Monitoring; Störungshilfeplan - Dreve PCU LED Mode D'emploi

PCU LED

10. Monitoring

Die verschiedenen Prozessparameter werden durch die in der PCU LED verbaute Sensorik
erfasst. Im finalen Screen in der Anwenderebene werden diese angezeigt.
Erklärung der Parameterdarstellung im finalen Screen in der Anwenderebene
Darstellung Bedeutung
216 Laufnummer (Anzahl der Belichtungsjobs)
01.01.2000 Datum
01:17:35 Uhrzeit
040 LED-Intensität der oberen Panels in %
040 LED-Intensität der unteren Panels in %
0800 Belichtungsdauer [Stelle 1 und 2: Minuten; Stelle 3 und 4: Sekunden]
1 Vakuum AN [1 – AN; 0 – AUS]
0 Stickstoff AUS [1 – AN; 0 – AUS]
Aufschlüsseln der Fehlercodes im finalen Screen in der Anwenderebene
Code Zustand
00 Fehlerfreier Ablauf
01 Pumpe läuft während des Belichtungsvorganges Rot
02 Pumpe kann kein Vakuum ziehen
03 Deckel geöffnet
04 Kein Stickstofffluss
05 Programmablaufzeit=0
06 LED Fehler im Programm LED Test
11. Störungshilfeplan
Code Störung Ursache
00 Fehlerfreier Ablauf Entfällt
01 Pumpe läuft während Deckeldichtung der
des Belichtungsvor- Belichtungskammer
ganges undicht
Schläuche des
Vakuumsystems
undicht
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Hintergrundanzeige
Grün
Rot
Rot
Rot
Rot
Rot
Fehlerbehebung
Entfällt
Erneuern der
Deckeldichtung
Erneuern der
Schläuche
Code Störung Ursache
02 Pumpe kann kein Deckeldichtung der
Vakuum ziehen. Belichtungskammer
Abschaltung nach 150 undicht
Sekunden.
Schläuche des Vakuum-
systems undicht
Vakuumpumpe
defekt
03 Deckel geöffnet. Deckel nicht
geschlossen
Deckelsteuerung
(Endschalter) defekt
04 Kein Stickstofffluss Stickstoffventil an
der Gasflasche nicht
geöffnet. Achtung: Das
Gerät darf mit einem
maximalen Druck von
5 bar (70 psi) bedient
werden.
05 Programmlaufzeit = 0 Es wurde keine
Programmlaufzeit
gesetzt
06 LED Fehler im Programm LEDs defekt
LED Test
Weitere
Gerät zeigt keine Netzverbindung nicht
Funktion korrekt
Hauptschalter aus
Hauptschalter defekt
Fehlerbehebung
Erneuern der
Deckeldichtung
Erneuern der
Schläuche
Austauschen der
Vakuumpumpe
Deckel schließen
Deckelsteuerung
(Endschalter) aus-
tauschen
Stickstoffventil
öffnen
Programmlaufzeit
> 0 speichern
LEDs müssen von
einem Fachmann
getauscht werden
Netzverbindung
kontrollieren
Hauptschalter
einschalten
Hauptschalter
austauschen
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