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Exploitation avec pé-
riphérique
Mode intermittent (uniquement pompes à membrane)
Le mode intermittent peut allonger la durée de vie des membranes d'une pompe à mem-
brane raccordée. Le mode intermittent requiert soit une pompe à membrane à relais
semi-conducteur intégré, soit une boîte à relais interconnectée à un relais semi-conduc-
teur. En fonction de la puissance absorbée, la pompe primaire est enclenchée ou éteinte.
La puissance absorbée permet d'obtenir un rapport pour la pression de vide primaire
fournie. Les seuils d'interruption et d'enclenchement de la pompe primaire sont ré-
glables. Des fluctuations de la puissance absorbée des pompes primaires à vide et dif-
férentes pressions de vide primaire des pompes primaires requièrent le réglage indivi-
duel du mode intermittent.
Pfeiffer Vacuum recommande le mode intermittent entre 5 et 10 hPa. Un manomètre et
une vanne de dosage sont requis pour le réglage des seuils de commutation.
Enclenchez le système sous vide avec la fonction « groupe de pompage » et attendez
le temps d'accélération.
Créez une pression de vide primaire de 10 hPa à l'aide d'une admission de gaz via
une vanne de dosage.
Lisez et notez le paramètre [P:316].
Réglez le seuil de commutation de la pompe primaire sur la puissance d'entraînement
déterminée pour une pression de vide primaire de 10 hPa à l'aide du paramètre
[P:711].
Réduisez la pression de vide primaire à 5 hPa.
Lisez et notez le paramètre [P:316].
Réglez le seuil d'interruption de la pompe primaire sur la puissance d'entraînement
déterminée pour une pression de vide primaire de 5 hPa à l'aide du paramètre
[P:710].
Enclenchement temporisé
Un enclenchement simultané de la pompe turbomoléculaire et de la pompe primaire peut
conduire à des flux de gaz indésirables. En fonction des exigences du processus ou de
l'application, la pompe primaire peut être enclenchée avec du retard. Le retard à l'enclen-
chement dépend de la vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire et il est fixé à
6 Hz dans la commande électronique d'entraînement.
Le signal peut également être utilisé pour la commutation d'une vanne de sécurité de
vide primaire.
Selon la configuration, plusieurs appareils accessoires peuvent être raccordés à la
pompe turbomoléculaire et être commandés via les paramètres de la commande élec-
tronique d'entraînement.
Chauffage
Enclenchez ou éteignez le chauffage à l'aide du paramètre [P:001].
L'activation du chauffage du boîtier raccordé dépend du point de commutation de la vi-
tesse de rotation 1 (réglage en usine 80 % x f
Ventilateur
Deux options dans la configuration des raccords permettent le fonctionnement perma-
nent ou l'enclenchement et l'interruption à température contrôlée d'un refroidissement à
l'air raccordé (regardez à la p. 19, chap. 7.3) . Les valeurs seuils sont fixées de manière
propre à chaque type dans la commande électronique d'entraînement.
Vanne de la purge de gaz neutre
Enclenchez ou éteignez une vanne de la purge de gaz neutre via la sortie préconfigu-
rée, à l'aide du paramètre [P:050].
Jeu de paramètres Pfeiffer Vacuum
).
Nominal
25
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