Edwards TIC Mode D'emploi

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Manuel d'utilisation (52 pages)

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Contrôleur TIC (Turbo Instrument Controller)

Description

Contrôleur TIC (Turbo & Instrument Controller) 100 W

Contrôleur TIC (Turbo & Instrument Controller) 200 W

Mode d'emploi

Traduction des instructions d'origine

D39722883

Issue N

Numéro de référence

D39721000

D39722000

Sommaire des Matières pour Edwards TIC

Page 1 D39722883 Issue N Mode d'emploi Contrôleur TIC (Turbo Instrument Controller) Description Numéro de référence Contrôleur TIC (Turbo & Instrument Controller) 100 W D39721000 Contrôleur TIC (Turbo & Instrument Controller) 200 W D39722000 Traduction des instructions d’origine...
Page 2 RH15 9TW Royaume-Uni Le produit suivant Contrôleur d'instruments TIC D39700000 Contrôleur d'instruments TIC 6 jauges D39701000 Contrôleur d'instruments TIC 6 jauges avec manomètre capacitif D39702000 Turbocontrôleur TIC 100 W D39711000 Turbocontrôleur TIC 200 W D39712000 Contrôleur TIC 100 W D39721000 Contrôleur TIC 200 W...
Page 3 Informations supplémentaires concernant la législation et la conformité Directive CEM de l'UE : Équipement industriel de classe B Attention : cet équipement n'est pas destiné à être utilisé dans des environnements résidentiels et est susceptible de ne pas fournir une protection adaptée pour la réception radio dans de tels environnements. Directive RoHS de l'UE : informations concernant les exemptions de matières Ce produit est conforme aux exemptions suivantes de l'annexe III ou IV.
Page 4 Cette page est délibérément laissée vierge.
Page 5 Jauge active linéaire Pirani (APGX) .................. 33 4.10.5 Commande d'une jauge à thermocouple active (ATC-E) ............35 4.10.6 Commande d'une jauge de contrainte active (ASG) ...............36 © Edwards Limited 2020. Tous droits réservés. Page i Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 6 Service ........................55 Pièces détachées .......................55 Accessoires ....................... 56 Pour le retour d'équipements, complétez les formulaires HS à la fin de ce manuel. Page ii © Edwards Limited 2020. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 7 Interface RS232 connectée à un PC IBM à 9 contacts .............19 Interface RS232 connectée à un PC IBM à 25 contacts ............20 Connexion de l'interface RS485 à un réseau de contrôleurs TIC ..........20 Affichage du panneau avant ..................21 Raccourcis de l'écran de visualisation ................
Page 8 D39722883 Issue N Tableaux Tableau Page Equipement compatible pour la gamme de contrôleurs TIC ............2 Brochage du connecteur pour jauge .................. 4 Brochage du connecteur de la pompe turbomoléculaire ............5 Brochage du connecteur de la pompe secondaire ..............6 Brochage du connecteur auxiliaire ..................
Page 9 Portée et définitions Ce manuel présente les instructions de montage, d'utilisation et d'entretien du contrôleur TIC (Turbo Instrument Controller) d'Edwards. Il convient d'utiliser le contrôleur TIC comme indiqué dans ce manuel. Lisez ce manuel avant d'installer et d'utiliser le contrôleur TIC.
Page 10 D39722883 Issue N Tableau 1 – Equipement compatible pour la gamme de contrôleurs TIC Variante TIC Compatibilité Contrôleur TIC (Turbo & Instrument Controller) 100 W Jusqu'à 3 jauges actives, dont : APG, APGX, ATC, ASG, AIM, WRG et AIGX EXT75DX – montée en régime rapide EXT255DX - montée en régime lente...
Page 11 Poids Contrôleur TIC (Turbo & Instrument Controller) 100 W 1,8 kg Contrôleur TIC (Turbo & Instrument Controller) 200 W 1,9 kg © Edwards Limited 2020. Tous droits réservés. Page 3 Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 12 Positif de l'alimentation électrique Commun de l'alimentation électrique Entrée du signal Identification Commun des signaux Ligne de contrôle 1 Ligne de contrôle 2 Page 4 © Edwards Limited 2020. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 13 24 V c.c. Puissance maximale TIC (Turbo & Instrument Controller) 100 W : 80 W en continu, 120 W en crête TIC (Turbo & Instrument Controller) 200 W : 160 W en continu, 240 W en crête (puissance totale combinée des pompes turbomoléculaire 24 V et secondaire) Plage de tensions d'alimentation -0,5 à...
Page 14 D39722883 Issue N 2.4.3 Connecteur de la pompe secondaire Remarque : Uniquement applicable au TIC (Turbo & Instrument Controller) 200 W. Type de connecteur Prise "D" subminiature à 15 contacts (voir Figure Alimentation électrique 24 V c.c. Puissance maximale 160 W en continu, 240 W en crête (puissance totale combinée des pompes turbomoléculaire 24 V et secondaire)
Page 15 0 à 10 V (5 mA max.) Résolution 50 mV Figure 5 – Connexions des broches d'une prise "D" subminiature à 25 contacts © Edwards Limited 2020. Tous droits réservés. Page 7 Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 16 Entrée maximale : -7 à +12 V Charge de bus Le contrôleur TIC applique une charge unitaire au bus RS485. Page 8 © Edwards Limited 2020. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 17 Tableau 7 – Brochage du connecteur des communications série Broche Affectation Transmission RS232 Réception RS232 Commun RS232 Données A RS485 Données B RS485 © Edwards Limited 2020. Tous droits réservés. Page 9 Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 19 Otez tous les matériaux d'emballage et inspectez le contrôleur. S'il est endommagé, suivez les procédures de retour d'équipements d'Edwards mentionnées à la fin de ce manuel. N'utilisez pas le contrôleur s'il est endommagé. Vérifiez que le carton contient bien tous les éléments énumérés au Tableau 8.
Page 20 D39722883 Issue N Figure 7 – Dimensions d'un contrôleur TIC monté sur table (mm) 1. Pied en caoutchouc AVERTISSEMENT Veillez à bien fixer le câblage électrique pour ne pas trébucher dessus. En cas de montage du contrôleur dans un rack, dans une armoire ou sur panneau, respectez les instructions des Figures 8, et 10.
Page 21 Fixez le contrôleur en place à l'aide des quatre vis ôtées précédemment (Figure 9, élément 1).  Figure 9 – Montage en rack d'un contrôleur TIC 1. Vis de fixation et rondelle 2. Rails de guidage du rack 19" © Edwards Limited 2020. Tous droits réservés.
Page 22 Figure 10 – Schéma de la découpe de panneau Connexions électriques du contrôleur ATTENTION Ne connectez pas de manomètres capacitifs Barocel au contrôleur TIC, au risque d'endommager la jauge et d'annuler la garantie. Page 14 © Edwards Limited 2020. Tous droits réservés.
Page 23 électriques. Le non-respect de cette consigne entraîne un risque de blessure ou de mort par décharge électrique. Assurez-vous que l'interrupteur de l'alimentation électrique est coupé (off), puis branchez le contrôleur TIC sur l'alimentation électrique à l'aide d'un câble approprié.
Page 24 Branchement d'une vanne de remise à l'air Il est possible de commander une vanne de remise à l'air à partir des bornes auxiliaires à l'arrière du contrôleur TIC ou à partir de l'interface logique. Pour plus d'informations sur l'utilisation de l'interface logique pour commander une vanne de remise à...
Page 25 Si cette entrée est ouverte, la pompe secondaire ne pourra pas démarrer et s'arrêtera si elle fonctionne. Si cette entrée est connectée à 0 V lorsque le contrôleur TIC est mis sous tension, la pompe pourra démarrer lorsqu'elle en recevra la commande. Si l'entrée est connectée à 0 V pendant le fonctionnement du contrôleur, la pompe secondaire démarrera pour autant que "SYSI"...
Page 26 D39722883 Issue N SYSI : l'entrée de verrouillage du système permet de verrouiller le contrôleur TIC en cas de signal de commande ou d'échec du système. Lorsque l'entrée "SYSI" est ouverte, toutes les pompes s'arrêtent, la vanne de remise à l'air s'ouvre et les jauges s'arrêtent.
Page 27 Le contrôleur TIC intègre deux protocoles de communication série : RS232 et RS485. L'interface RS232, la plus simple, permet à un PC hôte de commander le contrôleur TIC. L'interface RS485 permet à un PC hôte de commander un petit réseau de contrôleurs TIC.
Page 28 Figure 13 – Interface RS232 connectée à un PC IBM à 25 contacts 3.3.9.2 Connexion de l'interface RS485 L'interface RS485 permet de mettre le contrôleur TIC en réseau avec d'autres contrôleurs TIC et un PC hôte comme illustré à la Figure ATTENTION Toutes les connexions de masse sont attachées ensemble.
Page 29 Annule la modification d'un élément de liste sélectionné. Passe au chiffre précédent d'une valeur numérique. CYCLE Active ou désactive la pompe ou la jauge en surbrillance. © Edwards Limited 2020. Tous droits réservés. Page 21 Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 30 D39722883 Issue N Structure des menus Les Figures présentent les raccourcis de l'écran de visualisation et la structure des menus du contrôleur TIC. Elles présentent également la fonction des boutons dans les menus. Figure 16 – Raccourcis de l'écran de visualisation...
Page 31 Serial num Menu Analogue O/P Turbo run Reset DX Reset TIC * Gamme nEXT85 uniquement, voir la Section 4.13 pour plus d'informations. © Edwards Limited 2020. Tous droits réservés. Page 23 Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 32 Navigation dans les menus Cette section présente la méthode de navigation dans les menus pour le contrôleur TIC. Quatre boutons sont affectés à la navigation dans les menus et aux tâches de configuration. Un cinquième permet de mettre les pompes/jauges sous (ON) et hors (OFF) tension.
Page 33 TIC puisse les activer/désactiver. Pour ce faire, établissez une connexion entre les broches appropriées du connecteur compatible ou utilisez un interrupteur externe. Le connecteur d'interface logique fourni avec le contrôleur TIC dispose de connexions à cette fin. Si le verrouillage du système (SYSI) est actif, appuyer sur le bouton "Cycle" ( ) ne permet pas d'activer les jauges basse pression.
Page 34 Configuration de la pompe turbomoléculaire ATTENTION Toutes les configurations du contrôleur TIC sont conservées dans une mémoire permanente, dont le contenu ne peut être modifié qu'un nombre limité de fois. La durée de vie minimale est actuellement de 100 000 modifications sur une section spécifique, ce qui équivaut à...
Page 35 4.8.1 Introduction Le contrôleur TIC peut être utilisé pour configurer les gammes de pompes "EXT, DX et nEXT". L'écran de menu présente différentes fonctionnalités en fonction de la pompe connectée. Le contrôleur TIC reconnaît la pompe connectée et l'affiche sur les écrans d'état et de configuration de la pompe. (Reportez-vous à la Figure 21).
Page 36 Le contrôleur TIC permet de définir des fonctionnalités supplémentaires disponibles sur une pompe DX ou nEXT. ATTENTION Consultez le manuel de la pompe DX ou nEXT avant d'utiliser le contrôleur TIC pour configurer la pompe DX ou nEXT. Les options de remise à l'air de la pompe turbomoléculaire peuvent être réglées pour différentes gammes de pompes conformément au...
Page 37 La remise à l'air est activée en permanence et peut être utilisée pour alimenter un refroidisseur par air Edwards. Cette option ne peut pas être réglée si la vitesse de la pompe est supérieure à 50 % de la vitesse de rotation maximale:...
Page 38 Tableau 15 – Options de configuration des pompes DX et nEXT Option de menu Description Normal Le contrôleur TIC permet de définir la "vitesse normale" comme un pourcentage de la vitesse totale. Standby speed Vous pouvez définir la vitesse en veille comme un pourcentage de la vitesse totale.
Page 39 Option de menu Description Normal Le contrôleur TIC permet de définir la "vitesse normale" de la pompe secondaire comme un pourcentage de la vitesse totale. Standby speed Vous pouvez définir la vitesse en veille de la pompe secondaire comme un (vitesse en veille) pourcentage de la vitesse totale.
Page 40 Tableau 20 – Messages d'état des jauges Messages de diagnostic Description Not Connected Indique qu'aucune jauge n'est connectée au contrôleur TIC ou que, si un câble a été (non connectée) branché, la jauge n'est peut-être pas connectée à l'autre extrémité. Disconnected La jauge a été...
Page 41 Toutes les jauges indiqueront une pression maximale de 1 000 mbars (750 torrs) à une précision réduite. Remarque : A des pressions supérieures à 600 mbars, la sensibilité est réduite et le contrôleur TIC affiche la pression atmosphérique. Remarque : Avant d'utiliser une jauge APG et régulièrement ensuite, il convient d'effectuer un étalonnage...
Page 42 Calibrate Permet de régler la jauge APGX à l'atmosphère et le vide. (étalonner) Connectez la jauge APGX au contrôleur TIC et laissez-la fonctionner à la pression atmosphérique pendant au moins 10 minutes. Faites défiler jusqu'à "Calibrate" et appuyez sur "Sélection".
Page 43 Avant de connecter la jauge ATC-E au contrôleur TIC, vous devez la configurer pour le type de tube de jauge (ATC-D ou ATC-M) à utiliser. Pour ce faire, sélectionnez la couleur du corps de tube à l'aide de l'interrupteur à deux positions.
Page 44 Figure 24 – Ecran de configuration des jauges ASG Reportez-vous au Tableau 27 pour des informations d'erreur et de diagnostic relatives aux jauges ASG. Page 36 © Edwards Limited 2020. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 45 électronique. Striking Indique une tentative d'amorçage de la jauge. (amorçage) Le contrôleur TIC continuera dans ce mode pendant 15 minutes. Not Struck Indique l'échec d'amorçage de la jauge dans un délai de 15 minutes. (non amorcé) Cette erreur est probablement due à...
Page 46 éléments sélectionnables par l'utilisateur. La jauge intègre également une gamme complète de sorties de diagnostic, qui sont affichées sur le contrôleur TIC. La jauge AIGX possède des options de menu en plus de celles illustrées. (Reportez-vous aux options de configuration par défaut (toutes les jauges) à...
Page 47 Permet d'effectuer un réglage à l'atmosphère et au vide de la jauge WRG. (étalonner) Connectez la jauge WRG au contrôleur TIC et laissez-la fonctionner à la pression atmosphérique pendant au moins 10 minutes. Faites défiler jusqu'à "Calibrate" et appuyez sur "Sélection".
Page 48 (Sortie de jauge < 0,95 V) (inférieur à la plage) Indique une défaillance au niveau de la jauge et le module électronique doit être remplacé. Page 40 © Edwards Limited 2020. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 49 La durée de cycle correspond à la durée de fonctionnement du cycle en cours. (Uniquement sur les  pompes DX et nEXT). Activation ou désactivation de la vanne de remise à l'air du TIC.  Menu Service - Appuyez sur Entrée pour passer à l'écran nEXT Service (entretien nEXT) suivant.
Page 50 Activation ou désactivation de la pompe secondaire.  Puissance consommée par la pompe secondaire.  Vitesse de la pompe secondaire en pourcentage de la vitesse totale.  Page 42 © Edwards Limited 2020. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 51 La durée de cycle correspond à la durée de fonctionnement du cycle en cours.  (Uniquement sur les pompes nXDS). Activation ou désactivation de la vanne de remise à l'air du TIC.  Menu Service - Appuyez sur Entrée pour passer à l'écran nXDS Service (entretien nXDS) suivant.
Page 52 Si le réglage du point de consigne marche ou arrêt se traduit par un non-respect des règles ci-dessus, le point de consigne non réglé sera modifié pour correspondre au nouveau point de consigne saisi. Page 44 © Edwards Limited 2020. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 53 Show one gauge and pumps (afficher une jauge et les pompes) - Cet écran permet d'afficher les informations  relatives à la pompe turbomoléculaire et une jauge. © Edwards Limited 2020. Tous droits réservés. Page 45 Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 54  logiciel sur le contrôleur TIC à l'avenir. Serial Number – Le numéro de série du contrôleur TIC est utilisé pour contacter Edwards à propos du produit.  Analogue O/P (sortie analogique) – La valeur de sortie analogique (unités internes) est utilisée pour contacter ...
Page 55 En outre, certaines pompes turbomoléculaires peuvent fournir du courant à un contrôleur TIC pour maintenir le fonctionnement des vannes de remise à l'air connectées à ce dernier. Le courant renvoyé au contrôleur TIC n'est pas disponible pour les jauges, l'interface logique ou le refroidisseur par air. Tous ces composants s'arrêtent jusqu'au rétablissement du courant.
Page 57 Le non-respect de ces consignes risque d'occasionner des blessures et d'endommager l'équipement. Le contrôleur TIC ne contient pas de pièces pouvant être entretenues par l'utilisateur. N'ouvrez pas l'appareil. Renvoyez-le à votre centre de service Edwards le plus proche pour le faire réparer.
Page 58 Au besoin, utilisez un chiffon doux et sec pour nettoyer l'extérieur du contrôleur. N'utilisez pas de liquides corrosifs ou abrasifs. Si l'intérieur du contrôleur nécessite un nettoyage, Edwards recommande de renvoyer l'appareil au fournisseur ou au centre de service Edwards le plus proche.
Page 59 Mises à jour logicielles Le logiciel du contrôleur et le logiciel TIC PC Monitor seront mis à jour dans le cadre du programme de développement permanent d'Edwards. Les mises à jour et le mode d'emploi associé seront disponibles sur le site www.upgrades.edwardsvacuum.com.
Page 61 La directive européenne 2002/96/CE relative aux déchets d'équipements électriques et électroniques s'applique au contrôleur et aux câbles associés. Edwards propose à ses clients européens un service de recyclage du contrôleur/ des câbles en fin de vie. Consultez Edwards pour plus d'informations sur le retour du contrôleur/des câbles à des fins de recyclage.
Page 63  Service Les produits Edwards sont pris en charge par un réseau mondial de centres de service Edwards. Chacun d'eux propose un vaste éventail d'options, dont : la décontamination d'équipement, l'échange standard, les réparations, la reconstruction et l'essai conformément aux spécifications d'usine. L'équipement entretenu, réparé ou reconstruit est retourné...
Page 64 Cordon rallonge DX/EXDC de 1 m (16/0,2) D39700835 Cordon rallonge DX/EXDC de 3 m (16/0,2) D39700836 Cordon rallonge DX/EXDC de 5 m (16/0,2) D39700837 Page 56 © Edwards Limited 2020. Tous droits réservés. Edwards et le logo Edwards sont des marques d’Edwards Limited.
Page 65 (via une boîte à relais en option) LCPV16EKA 24 V c.a./c.c. C41751200 LCPV25EKA 24 V c.a./c.c. C41752200 Boîtes à relais Boîte à relais TIC 3 x 240 V 3 A D39700804 Boîte à relais TIC comb. D39721806 Câbles d'interface Câble d'interface logique, 2 m D39700833 Câble d'interface RS232, 2 m...

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