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Tableau 30 – Contrôle des erreurs/messages de diagnostic des jauges AIGX
Messages de diagnostic
Over Range
(supérieur à la plage)
Over Pressure
(surpression)
Emission Error
(erreur d'émission)
Under Range
(inférieur à la plage)
Initialising
(initialisation)
4.10.9
Multi-jauge (WRG)
Remarque :
Pour des spécifications et des instructions détaillées concernant l'utilisation des jauges WRG,
consultez le mode d'emploi (D14701885).
La WRG combine une jauge Pirani et une jauge magnétron inverse dans un seul instrument compact. Elle mesure
des pressions allant de l'atmosphère à 1 x 10
sortie logarithmique/linéaire dans la plage 2-10 V c.c. La partie Pirani de la jauge mesure de l'atmosphère à
-3
-3
1 x 10
mbar (7,5 x 10
torr) alors que la partie magnétron inverse mesure de 1 x 10
-3
-10
(7,5 x 10
à 7,5 x 10
torr). La sortie des deux capteurs est utilisée pour déterminer la pression entre
-2
-3
1 x 10
et 1 x 10
mbar (7,5 x 10
La jauge WRG possède des options de menu en plus de celles illustrées. (Reportez-vous aux options de configuration
par défaut (toutes les jauges) à la
Option de menu
Calibrate
(étalonner)
© Edwards Limited 2020. Tous droits réservés.
Edwards et le logo Edwards sont des marques d'Edwards Limited.
Description
(Sortie de jauge > 9,8 V)
Indique une défaillance au niveau de la jauge et la nécessité de remplacer le module
électronique.
(Sortie de jauge = 9,7 V)
Indique l'arrêt automatique de la jauge en raison d'une augmentation de la pression
-2
au-delà de 6,6 x 10
mbar (5 x 10
Réduisez la pression et réactivez la jauge.
(Sortie de jauge = 9,5 V)
Indique que le filament est brisé (permutation) ou que la jauge a été activée à une
pression trop élevée. Réduisez la pression et réactivez la jauge.
L'alimentation électrique est hors spécifications – vérifiez les câbles (longueur
et section).
(Sortie de jauge < 0,025 V)
Indique que le fusible interne de la jauge a sauté ou que celle-ci est défaillante.
Remplacez le fusible conformément aux instructions du mode d'emploi de la jauge
AIGX et si le problème persiste, remplacez le module électronique.
Indique que la jauge établit un courant d'émission. Cette opération dure généralement
5 secondes.
-9
mbar (7,5 x 10
-3
-4
et 7,5 x 10
torr).
Section
4.10.1). (Reportez-vous au
Tableau 31 – Options de configuration des jauges WRG
Description
Permet d'effectuer un réglage à l'atmosphère et au vide de la jauge WRG.
Connectez la jauge WRG au contrôleur TIC et laissez-la fonctionner à la pression
atmosphérique pendant au moins 10 minutes.
Faites défiler jusqu'à "Calibrate" et appuyez sur "Sélection".
Le message "Command Sent" (commande envoyée) apparaît pendant 1 seconde pour
confirmer l'exécution de l'instruction.
La WRG effectuera automatiquement un réglage du vide du capteur Pirani à chaque
pompage inférieur à 1 x 10
-2
torr).
-10
torr). La WRG dépend du gaz et possède une
Tableau 31
-4
-5
mbar (7,5 x 10
torr).
D39722883 Issue N
-2
-9
à 1 x 10
mbar
et à la
Figure
26).
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