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CMI manuel pour EVA600
3. Chargement / Déchargement des plaques.
3.1. Avec la canne de mise à la terre, toucher le canon à électrons.
3.2. Tourner le carrousel, à l'aide du bouton DISCONTINU, pour que le planétaire soit bien en face.
3.3. Maintenir le planétaire et libérer la goupille de maintien (goupille carrée sur l'axe de rotation du
planétaire).
3.4. Sortir le planétaire, axe central vers le haut et le poser sur la table de chargement toujours axe vers le
haut.
3.5. Fermer la porte de l'enceinte le temps du chargement d'un planétaire.
3.6. Libérer délicatement les plaques en pivotant les languettes de fixation (ou ressort de maintien).
3.7. Retirer la plaque et la remplacer par une autre. Le cas échéant, utiliser une plaque de charge.
3.8. Remettre la languette de fixation de telle manière que le point de contact sur la plaque soit au centre.
3.9. Remettre en place le planétaire en insérant son axe dans son logement jusqu'au fond. Tourner le
planétaire jusqu'à ce l'ergot d'entraînement s'insère dans sa rainure. Fixer le planétaire en pivotant la
goupille carrée de maintien.
4. Fermeture et Mise sous vide de la chambre.
4.1. Fermer la porte et presser la touche ISOLEMENT, tout en appuyant sur la porte. Vérifier que la
pression chute dans la chambre jusqu'à 3.10
pompage primaire enclenche le pompage secondaire.
4.2. Attendre au minimum 3 heures pour atteindre un niveau de vide suffisant.
5. Opérations avant les dépôts.
5.1. Enclencher les trois refroidissements:
5.1.1. SOURCES.
5.1.2. ENCEINTE
5.1.3. PORTE-SUBSTRATS
5.2. Mettre les planétaires en rotation : module ROTATION PORTE-SUBSTRAT, bouton CONTINU.
Contrôler que le potentiomètre réglant la vitesse de rotation est sur la bonne valeur (5.0 en général).
6. Évaporation par canon à électrons.
6.1. Sur le module MAIN POWER, tourner la clé de l'alimentation du canon sur ON et presser le bouton
ON juste à côté de la clé.
6.2. Après quelques secondes presser sur OFF sur le module HIGH VOLTAGE, pour allumer la première
LED (AIR/CAB) des interlocks. Les 2 x 4 LED's sont des interlocks, si l'une ou l'autre de ces LED's
n'est pas allumée, il est impossible de faire fonctionner le canon à électrons.
6.3. Laisser chauffer l'alimentation pendant 4-5 minutes.
6.4. Pendant ce temps, remplir la feuille de route : métal (aux) déposé(s), n° d'évaporation, opérateur, date,
pression initiale et les paramètres d'évaporation. Les feuilles de route précédentes peuvent être
consultées.
6.5. Contrôler que l'obturateur est bien fermé en position n°2.
6.6. Contrôler que le creuset sélectionné est correct.
6.7. Contrôler que la haute tension est bien à zéro : potentiomètre VOLTAGE ADJUST à 0 sur le module
HIGH VOLTAGE.
6.8. Sur la console de commande, basculer l'interrupteur HV sur ON.
6.9. Sur la console de commande, régler les potentiomètres Position Latérale, Amplitude Latérale,
Fréquence Latérale, Position Longitudinale, Amplitude Longitudinale, Fréquence Longitudinale
d'après les valeurs données dans la Table des conditions de dépôt (cf. paragraphe 9) ou d'après les
valeurs données sur la dernière feuille de dépôt correspondant au même matériau.
6.10. Augmenter la tension jusqu'à 10 kV avec le potentiomètre VOLTAGE ADJUST, module HIGH
VOLTAGE.
6.11. Sur la console de commande, basculer l'interrupteur SOURCE sur ON.
6.12. Attendre un minimum de 30 secondes pour le préchauffage du filament.
.
(CHAMBER)
(SUBST. HOLDER).
dernière correction le 11 août 2005
-1
mbar. Le passage de ce seuil après quelques minutes de
23 mai 2001
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G.-F. Clerc / Ph. Langlet
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