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CMI manuel pour EVA600
8. Opérations après les dépôts.
8.1. Arrêter la rotation des planétaires: module ROTATION PORTE-SUBSTRAT, bouton CONTINU.
8.2. Couper les refroidissements :
8.2.1. ENCEINTE
8.2.2. PORTE-SUBSTRATS
8.3. Attendre 10 minutes à 20 minutes, selon la durée du dépôt, pour bien refroidir les bornes électriques
de la nacelle (Évaporation par effet Joule) et le canon à électrons .
8.4. Sur le module MAIN POWER (Évaporation par canon à électrons), presser le bouton OFF juste à
côté de la clé et tourner la clé de l'alimentation du canon sur OFF.
8.5. Couper le refroidissement SOURCES.
8.6. Procéder à l'ouverture de la chambre (cf. paragraphe 1).
8.7. Procéder au déchargement des plaques (cf. paragraphe 3).
8.8. Remettre l'équipement sous vide (cf. paragraphe 4).
8.9. Se déconnecter de l'équipement via le PC de zone.
9. État normal de l'installation.
9.1. La touche pompage est allumée, c'est-à-dire que l'installation est sous vide.
9.2. Les porte substrats sont dans la chambre sous vide avec dans une plaque de charge dans chaque
logement.
9.3. L'intérieur de la chambre est propre, si des particules se détachent des parois ou d'autres parties,
nettoyer à l'aide de l'aspirateur (demander information aux responsables).
9.4. Les matériaux dans les creusets pour l'évaporation par faisceau d'électrons sont en quantité suffisante.
9.5. Le joint de la porte de la chambre est en bon état. Le cas échéant, le nettoyer à l'aide d'un papier salle
blanche, SANS ALCOOL.
10. Matériaux :
Les matériaux les plus couramment évaporés sont :
Matériau
11. Positions de l'obturateur.
Type d'évaporation
Canon à électrons
(E-beam)
Joule - Nacelle n°1
(Cu , Ag)
Joule - Nacelle n°2
.
(CHAMBER)
(SUBST. HOLDER).
Evaporation
Cr
Au
Cu
Cu
Al
Ti
Ag
Ni
(Au)
Bornes / Creuset
E-beam
Joule
E-beam
Joule
E-beam
E-beam
Joule
E-beam
Position de l'obturateur (shutter)
N° 1
Ouvert
Ouvert
Fermé
23 mai 2001
dernière correction le 11 août 2005
Creuset n°2
Bornes n°2
Creuset n°4
Bornes n°1
Creuset n°1
Creuset n°3
Bornes n°1
Creuset n°4
N°2
Fermé
Fermé
Ouvert
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G.-F. Clerc / Ph. Langlet
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