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Messages de diagnostic
New ID (nouvel ID)
Uknw (inconnue)
4.10.3
Jauge active Pirani (APG)
Remarque :
Pour des spécifications et des instructions détaillées concernant l'utilisation des jauges APG et APGX,
consultez les modes d'emploi appropriés (D021-71-885, D023-71-880 et D023-91-880).
La jauge active Pirani (APG) est un instrument haute pression à conductivité thermique et dépendant du gaz. La plage
de mesure des jauges APG-M et APG-MP (résistante à la corrosion) est de 100 mbars à 10
tandis que celle de la jauge APG-L est de 10 mbars à 10
une pression maximale de 1 000 mbars (750 torrs) à une précision réduite.
Remarque :
A des pressions supérieures à 600 mbars, la sensibilité est réduite et le contrôleur TIC affiche la
pression atmosphérique.
Remarque :
Avant d'utiliser une jauge APG et régulièrement ensuite, il convient d'effectuer un étalonnage
de l'atmosphère et du vide conformément aux instructions des modes d'emploi (D02171885, D02371880
et D02391880).
La jauge APG est configurée conformément aux instructions par défaut énoncées à la
Il n'existe pas d'options de configuration supplémentaires pour la jauge APG. (Reportez-vous aux options de
configuration par défaut (toutes les jauges) à la
Il n'existe pas de messages d'erreur/de diagnostic spécifiques à la jauge APG. (Reportez-vous au
Tableau 21 – Contrôle des erreurs/messages de diagnostic des jauges APG
Messages de diagnostic
Over Range
(supérieur à la plage)
Under Range
(inférieur à la plage)
4.10.4
Jauge active linéaire Pirani (APGX)
La jauge active linéaire Pirani (APGX) est un instrument haute pression à conductivité thermique, dépendant du gaz.
La plage de mesure des jauges APGX-M et APGX-MP (résistante à la corrosion) est de 100 mbars à 10
-4
(75 à 7,5 x 10
torr), tandis que celle de la jauge APGX-L est de 10 mbars à 10
Toutes les jauges indiqueront une pression maximale de 1 000 mbars (750 torrs) à une précision réduite.
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Edwards et le logo Edwards sont des marques d'Edwards Limited.
Tableau 20 – Messages d'état des jauges (suite)
Description
Indique qu'une nouvelle jauge a été connectée au contrôleur TIC. La jauge est
reconnue par le contrôleur mais doit être confirmée par l'utilisateur avant que le
contrôleur TIC autorise son fonctionnement sur le système.
Indique que la jauge connectée n'est pas reconnue par le contrôleur TIC. Dans ce cas,
ce dernier continuera d'afficher la jauge comme NFND et fournira une sortie en
volts uniquement.
Section
Description
(Sortie de jauge > 11 V)
Indique que la pression de gaz mesurée se trouve hors de la plage de la jauge ou que
la jauge présente une défaillance.
Effacez le message d'erreur, ramenez la pression du procédé dans la plage de la jauge,
faites défiler jusqu'à la ligne d'affichage de la jauge et appuyez sur "Cycle". Si la jauge
ne parvient pas à donner un relevé de pression, remplacez-la.
Ce problème survient le plus généralement avec des gaz à faible poids moléculaire,
tels que l'hélium.
(Sortie de jauge < 1,8 V)
Indique une erreur d'étalonnage ou une défaillance de la jauge.
Etalonnez la jauge conformément aux instructions du mode d'emploi. Si le problème
persiste, remplacez la jauge.
-4
-5
mbar (7,5 à 7,5 x 10
torr). Toutes les jauges indiqueront
4.10.1).
-4
D39722883 Issue N
-3
mbar (75 à 7,5 x 10
Section 4.10.1
ci-dessus.
Tableau
21).
-3
mbar
-5
mbar (7,5 à 7,5 x 10
torr).
-4
torr),
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