1. Manuels
  2. Marques
  3. Varian Manuels
  4. Contrôleurs
  5. Turbo-V 1000 ICE
  6. Notice de mode d'emploi

Varian Turbo-V 1000 ICE Notice De Mode D'emploi

Masquer les pouces Voir aussi pour Turbo-V 1000 ICE:
Table des Matières

Publicité

Liens rapides

Télécharger ce manuel
Turbo-V 1000 ICE
controller
Model 969-9447
Model 969-9547
87-900-905-01 (I)
SEPTEMBER 2004
vacuum technologies
MANUALE DI ISTRUZIONI
BEDIENUNGSHANDBUCH
NOTICE DE MODE D'EMPLOI
MANUAL DE ISTRUCCIONES
MANUAL DE ISTRUÇÕES
BEDRIJFSHANDLEIDING
ISTRUKSTIONSBOG
BRUKSANVISNING
INSTRUKSJON MANUAL
OHJEKÄSIKIRJA
Ο∆ΗΓΙΕΣ ΧΡΗΣΕΩΣ
FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
PODRECZNIK INSTRUKCJI
NÁVOD K POUŽITÍ
NÁVOD NA OBSLUHU
PRIROČNIK ZA NAVODILA
INSTRUCTION MANUAL

Publicité

Table des Matières
loading

Manuels Connexes pour Varian Turbo-V 1000 ICE

Sommaire des Matières pour Varian Turbo-V 1000 ICE

  • Page 1 MANUALE DI ISTRUZIONI Turbo-V 1000 ICE BEDIENUNGSHANDBUCH controller NOTICE DE MODE D’EMPLOI MANUAL DE ISTRUCCIONES MANUAL DE ISTRUÇÕES Model 969-9447 BEDRIJFSHANDLEIDING Model 969-9547 ISTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL OHJEKÄSIKIRJA Ο∆ΗΓΙΕΣ ΧΡΗΣΕΩΣ FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV PODRECZNIK INSTRUKCJI NÁVOD K POUŽITÍ NÁVOD NA OBSLUHU PRIROČNIK ZA NAVODILA...
  • Page 2 Turbo-V 1000 ICE Controller...

  • Page 3: Table Des Matières

    PŘÍRUČKA K POUŽITÍ ..................………. 53 NÁVOD K POUŽITIU ..................……….. 57 NAVODILA ZA UPORABO ................... INSTRUCTIONS FOR USE ................... TECHNICAL INFORMATION ..................TURBO-V 1000 ICE CONTROLLER DESCRIPTION ..............CONTROLLER SPECIFICATIONS ....................CONTROLLER OUTLINE ....................... FUSE HOLDER AND VOLTAGE CHANGER ASSEMBLY.............. INTERCONNECTIONS ........................
  • Page 4 OPTIONAL SERIAL PORT ......................Serial Port Installation ......................75 Serial Communication Port J13 and J14 ................76 RS 232-422 Communication Description ................76 Trasmission Channel Characteristics..................RS 485 Communication Description ..................76 Trasmission Channel Characteristics..................76 Message Structure........................76 Window-Based Protocol......................79 USE ..............................

  • Page 5: Informazioni Generali

    I controller pilotano lasciar cedere il controller e a non sottoporlo ad urti. le pompe della serie Turbo-V 1000 ICE (con un Non disperdere l’imballo nell’ambiente. II materiale è processo suddiviso in dieci passi) durante la fase di...

  • Page 6: Comandi, Indicatori E Connettori Del Controller

    ISTRUZIONI PER L’USO INSTALLAZIONE NOTA Il connettore di richiusura J1 deve essere lasciato collegato con il suo ponticello se non viene effettuato PERICOLO! alcun collegamento esterno. La pompa di pre-vuoto e pompa Turbo-V possono essere accese II controller è fornito di un cavo di alimentazione a tre contemporaneamente.

  • Page 7: Procedure Di Uso

    STOP del pannello frontale. normative nazionali specifiche. MANUTENZIONE MESSAGGI DI ERRORE I controller della serie Turbo-V 1000 ICE non In alcuni casi di guasto la circuiteria di autodiagnosi del richiedono alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento controller presenta alcuni messaggi di errore elencati deve essere eseguito da personale autorizzato.
  • Page 8 Se il messaggio si ripresenta rivolgersi alla spurio. Varian per la manutenzione. Allarme relativo al flusso di purge. Il Controllare il corretto funzionamento del FLOW METER ALARM valore del flusso è rimasto ad un valore circuito di alimentazione del gas.

  • Page 9: Vor Der Installation

    Eventuelle gefertigt und verfügen über ein Selbstdiagnose- und ein Transportschäden müssen der zuständigen örtlichen Selbstschutzsystem. Die Controller steuern die Pumpen Verkaufsstelle gemeldet werden. der Serie Turbo-V 1000 ICE (durch einen 10-Schritte- Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit Prozeß) in der Startphase, indem sie die Spannung und Controller nicht fällt oder Stößen ausgesetzt wird.
  • Page 10 GEBRAUCHSANLEITUNG INSTALLATION ANMERKUNG Der Wiederverschließ-Verbinder J1 muß mit seiner GEFAHR! Brücke angeschlossen bleiben, wenn kein externer Anschluß erfolgt. Die Vorvakuumpumpe und die Turbo- Der Controller wird mit einem Netzkabel geliefert, das 3 V-Pumpe können gleichzeitig eingeschaltet werden. Drähte enthält und mit einem den internationalen Normen entsprechenden Stecker ausgerüstet ist.

  • Page 11: Bedienung

    Vorschriften erfolgen. Fronttafel gedrückt werden. FEHLERMELDUNGEN WARTUNG einigen Störungsfällen zeigt Die Controller der Serie Turbo-V 1000 ICE sind Selbstdiagnosessystem des Controllers die in der wartungsfrei. Eventuell erforderliche Eingriffe müssen nachstehenden Tabelle zusammengefaßten Meldungen von dazu befugtem Fachpersonal ausgeführt werden. 87-900-905-01 (I)
  • Page 12 Die Taste START zweimal drücken, um die OVERVOLTAGE eine Störung aufgetreten oder der Pumpe wieder anzufahren. Kontroller hat ein unechtes Signal Falls die Meldung nochmals auftritt, die empfangen. Firma Varian zur Instandsetzung zu Rate ziehen. Alarm hinsichtlich Auswurffluß. Einwandfreien Betrieb des FLOW METER ALARM Flußwert befindet sich für die Dauer von...

  • Page 13: Indications Generales

    Le contrôleur est fourni dans un emballage de protec- nationales spécifiques. tion spécial; si l'on constate des marques de dommages Les contrôleurs de la série Turbo-V 1000 ICE sont des pouvant s'être produits pendant le transport, contacter convertisseurs de fréquence, contrôlés par un micropro- aussitôt le bureau de vente local.

  • Page 14: Commandes, Indicateurs Et Connecteurs Du Contrôleur

    MODE D'EMPLOI INSTALLATION NOTE DANGER! Laisser le connecteur de réenclenchement J1 connecté à sa barrette s'il n'est procédé à aucune connexion exté- Les contrôleur est doté d'un câble d'alimentation à trois rieure. La pompe à pré-vide et la pompe Turbo-V peu- fils avec une fiche du type approuvé...

  • Page 15: Procedures D'utilisation

    MESSAGES D'ERREUR ENTRETIEN Dans certains cas de panne, l'ensemble de circuits Les contrôleurs de la série Turbo-V 1000 ICE n'exigent d'autodiagnostic du contrôleur présente certains mes- aucun entretien. Toute opération doit être effectuée par sages d'erreur indiqués dans le tableau ci-dessous.
  • Page 16 Si le message est réaffiché vous adres- ser à la société Varian pour l’entretien. Alarme concernant le flux de purge. La Vérifier le bon fonctionnement du circuit FLOW METER ALARM valeur du flux est restée au dessous du...

  • Page 17: Información General

    El controler se suministra en un embalaje de protección nacionales específicas. especial; si se observan señales de daños, que podrían Los controlers de la serie Turbo-V 1000 ICE son haberse producido durante el transporte, ponerse en convertidores frecuencia, controlados contacto con la oficina de venta más cercana.

  • Page 18: Mandos, Indicadores Y Conectores Del Controler

    INSTRUCCIONES DE USO INSTALACIÓN NOTA ¡PELIGRO! El conector di cierre J1 ha de dejarse conectado con su conector puente si no se efectúa ninguna conexión El controler va dotado de un cable de alimentación de exterior. La bomba pre-vacío y la bomba Turbo-V tres hilos con una clavija de tipo aprobado a nivel pueden encenderse simultáneamente.

  • Page 19: Procedimientos De Uso

    MANTENIMIENTO algunos casos avería circuitos Los controlers de la serie Turbo-V 1000 ICE no autodiagnosis del controler presenta algunos mensajes necesitan ningún mantenimiento. Cualquier operación de error detallados en la tabla siguiente. ha de ser efectuada por personal autorizado. 87-900-905-01 (I)
  • Page 20 En caso el mensaje vuelva a aparecer, llamar a Varian para la manutención. Alarma concerniente flujo Controlar el correcto funcionamiento del FLOW METER ALARM limpieza (purge).

  • Page 21: Informações Gerais

    • pela Varian antes de utilizar a aparelhagem. A Varian temperatura: de -20 ºC a + 70 ºC • não se responsabiliza pela inobservância total ou humidade relativa: 0 - 95% (não condensante) parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de...

  • Page 22: Instalação

    INSTRUÇÕES PARA O USO INSTALAÇÃO NOTA PERIGO! O conector de fecho J1 deve permanecer ligado à sua ponte se não é efectuada nenhuma ligação externa. A O controller é fornecido com um cabo de alimentação bomba de pré-vácuo e a bomba Turbo-V podem ser de três fios com uma tomada de tipo aprovado a nível ligadas simultaneamente.

  • Page 23: Procedimentos De Uso

    STOP do painel frontal. específicas. MANUTENÇÃO MENSAGENS DE ERRO Os controllers da série Turbo-V 1000 ICE não Em alguns casos de defeitos, os circuitos de requerem qualquer manutenção. Todas as operações autodiagnóstico do controller apresentam mensagens devem ser efectuadas por pessoal autorizado.
  • Page 24 Se a mensagem se reapresenta, dirigir- se à Varian para a manutenção. Alarme relativo ao fluxo de descarga. O Verificar se o circuito de alimentação do FLOW METER ALARM valor do fluxo permaneceu num valor gás funciona correctamente.

  • Page 25: Algemene Informatie

    De controllers zijn van circuits voorzien die noodzakelijk zijn voor de automatische werking van de pompen van de serie Turbo-V 1000 ICE. Via hulpconnectoren zijn de sturingen voor het op afstand starten en stoppen van de pomp beschikbaar,...

  • Page 26: Installatie

    GEBRUIKSAANWIJZINGEN INSTALLATIE OPMERKING De connector J1 moet met zijn jumper aangesloten GEVAAR! blijven als geen externe aansluiting tot stand wordt gebracht. De pre-vacuümpomp en de Turbo-V pomp De controller is voorzien van een voedingskabel met mogen beide gelijktijdig ingeschakeld zijn. drie draden en een stekker van het internationaal goedgekeurde type.
  • Page 27 ONDERHOUD FOUTMELDINGEN De controllers van de serie Turbo-V 1000 ICE zijn In geval van bepaalde storingen wekt het zelfdiagnose- onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door circuit van de controller enkele foutmeldingen op die in bevoegd personeel worden uitgevoerd.
  • Page 28 Als de melding weer verschijnt, zich voor ontvangen. onderhoud tot Varian wenden. Alarm betreffende de reinigingsstroom. Controleer gastoevoercircuit FLOW METER ALARM De stromingswaarde is gedurende 10 of correct functioneert.

  • Page 29: Generel Information

    • yderligere information fra Varian, før udstyret anvendes. temperatur: fra -20 °C til +70 °C • Varian tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som relativ luftfugtighed: 0 - 95% følge af tilsidesættelse af disse instruktioner, fejlagtig (ikke kondenserende) brug af personer uden tilstrækkelig kendskab, ukorrekt...
  • Page 30 BRUGSANVISNING INSTALLATION BEMÆRK ADVARSEL ! Afbryderkontakten J1 skal forblive tilsluttet med aktuel bro, når der ikke udføres eksterne tilslutninger. Forvakuumpumpen og Turbo-V-pumpen skal fungere Styreenheden leveres med strømkabel med tre ledere samtidigt. og godkendt stik efter internationale standarder. Anvend udelukkende det medleverede strømkabel. Stikket må tilsluttes vægudtag fungerende...

  • Page 31: Vedligeholdelse

    Hvis pumpen går i stykker, kan man benytte sig af INSTRUKTION Varians reparations-service eller Varian udvekslingsservice, hvor man kan få en repareret Start af styreenheden pumpe i bytte for den, der er gået i stykker. Styreenheden startes ved at sætte strømkablet i vægudtaget og sæt hovedafbryderen i stilling 1.
  • Page 32 Tryk to gange på START for at starte styreenheden har modtaget et ikke pumpen igen. korrekt signal. Såfremt meddelelsen fremvises på ny, rettes henvendelse Varian foretagelse af vedligeholdelse. FLOW METER ALARM Alarm for udluftningsventil. Værdien for Kontrollér, at kredsløbet til gasforsyning gennemstrømningen under fungerer korrekt.

  • Page 33: Allmän Information

    Varian före användning temperatur: från -20 °C till +70 °C • utrustningen. Varian tar inget ansvar för skador som helt relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens) eller delvis orsakats åsidosättande instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATION...
  • Page 34 BRUKSANVISNING INSTALLATION OBSERVERA Stängningskontakten J1 måste lämnas ansluten med aktuell brygga om ingen extern anslutning utförs. Förvakuumpumpen och Turbo-V-pumpen kan fungera VARNING samtidigt. Styrenheten levereras med strömkabel med tre ledare godkänd stickpropp enligt internationella Kontroller, Indikatorer och Kontakter på standarder. Använd endast medlevererade...

  • Page 35: Instruktioner För Bruk

    Bakre panel på Styrenheten 969-9447 och 969-9547 styrenheten havererar, kontakta Varian reparationsverkstad eller Varian utbytesservice, som INSTRUKTIONER FÖR BRUK kan ersätta styrenheten med en renoverad styrenhet. Start av styrenheten Styrenheten startas enkelt genom att sätta strömkabeln i vägguttaget och sätt huvudströmbrytaren i läge 1.
  • Page 36 Ett fel har upptäckts i styrenhetens Tryck två gånger på knappen START för spänningsmatning eller styrenheten att starta om pumpen. har fått en falsk signal. Om meddelandet upprepas kontakta Varian för underhåll. Larm angående rengöringsflödet. Kontrollera korrekt funktion av gasens FLOW METER ALARM Värdet är...

  • Page 37: Generell Informasjon

    Når styreenhetene transporteres eller lagres, må brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen følgende forhold være oppfylt: • og all annen informasjon fra Varian før utstyret tas i temperatur: fra 20 °C til +70 °C • bruk. relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens) Varian kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på...

  • Page 38: Kontroller, Indikatorer Og Kontakter På Styreenheten

    BRUKERVEILEDNING INSTALLASJON MERK ADVARSEL Lukkekontakten J1 må være tilkoplet aktuell brygge dersom det ikke skjer en annen ekstern tilkopling. Styreenheten leveres med strømkabel med tre ledere og Forvakuumpumpen og Turbo-V-pumpen må fungere godkjent støpsel i henhold til internasjonale standarder. sammen. Bruk kun den vedlagte strømkabelen.

  • Page 39: Instruksjoner For Bruk

    BRUKERVEILEDNING Inngangskontakt logiske signaler (tilkoplingskontakten leveres med spesiell lukkebrygge). Utgangskontakt for logiske signaler og kontroll av pumpens strøm og magnetiseringsfrekvens. Effektuttak (120 Vac, forsyningen tileggsanordningene (vent device, primærpumpens aktiveringsrelè, osv.). Pumpens kabelkopling. Spenningsinngangsmodul for styreenheten. Modulen omfatter vernesikring, spenningsomkopler, uttak for spenningsmåling og EMC-filter.
  • Page 40 Trykk to ganger på knappen START for å forsyningsseksjon, eller styreenheten starte pumpen. har mottatt et falsk signal. Hvis meldingen dukker opp igjen, må du ta kontakt med Varian for vedlikehold. Alarm purgestrømningen. Kontroller at gassmatekretsen fungerer FLOW METER ALARM Strømningsverdien har i 10 sekunder...

  • Page 41: Yleisiä Tietoja

    EU:n 85/399 käynnistysvaiheessa valvoen jännitettä ja sähkövirtaa direktiiviä ympäristön suojelusta. suhteessa pumpun saavuttamaan nopeuteen. Ne sisältävät kaikki virtapiirit, jotka ovat välttämättömiä Turbo-V 1000 ICE - sarjan pumppujen automaattiselle toiminnalle. Apuliittimien kautta voidaan käyttää pumpun kauko-ohjattavia käynnistys- pysäytyslaitteita;...
  • Page 42 KÄYTTÖOHJEET ASENNUS HUOM VAARA! Sulkimen J1 liitin tulee jättää yhdyskaapelilla kytketyksi, mikäli ulkoisia kytkentöjä ei suoriteta. Esityhjiöpumppu Valvoja toimitetaan kolmijohtoisella sähkökaapelilla, Turbo-V-pumppu voidaan käynnistää jonka pistoke on kansainvälisesti hyväksytty. Käyttäkää samanaikaisesti. aina tätä kaapelia ja asettakaa pistoke riittävästi maadoitettuun pistorasiaan, jotta sähköiskuilta vältytään.

  • Page 43: Vianetsintä

    Pumppu pysähtyy painettaessa etupaneelissa olevaa Mikäli valvoja täytyy romuttaa, toimikaa STOP-painonappia. hävittämisessä kansallisten säädösten ja normien määräämällä tavalla. HUOLTO Turbo-V 1000 ICE -sarjan valvojia ei tarvitse huoltaa VIANETSINTÄ millään tavoin. Mahdolliset valvojaan tehtävät Joidenkin toimintahäiriöiden yhteydessä valvojan toimenpiteet tulee jättää aina valtuutetun henkilön itsemäärittelypiiri analysoi virheen, joka näkyy viesteinä,...
  • Page 44 KÄYTTÖOHJEET VIESTI VIKA KORJAUSTOIMENPITEET CHECK CONNECTION TO Toimintahäiriö pumpun valvojan Tarkistakaa, että pumpun ja valvojan liitännässä. välinen yhteyskaapeli on hyvin kiinnitetty PUMP päistään ja ettei siinä ole esteitä. Painakaa kaksi kertaa START- painonappia, jolloin pumppu käynnistyy. Lukitussignaali (interlock) liittimessä P1 Palauttakaa liittimen J1 neulojen 3 ja 8 PUMP WAITlNG INTERLOCK aktiivinen...
  • Page 45 SDUHY F HWDL DSRY WK  SULQ DSRY WK FUKVLPRSRLY K VK VFHWLNKY XJUDVLY D  DVXPSXY N QZWK • Varian 0 - 95% WKd VXVNHXKY d  + GHQ IHY U HL NDPLY D HXTXY Q K RY V RQ Varian DIRUDY WKQ ROLNKY KY PHULNKY DTHY W KVK WZQ RGKJLZY Q  WKQ 352(72,0$6,$ *,$ 7+1 (*.$7$67$6+...
  • Page 46 2'+*,(6 &5+6(:6 2'+*,(6 &5+6(:6 (*.$7$67$6+ (*.$7$67$6+ 6+0(,:6+ .,1'8126 .,1'8126 2 VXQGHWKY U Dd TD SUHY S HL QD DIHTHLY VXQGHGHPHY Q Rd 2 UXTPLVWKY d HLY Q DL HIRGLDVPHY Q Rd PH WULSROLNRY NDOZY G LR PH WK JHY I XUD DQ GHQ JLY Q HWDL NDPPLY D H[ZWHULNKY WURIRGRY W KVKd PH PLY D SULY ] D SRX HY F HL HJNULTHLY VXY Q GHVK + DQWOLY D SUR  NHQRXY NDL K DQWOLY D Turbo-V...
  • Page 47 2L UXTPLVWHY d WKd VHLUDY d 6H RULVPHY Q Hd SHULSWZY V HLd EODY E Kd WD NXNOZY P DWD Turbo-V 1000 ICE DSDLWRXY Q NDPLY D VXQWKY U KVK 2SRLDGKY S RWH HSHY P EDVK TD DXWRGLDY J QZVKd WRX UXTPLVWKY SDURXVLDY ] RXQ RULVPHY Q D...
  • Page 48 HY Q D controller PKY Q XPD DSRWDQTHLY W H VWK JLD WK DQDJQZULY V LPR VKY P D Varian VXQWKY U KVK (OHY J FHWH WK VZVWKY OHLWRXUJLY D WRX 6XQDJHUPRY d VFHWLNRY d PH WK URKY )/2: 0(7(5 $/$50...

  • Page 49: Általános Információk

    átalakítók, öndiagnosztikai és saját védelmi különleges figyelmet kell fordítani arra, hogy a vezérlő képességekkel. A vezérlők Turbo-V 1000 ICE sorozatú le ne essék, és ne szenvedjen ütődéseket. A szivattyúkat irányítanak (egy tíz lepésből álló folyamat csomagolóanyagot szabad szétszórni révén), az indítási fázisban a feszültséget és az áramot környezetben.
  • Page 50 HASZNÁLATI UTASÍTÁS TELEPÍTÉS MEGJEGYZÉS A J1 lezáró csatlakozó össze kell maradjon kötve a VESZÉLY! megfelel ő átkötéssel (jumper), ha nincs semmiféle küls ő összeköttetés. Az el ő -vákuum és a Turbo-V A vezérlő háromerű hálózati kábellel van ellátva, szivattyú egyidej ű leg is be lehetnek kapcsolva. nemzetközileg jóváhagyott csatlakozódugóval.

  • Page 51: Használati Eljárások

    A szivattyú leállításához meg kell nyomni az előlapon megsemmisítésekor a tárgykörbe tartozó nemzeti található STOP nyomógombot. normáknak megfelelően kell eljárni. KARBANTARTÁS HIBAÜZENETEK A Turbo-V 1000 ICE sorozatú vezérlők semmiféle Néhány meghibásodási esetben vezérlő karbantartást sem igényelnek. öndiagnosztikai áramkörei hibaüzenetet jelenítenek Valamennyi beavatkozást meghatalmazott személyzet...
  • Page 52 újraindításához kétszer OVERVOLTAGE tápellátási részegységében, vagy a megnyomni a START nyomógombot. vezérlő egy hamis jelet kapott. Ha az üzenet ismétlődik, a Varian-tól karbantartási beavatkozást kérni. FLOW METER ALARM tisztítóáramhoz kapcsolódó Ellenőrizni a gáz tápláló körének helyes vészjelzés. Az átáramló mennyiség, 10 működését.

  • Page 53: Informacje Ogolne

    Kontrolery te pilotuja pompy z serii Turbo-V 1000 ICE Nie wyrzucac opakowania poniewaz jest ono calkowicie (przy pomocy procesu podzielonego na dziesiec rycyklowalne i odpowiada...
  • Page 54 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA INSTALACJA PRZYPIS W przypadku kiedy nie zostanie wykonane zadne polaczenie zewnetrzne lacznik zamykajacy J1 powinien ZAGROZENIE! pozostac polaczony swoim mostkiem.Pompa wstepnej prozni pompa Turbo-V moga Kontroler jest zaopatrzony kabel zasilajacy uruchomione jednoczesnie . skladajacy trzech przewodow wtyczki odpowiadajacej standartom miedzynarodowym. Nalezy wylacznie uzywac tego rodzaju kabla zasilajacego i wlaczac wtyczke...

  • Page 55: Procedure Uzytkowania

    , specyficzne normy STOP znajdujacy sie na pulpicie frontalnym. BLEDNE INFORMACJE KONSERWACJA niektorych przypadkach uszodzen obwod do Kontroler z serii Turbo-V 1000 ICE nie wymaga zadnej autodiagnozy kontrolera pokazuje blendne informacje konserwacji. przyklady sa wymienionee w ponizszej tabeli. 87-900-905-01 (I)
  • Page 56 Nacisnac dwa razy przycisk START dla OVERVOLTAGE zasilania kontrolera kontroler ponownego uruchomienia pompy. otrzymal sygnal nieprawidlowy. Jezeli sygnal sie powtorzy zwrocic sie do Varian o przeprowadzenie konserwacji. FLOW METER ALARM Sygnal alarmowy dotyczacy przeplywu Skontrolowac prawidlowe funkcjonowanie strumienia przeczyszczajacego. obwodu zasilania gazu. Wartosc...

  • Page 57: Všeobecné Informace

    či neoprávněných zásahů a neodpovídajících specifickým státním normám, Varian PŘÍPRAVA K INSTALACI nepřijímá a nenese žádnou zodpovědnost. Kontroléry série Turbo-V 1000 ICE jsou frekvenčními Kontrolér je dodáván v speciálním ochranném balení; konvertory, jsou kontrolované mikroprocesorem a objeví-li se následkem dopravy nějaké poškození, je skládají...
  • Page 58 P Ř ÍRU Č KA K POUŽITÍ INSTALACE POZNÁMKA Uzavírající konektor J1, jestliže nebude uskute č n ě no NEBEZPEČÍ! žádné vn ě jší spojení, musí z ů stat propojený se svým m ů stkem. Č erpadla pre-prázdna a Turbo-V se mohou Kontrolér má...

  • Page 59: Používané Procedury

    Čerpadlo se zastaví stisknutím tlačítka STOP na Bude-li zapotřebí kontrolér likvidovat, musí čelním panelu. postupovat dle platných specifických státních norem. ÚDRŽBA CHYBNÉ ZPRÁVY Kontroléry série Turbo-V 1000 ICE nevyžadují žádnou některých případných poruchách údržbu. Jakýkoliv zásah musí vykonat jen pověřený autodiagnostických obvodech, kontrolér předává personál.
  • Page 60 údržby je nutné se obrátit na Varian. FLOW METER ALARM Alarm vztahující se na tok purge. Zkontrolovat, zda plynový napájecí obvod Hodnota toku zůstala oproti hodnotě funguje správně. nastavené na nižší hodnotě po dobu vyšší...

  • Page 61: Všeobecné Informácie

    “Controller” “Controllers” riadia čerpadlá série Turbo-V 1000 ICE (s nespadol, alebo niekde nenarazil. Obal nezahadzujte. procesom, rozdelenýcm do desať rozpätí) počas Je vyrobený z recyklovateľného materiálu a zodpovedá štartovacej fázy, kontrolujúc napätie a prúd vo vzťahu s smernici CEE 85/399 pre ochranu životného prostredia.
  • Page 62 NÁVOD K POUŽITIU INŠTALÁCIA POZNÁMKA Uzavierajúca prípojka J1 sa musí necha ť napojená na NEBEZPEČIE! jej mostík vtedy, ke ď nie je prevedené žiadne vonkajšie napojenie. Pred-prázdnové č erpadlo a č erpadlo Turbo- “Controller” je dodaný s trojdrôtovým napájacím káblom V môžu by ť...

  • Page 63: Postup Pri Použití

    Poistka na napájanie heater jacket. 10. Spojka pre kábel na napojenie tokometru (flow meter). 11. Uzemnenie. Zadný panel “Controller” 969-9447 e 969-9547 V prípade vady je možné využiť opravnú službu Varian POSTUP PRI POUŽITÍ alebo "Varian advanced exchange service", ktorá vymení vadný “controller”.
  • Page 64 čerpadla. “controller”, alebo “controller” dostal falošný signál. Keď sa tento oznam objaví znovu, obráťte sa na firmu Varian pre údržbu. Skontrolujte, či obvod napájania plynu Alarm, vzťahujúci sa na tok purge. FLOW METER ALARM Hodnota toku zostala pod nastavenou funguje správne.

  • Page 65: Splošne Informacije

    Med prevozom in skladiščenjem controllerjev morate Uporabnik mora temeljito prebrati priročnik in pri tem zagotoviti naslednje pogoje okolice: upoštevati vsako dodatno informacijo, ki jo nudi Varian. • temperatura: od -20 °C do +70 °C Varian ne odgovarja v slučaju celotnega ali delnega •...
  • Page 66 NAVODILA ZA UPORABO MONTAŽA OPOMBA Konektor za zapiranje J1 mora ostati priklju č en k SVARILO! svojemu mosti č ku, č e niste izvršili nikakršne druge zunanje priklju č itvije. Č rpalko predhodnega č rpanja in Controller ima napajalni vod s tremi žicami in vtikač č...

  • Page 67: Postopki Uporabe

    Varovalka na napajanju heater jacket. 10. Konektor za priključni kabel tokomera (flow meter). Ozemljitev. Ozadnja ploš č a controllerjev 969-9447 e 969-9547 V slučaju okvare obrnite se servisu Varian ali "Varian POSTOPKI UPORABE advanced exchange service", ki Vam bo dal na razpolago obnovljeni controller.
  • Page 68 Dvakrat pritisnite tipko START za ponoven OVERVOLTAGE zagon črpalke. Če se to obvestilo spet controllera, controller dobil nepristen znak. pojavi, obrnite se Varian za pravilno vzdrževanje. FLOW METER ALARM Alarm glede toka purge. Vrednost toka Preverite, da napajalno vezje plina dobro manjša nastavljenega deluje.

  • Page 69: General Information

    (within steps) dispose of the packing materials in an unauthorized Turbo-V 1000 ICE pump during the starting phase by manner. The material is 100% recyclable and complies controlling the voltage and current respect to the speed with EEC Directive 85/399.

  • Page 70: Controller Controls, Indicators And Connectors

    INSTRUCTIONS FOR USE INSTALLATION NOTE WARNING! The input signal J1connector should be left in position including the shipping links if no external connections The Turbo-V controller is equipped with a 3-wire power are made. The forepump and Turbo-V pump can be cord and plug (internationally approved) for user safety.

  • Page 71: Use Procedure

    ERROR MESSAGES MAINTENANCE For a certain type of failure, the controller will self- The Turbo-V 1000 ICE series controller does not diagnose the error and the messages described in the require any maintenance. Any work performed on the following table are displayed.
  • Page 72 If the message is redisplayed, has received a spurious signal. contact Varian for maintenance. FLOW METER ALARM Alarm relating to the purge flow. The flow Check the correct operation of the gas value remained at less than the set supply circuit.

  • Page 73: Technical Information

    TECHNICAL INFORMATION • TURBO-V 1000 ICE CONTROLLER including: power supply analog input/output section, microprocessor and digital DESCRIPTION section, display and keyboard circuits. The power The controller is available in two versions: supply converts the single phase (50-60 Hz) AC mains supply into a 3-phase, low voltage, medium •...

  • Page 74: Controller Specifications

    TECHNICAL INFORMATION CONTROLLER SPECIFICATIONS Input: Voltage 100, 120, 220, 240 Vac, 1-phase Frequency 50 to 60 Hz Power 1400 VA maximum Output for pump: Voltage 54 Vac nominal Frequency 633 Hz Power 450 W maximum water cooling 450 W air cooling 300 W Operating temperature 0 °C to +40 °C...

  • Page 75: Controller Outline

    TECHNICAL INFORMATION CONTROLLER OUTLINE The outline dimensions for the Turbo-V 1000 ICE controllers are shown in the following figures: Controller models 969-9447 and 969-9547 outline 87-900-905-01 (I)

  • Page 76: Fuse Holder And Voltage Changer Assembly

    TECHNICAL INFORMATION FUSE HOLDER AND VOLTAGE CHANGER INTERCONNECTIONS ASSEMBLY The following figure shows the Controller inter- connections. The following figure shows the location of this assembly. Controller models 969-9447 Rear panel and 969-9547 interconnection Proceed as follows to replace one or both fuses: Connection P1 •...

  • Page 77: Connection J2 - Logic Output Interconnections

    TECHNICAL INFORMATION Connection J2 Logic Output Interconnections DESCRIPTION Remote START/STOP S1 optically isolated from the internal circuit, requires a permanently closed contact (relay contact. transistor, etc.). When the contact closes the turbopump starts at high speed and when the contact opens, the turbopump is stopped.

  • Page 78: Connection J7 - Accessories And Options Interconnections

    TECHNICAL INFORMATION The 120 Vac, 1 A maximum (independent of line DESCRIPTION Voltage) output Voltage is present when the main power switch is set to 1 position and after START push- 3-11 START S1 signal 24 V, 60 mA, optically ∗...

  • Page 79: Connection J11 - Purge Flow Meter Connector

    A (3x6), which is not provided. • Insert the flat cable through the rear panel and plug Use this connector (J11) only with the Varian solid it into the socket P1 located on the Interface board. state flowmeter model 969-9114 or 969-9115. Any •...

  • Page 80: Serial Communication Port J13 And J14

    80 hex (for RS 232 and 422 only). Receive data line (pin 2) and vice versa. Consult the host computer's instruction manual for its serial port RS 485 Communication Description connections. NOTE Varian cannot guarantee compliance with regulations for radiated emissions unless all external wiring is shielded, with the shield being terminated to the metal shroud on the O-subconnector.
  • Page 81 TECHNICAL INFORMATION where: EXAMPLES: Command : START <STX> = 0x02 Source : PC Destination : Inverter <ADDR> = 0x80 (for RS 232 and RS 422 only) <ADDR> = 0x80 + device number (0...31) ADDR WINDOW 0xFF: brodcasting command (recognized by all the devices, it Source : Inverter doesn’t implicate any answer)
  • Page 82 TECHNICAL INFORMATION Command : LOW SPEED (ON) Command : FREQUENCY Source : PC Source : PC Destination : Inverter Destination : Inverter ADDR WINDOW ADDR WINDOW Source : Inverter Source : Inverter Destination : PC Destination : PC 32 30 33 30 30 30 30 30 33 38 03 38 39 ADDR STX ADD WINDOW RD 000038...

  • Page 83: Window-Based Protocol

    TECHNICAL INFORMATION Window-Based Protocol The following table, valid for the RS 232, RS 422 and RS 485 interfaces, describes each single window used in the protocol. R W T Description X X L START/STOP X X L SPEED SELECTION ACTIVE [0=HS / 1=LS] X X L SOFT START [0=NO / 1=YES] X X L WATER COOLING [0=NO / 1=YES] X X N MODE (0, 1, 2) [FRONT, REMOTE, SERIAL]...

  • Page 84: Use

    The forepump and the Turbo-V ICE pump can be switched on at the same time. P U M P NOTE When the Turbo-V 1000 ICE pump is baked by a NOTE membrane pump, the Soft Start mode should be deselected.

  • Page 85: Front/Remote/Serial Selection

    TECHNICAL INFORMATION • Press the PUMP CURRENT push-button and the display shows (e.g.): L A S T A L A R M : X X X X X When there is only one temperature sensor T = X X X X X h C = X X X X X K R P M P = X X X W...
  • Page 86 TECHNICAL INFORMATION • The display shows: Press the PUMP CURRENT push-button and the display shows C O N F I G U R A T I P U R G E F L O W S E T : X X X S C C M S O F T W A R E V E R S I Q E X X X X X X X X X...
  • Page 87 TECHNICAL INFORMATION • • Press the PUMP CURRENT push-button and the Press PUMP CURRENT push-button and the display display shows shows: L O W E R B E A R I W A T E R C O O L I S E N S O R : O F F Detection of the pump’s lower bearing temperature.
  • Page 88 TECHNICAL INFORMATION • • Choose the desired selection by pressing the CYCLE Press the PUMP CURRENT push-button to enter the push-button. value and ,if the serial option is installed, the display shows: F R O N T R E M O T E S E R R S X X X S E L E C T...
  • Page 89 TECHNICAL INFORMATION • With the RS 232/422/485 connected, a bi-directional Press PUMP CURRENT to confirm. and the display communication is established by selecting HOST. Data are shows: sent to an external computer every time the external computer asks for the values. P U M P X X X X X h The available data are listed in the read mode in the serial...

  • Page 90: Starting The Pump

    TECHNICAL INFORMATION • Starting the Pump If the Soft Start mode has been deselected the display will change and shows: If the forepump and vent device are not operated by the controller, close the vent valve and switch on the P U M P S T A R T forepump.

  • Page 91: Monitor Relay Programming

    TECHNICAL INFORMATION Monitor Relay Programming Pump Shutdown Press the front panel STOP push-button or remove the • remote signal; the power from the turbopump will be The display shows: removed and the pump will begin to slow down. T H R E S H O L D Power Failure S E T T N G ;...

  • Page 92: Rs 232/422/485 Control Mode Operation

    7(&+1,&$/ ,1)250$7,21 If the Soft Start has been deselected the display shows: P U M P R E A D Y U S E P U M P R E A D Y U S E R S 2 3 2 R E M O T E S T A R T If the Soft Start has been deselected the display shows:...

  • Page 93: Maintenance

    7(&+1,&$/ ,1)250$7,21 MAINTENANCE 87-900-905-01 (I)

Ce manuel est également adapté pour:

969-9447969-9547

Table des Matières