Alcatel EVA 600 Manuel D'utilisation

CMI manuel pour EVA600
EPFL - STI - CMI
Manuel d'utilisation de l'Alcatel EVA 600.
Responsables : philippe.langlet@epfl.ch
guy.clerc@epfl.ch

Table des matières

EPFL - STI - CMI
Manuel d'utilisation de l'Alcatel EVA 600.
Introduction
Dangers
Arrêt d'urgence
Mode opératoire
1. Ouverture de la chambre.
2. Chargement du matériau à évaporer.
3. Chargement / Déchargement des plaques.
4. Fermeture et Mise sous vide de la chambre.
5. Opérations avant les dépôts.
6. Évaporation par canon à électrons.
7. Évaporation par effet Joule.
8. Opérations après les dépôts.
9. État normal de l'installation.
10. Matériaux :
11. Positions de l'obturateur.

Introduction

Cette installation a les caractéristiques suivantes :
•
Vide limite :
•
Après 3 heures de pompage 1.10
•
Après 12 heures de pompage 3.10
•
Température d'évaporation : température ambiante.
•
Mode d'évaporation :
•
Un canon à électrons avec carrousel pour 4 matériaux différents.
•
2 bornes pour évaporations par effet joule.
•
Deux balances pour la mesure en épaisseur en cours de dépôt (une balance pour le canon à électrons et
l'autre pour l'effet joule).
•
Capacité: 3 planétaires contenant chacun 5 plaques 100mm ou 1 plaque 150mm.
Les évaporations sont obtenues à l'aide de :
•
Un canon à électrons de marque TFI TELEMARK de type 267 E-GUN, avec 4 creusets : n°1 Al, n°2 Cr,
n°3 Ti, n°4 : Cu, Ni.
•
2 sources à effet Joule, courant maximum 400 A.
Le vide est assuré par :
•
Une pompe primaire à palettes Alcatel
•
Une pompe turbomoléculaire Alcatel 5900 CP
Le contrôle du vide est réalisé à l'aide de:
•
Une jauge Pirani
•
Une jauge compacte Pirani / cathode froide type PKR 250
-6
mbar.
-7
mbar.
23 mai 2001
dernière correction le 11 août 2005
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G.-F. Clerc / Ph. Langlet
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