Table des Matières
Publicité
15.3 Analyse du graphique
Les courbes BAC et ADC sont affichées sur l'écran d'analyse du graphique.
Vous pouvez vérifier la valeur d'une coordonnée du graphique de la forme d'onde à l'aide
de la règle.
Vous pouvez basculer entre % et mm/µm (po/µpo) pour l'unité des coordonnées. Vous
pouvez modifier le profil d'évaluation pour l'adapter à la surface cible. Appuyez sur
[Changer unité Z]/
15.3.1
Analyse de la courbe BAC
Il s'agit de la courbe du taux de longueur portante référencée sur les saillies. L'abscisse
représente les valeurs Rmr obtenues pour les niveaux de coupe (axe vertical) définis
sous la forme de pourcentages (0 à 100%) de la valeur Rt.
Spécifiez deux points sur l'axe Z de la courbe BAC dont vous souhaitez afficher la
différence de coordonnées.
Cette différence de coordonnées correspond au point d'intersection de la courbe et de la
règle 2 (P2) moins le point d'intersection de la courbe et de la règle 1 (P1).
Les coordonnées Z peuvent être spécifiées de deux manières différentes : en appuyant
sur la courbe ou en entrant les valeurs correspondantes.
■ Spécification de la coordonnée Z par pression sur la courbe (Voir 15.1 "■ Accès à l'écran d'analyse du
graphique".)
Écran d'accueil ⇒
Écran d'analyse du graphique
15-12
[Changer unité X] pour modifier les unités des axes X et Y.
A : Profondeur (µm)
A : Profondeur, B : Ligne de coupe
[Graphique] ⇒
[Analyse du graphique]
1
Appuyez sur
.
N°. 99MBB463F
Publicité
Table des Matières
