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D39722883 Issue N
Remarque :
En cas de remplacement du capteur Pirani (consultez le mode d'emploi de la jauge WRG D14701885),
il est possible qu'au début, il n'indique pas les pressions inférieures à 1 x 10
Dans ce cas, un étalonnage manuel du vide est nécessaire.
Pompez jusqu'à 1 x 10
conformément aux instructions du mode d'emploi.
La jauge WRG intègre une fonction de contrôle des erreurs. (Reportez-vous au
Tableau 32 – Contrôle des erreurs/messages de diagnostic des jauges WRG
Messages de diagnostic
Over Range
(supérieur à la plage)
Not Struck
(non amorcé)
Striker Fail
(défaillance du système
d'amorçage)
Mag Fail
(défaillance Mag)
Filament Fail
(défaillance du filament)
Under Range
(inférieur à la plage)
Page 40
Figure 26 – Ecran de configuration des jauges WRG
-5
-6
mbar (7,5 x 10
Description
(Sortie de jauge > 10,6 V)
Indique une défaillance au niveau de la jauge. Dans ce cas, remplacez-la.
(Sortie de jauge = 1,3 V)
Indique l'échec d'amorçage de la partie magnétron de la jauge.
Vérifiez si le tube de jauge présente des signes de contamination ou s'il contient
des débris. Si l'anode et la cathode ne sont pas brillantes, nettoyez la jauge
conformément aux instructions du mode d'emploi de la jauge WRG.
(Sortie de jauge = 1,2 V)
Indique que le filament du système d'amorçage est brisé.
Remplacez l'ensemble électrode (D14701802) conformément aux instructions du mode
d'emploi de la jauge WRG.
(Sortie de jauge = 1,1 V)
Indique le court-circuit de la partie magnétron de la jauge. Cette erreur est peut-être
due à la contamination ou un corps étranger. Nettoyez la WRG conformément aux
instructions du mode d'emploi.
Si cette mesure ne permet pas de résoudre le problème, procédez à l'entretien de
la jauge WRG et remplacez l'ensemble électrode (D14701802) conformément aux
instructions du mode d'emploi.
(Sortie de jauge = 1 V)
Indique une défaillance de l'élément Pirani de la jauge. La cause la plus probable est
un filament brisé. Procédez à l'entretien de la WRG conformément aux instructions du
mode d'emploi.
(Sortie de jauge < 0,95 V)
Indique une défaillance au niveau de la jauge et le module électronique doit
être remplacé.
Edwards et le logo Edwards sont des marques d'Edwards Limited.
torr) ou moins avant d'effectuer l'opération d'étalonnage
Tableau
© Edwards Limited 2020. Tous droits réservés.
-3
-4
mbar (7,5 x 10
torr).
32).
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