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Traitement des messages d'anomalie
1. Lisez les codes d'erreur via les appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC.
2. Éliminez la cause de l'anomalie.
3. Remettez à zéro le message d'anomalie avec le paramètre [P:009].
Code
Problème
d'erreur
Err001
Vitesse de rotation ex-
cessive
Err002
Surtension
Err006
Erreur de démarrage
Err007
Fluide d'exploitation bas
Err008
Unité d'entraînement
électronique - raccorde-
ment de la pompe turbo-
moléculaire défaillant
Err010
Erreur appareil interne
Err021
L'unité d'entraînement
électronique ne détecte
pas la pompe turbomolé-
culaire
Err041
Défaut du moteur
Err043
Erreur de configuration
interne
Err044
Température excessive,
électronique
Err045
Température excessive,
moteur
Err046
Erreur d'initialisation in-
terne
Err073
Surcharge du palier ma-
gnétique axial
Err074
Surcharge du palier ma-
gnétique radial
Err089
Rotor instable
Err091
Erreur appareil interne
Err092
Panneau de connexion
inconnu
Err093
Évaluation de la tempéra-
ture du moteur défaillante
– Utilisez les interfaces préconfigurées ou les vignettes d'écran sur les appareils de commande
Pfeiffer Vacuum.
Causes possibles
● Appareil défectueux
● Unité de courant inappro-
priée
● Tension d'entrée de secteur
incorrecte
● Seuil de temps de démarra-
ge réglé trop bas
● Débit de gaz dans les réci-
pients suite à des fuites ou
vannes ouvertes
● Toujours en-dessous du
point de commutation de
contrôle de vitesse, le temps
de démarrage s'écoule
● Fluide d'exploitation bas
● Raccordement à la pompe
turbomoléculaire défaillant
● Appareil défectueux
● Version de logiciel incompa-
tible
● Appareil défectueux
● Appareil défectueux
● Appareil défectueux
● Refroidissement insuffisant
● Refroidissement insuffisant
● Appareil défectueux
● Taux de remontée de pres-
sion trop élevé
● Taux de remontée de pres-
sion trop élevé
● Impacts, vibrations
● Appareil défectueux
● Appareil défectueux
● Appareil défectueux
● Appareil défectueux
Action corrective
● Contacter
Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmer uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
● Contrôler le type d'unité de courant
● Vérifier la tension d'entrée secteur
● Confirmer uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
● Ajuster le temps d'accélération aux condi-
tions du processus
● Contrôler les fuites ou les vannes fermées
dans les chambres de vide
● Régler le point de commutation de vitesse
de rotation
● Contrôler le fluide d'exploitation
● Confirmer uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
● Contrôler les raccordements
● Confirmer uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmer uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmer uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmer uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Améliorer le refroidissement
● Vérifier les conditions de fonctionnement
● Améliorer le refroidissement
● Vérifier les conditions de fonctionnement
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Vérifier les conditions de fonctionnement
● Confirmer uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
● Vérifier les conditions de fonctionnement
● Confirmer uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
● Vérifier les conditions de fonctionnement
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Dysfonctionnements
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