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CMI manuel pour EVA600
Dangers
Avertissement : Cette section contient des informations que l'opérateur doit connaître et comprendre afin de
minimiser les risques d'accident. Il est impératif de lire cette introduction à l'utilisation de l'évaporatrice Alcatel
et de suivre les instructions. En cas de dommages occasionnés à l'installation, l'utilisateur pourra se voir exclure
l'accès à l'équipement.
De la haute tension est utilisée. A l'ouverture de la chambre, il est impératif de mettre à la terre le corps du canon
à électrons en cas de problèmes électriques (haute tension).
Après chaque dépôt remettre à 0 les potentiomètres (Haute Tension, Puissance).
Toute intervention dans l'installation (chambre, baies électriques, bâtis, etc.) se fait
uniquement par un membre du
Arrêt d'urgence
L'installation peut être arrêtée d'urgence à l'aide d'un bouton poussoir « coup de poing ».
En cas d'arrêt d'urgence, appeler un responsable membre du CMI.
1. Ouverture de la chambre.
1.1. Se connecter sur l'équipement via le PC de zone.
1.2. Faire circuler l'eau chaude au minimum 5 minutes (bouton rouge: eau chaude source + chambre).
1.3. Couper l'eau chaude (bouton rouge: eau chaude source + chambre).
1.4. Presser sur la touche isolement : fermeture des vannes de la ligne de pompage pour isoler la chambre.
1.5. Tourner la clé pour la remise à l'atmosphère sur ON position horizontale.
1.6. Attendre 3-4 minutes. Une fois à pression atmosphérique le flux d'azote est coupé automatiquement,
remettre la clé en position verticale OFF.
2. Chargement du matériau à évaporer.
2.1. Avec la canne de mise à la terre, toucher le canon à électrons.
2.2. Les matériaux sont dans le coffre-fort dans la zone 4.
2.3. Evaporation e-beam:
2.3.1. Mettre l'obturateur (shutter) en position ouverte (position n°1).
2.3.2. Sélectionner le creuset désiré (n°1: Al ; n°2: Cr ; n°3: Ti ; n°4: Cu ou Ni) en pressant sur le
bouton correspondant du module CRUCIBLE INDEXER.
2.3.3. Contrôler le niveau du métal dans le creuset. Le cas échéant, le compléter.
2.3.4. Dans le cas de l'utilisation du creuset n°4, remplacer le creuset en place par celui du matériau
choisi. Cette intervention ne nécessite aucun outillage.
2.3.5. Mettre l'obturateur (shutter) en position fermée (position n°2).
2.4. Evaporation par effet joule :
2.4.1. Mettre l'obturateur (shutter) en position ouverte (position n°1: Cu / Ag ; position n°2: Au).
2.4.2. Le cas échéant, remplacer la nacelle (Cu ou Ag).
2.4.3. Compléter la nacelle avec les grains du métal correspondant.
2.4.4. Mettre l'obturateur (shutter) en position fermée (position n°2: Cu / Ag ; position n°1: Au).
2.4.5.
CMI.
Mode opératoire
23 mai 2001
dernière correction le 11 août 2005
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G.-F. Clerc / Ph. Langlet
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