Table Des Matières - Edwards APG-M-NW16 AL Mode D'emploi

Contents
Section
1 Introduction ..............................1
1.1 Scope and definitions ............................. 1
1.2 Description ......................................... 2
1.3 Gas dependency ................................... 5
2 Technical data ...........................7
2.1 Mechanical data ................................... 7
2.2 Performance, operating and storage
conditions ...................................... 7
2.3 Electrical data ..................................... 8
2.4 Materials exposed to vacuum .................. 11
3 Installation ............................. 13
3.1 Unpack and inspect .............................. 13
3.2 Fit the APG to the vacuum system ............ 13
3.3 Electrical connection ............................ 15
3.3.1 Connect to Edwards controllers or
AGD display ................................... 16
3.3.2 Connect to your own supply and control
equipment 16
4 Operation ............................... 19
4.1 Pressure measurement .......................... 19
4.2 Set-point adjustment ............................ 22
5 Maintenance ........................... 27
5.1 Atmosphere and vacuum adjustment ......... 27
5.2 Clean the Filter ................................... 30
5.3 Fault finding ...................................... 31
6 Storage and disposal .................. 33
6.1 Storage ............................................. 33
6.2 Disposal ............................................ 33
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Inhalt
Page Abschnitt
1 Einleitung ................................. 1
1.1 Umfang und Definitionen ......................... 1
1.2 Beschreibung ....................................... 2
1.3 Gasart-Abhängigkeit ............................... 5
2 Technische Daten ....................... 7
2.1 Mechanische Daten ................................ 7
Leistungs-, Betriebs- und 
2.2
Lagerbedingungen ............................. 7
2.3 Elektrische Daten .................................. 8
2.4 Werkstoffe im Vakuum .......................... 11
3 Installation ............................. 13
3.1 Auspacken und Kontrollieren .................. 13
3.2 Montage des APG in das Vakuumsystem ...... 13
3.3 Elektrische Anschlüsse .......................... 15
3.3.1 Anschluss an Edwards-Controller 
oder AGD-Anzeigegerät ..................... 16
3.3.2 Anschluss an eigene Netzversorgung und 
eigenes Steuersystem ....................... 16
4 Betrieb .................................. 19
4.1 Druckmessung .................................... 19
4.2 Schaltpunkt-Einstellung ......................... 22
5 Wartung ................................ 27
5.1 Anpassung für Vakuum- und 
atmosphärischen Druck ..................... 27
5.2 Filterreinigung ................................... 30
5.3 Fehlersuche ....................................... 31
6 Lagerung und Entsorgung ............ 33
6.1 Lagerung .......................................... 33
D021-71-885 Issue L / Ausgabe L / Edition L

Table des matières

Seite Section
1 Introduction ............................. 1
1.1 Portée et définitions ..............................1
1.2 Description ..........................................2
1.3 Dépendance par rapport au gaz .................5
2 Caractéristiques techniques .......... 7
2.1 Caractéristiques mécaniques ....................7
Performances et conditions de 
2.2
fonctionnement et de stockage .............7
2.3 Caractéristiques électriques .....................8
2.4 Matériaux exposés au vide ..................... 11
3 Installation ..............................13
3.1 Déballage et vérification ....................... 13
Montage de la jauge APG sur le système 
3.2
à vide .......................................... 13
3.3 Raccordements électriques .................... 15
3.3.1 Raccordement à des contrôleurs Edwards 
ou à un coffret d'affichage AGD ............... 16
3.3.2 Raccordement à votre propre matériel 
et équipement de contrôle ..................... 16
4 Fonctionnement ........................19
4.1 Mesures de pression ............................. 19
4.2 Réglage du point de consigne .................. 22
5 Entretien ................................27
5.1 Réglage de l'atmosphère et du vide .......... 27
5.2 Nettoyage du filtre .............................. 30
5.3 Recherche des causes de panne ............... 31
6 Stockage et mise au rebut ............33
6.1 Stockage ........................................... 33
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