfen nur mit den
Varian-Spezial-Controllern (Serie 969-9491, 969-9591) benutzt werden
und m¸ssen an eine Prim‰rpumpe angeschlossen werden (siehe
Schema in "Technical Information").
Die Turbopumpen m¸ssen in vertikaler Position und mit einer
maximalen Neigung von 10Q zur vertikalen Achse installiert wer-
den.
Dabei kann die Pumpe auf ihren Standf¸flen ruhend installiert
oder ¸ber den Flansch am Pumpeneingang in schwebender Posi-
tion angeschlossen werden.
Installieren Sie die Turbopumpe in einer stabilen Position, indem
Sie den Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen
Gegenflansch anschlieflen, der ein Drehmoment von 20000 Nm
um die eigene Achse aush‰lt.
Turbopumpen mit einem ISO-Eingangsflansch m¸ssen mittels
doppelten oder einfachen Klemmschellen an die Vakuumkammer
angeschlossen werden. In der nachstehenden Tabelle sind die
Anzahl der Klemmschellen und der Anzugsmoment f¸r die jewei-
ligen Flanschgrˆflen und Klemmenarten angegeben.
FLANSCH
KLEMMSCHELLE
ISO 500
Doppelklemme mit M
16 Gewinde
Einzelschelle mit M-16
Gewinde
Wenn die Pumpen auf ihren Standf¸flen ruhend installiert werden
sollen, m¸ssen in diese ¸ber die daf¸r vorgesehenen M12-
Gewindebohrungen angeschlossen werden.
ANZ.
ANZUGS-
MOMENT
12
80 Nm
12
80 Nm
4
GEBRAUCHSANLEITUNG
Diese Bohrungen sind auf einem Kreis mit einem Durchmesser
von 550 mm (21,6 Zoll) angebracht.
Die Pumpen werden mit in einem separaten Beh‰lter befindlichen
Schmierˆl ausgeliefert, das vor Inbetriebsetzung der Pumpe in die
÷lwanne gegeben werden mufl. Weitere Angaben zur Installation
finden Sie im Anhang ìTechnical Informationî
Installation Sonderzubehˆr: siehe "Technical Information".
ANWENDUNG
S‰mtliche Hinweise f¸r den korrekten Betrieb der Turbopumpe
sind im Handbuch der entsprechenden Steuereinheit enthalten.
Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen
werden.
!
ACHTUNG !
F¸r die Bel¸ftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie
Luft oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am Bel¸f-
tungsanschlufl mufl kleiner als 2 bar ¸ber dem atmosph‰rischen
Druck sein.
!
ACHTUNG !
Um eine Besch‰digung der Pumpe auszuschlieflen, darf der
Schmierˆlstand w‰hrend des Pumpenbetriebs nicht unter den
vorgesehenen Mindeststand MIN absinken.
!
ACHTUNG !
W‰hrend des Betriebs darf die Pumpe weder Stˆflen noch ruck-
artigen Bewegungen ausgesetzt werden, da die Lager besch‰digt
werden kˆnnen.
!
GEFAHR!
Zum Pumpen von giftigen, leicht entflammbaren oder radioaktiven
Gasen m¸ssen die f¸r das jeweilige Medium vorgeschriebenen
Vorg‰nge und Maflnahmen befolgt werden.
Benutzen Sie die Pumpe niemals in Pr‰senz von explosiven Ga-
sen.
WARTUNG
Die Pumpen der Serie Turbo-V6000 sind wartungsfrei. Eventuelle
Eingriffe d¸rfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgef¸hrt
werden.
Das Schmierˆl mufl alle 6 Monate oder aber bei sichtbarer Tr¸-
bung ausgewechselt werden. ÷lwechsel: siehe "Technical Infor-
mation".
!
GEFAHR!
Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen,
die Pumpe ¸ber ÷ffnung des entsprechenden Ventils bel¸ften,
warten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am
Pumpengeh‰use unter 50QC abgesunken ist.
Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der " Varian Ad-
vanced Exchange Service" in Anspruch genommen werden, der
Ihnen als Austausch f¸r die besch‰digte Pumpe eine general-
¸berholte Pumpe der gleichen Bauart zur Verf¸gung stellen wird.
ANMERKUNG
Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian mufl
das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem Hand-
buch beiliegt, ausgef¸llt an die Fa. Varian geschickt werden. Eine
Kopie dieses Formulars mufl den Frachtpapieren beigelegt wer-
den.
Eine eventuelle Verschrottung mufl unter Einhaltung der ein-
schl‰gigen landes¸blichen Vorschriften erfolgen.
87-900-838-01(B)
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