Description Générale; Fonctionnement Du Mfm (Mass Flow Meter); Fonctionnement Du Mfc (Mass Flow Controller) - Burkert 8741 Manuel D'utilisation

5.2 Description générale
L'appareil est disponible soit :
• En tant que capteur de débit massique (MFM, Mass Flow
Meter), l'appareil mesure le débit massique du gaz pour lequel
il a été étalonné.
• En tant que contrôleur de débit massique (MFC, Mass Flow
Controller), l'appareil mesure et régule le débit massique du
gaz pour lequel il a été étalonné. À la différence d'un MFM, un
MFC contient une vanne de régulation. Le gaz doit être propre
et sec.
La communication numérique avec l'appareil (par ex. pour la
transmission de la valeur de consigne ou de la valeur réelle) se
fait par CANopen*- ou büS**.
* C ANopen – Bus de terrain basé sur CAN (Controller
Area Network) utilisé en technique d'automatisation
pour la mise en réseau d'appareils.
** b üS – Bus de terrain basé sur CANopen, avec des
fonctionnalités supplémentaires.
5.3 Fonctionnement du MFM (Mass
Flow Meter)
Un capteur qui mesure le débit massique est intégré dans le MFM.
La valeur mesurée est transmise à un appareil externe via une sortie
numérique (bus de terrain).
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Type 8741 / 8742
Description de l'appareil
5.4 Fonctionnement du MFC (Mass
Flow Controller)
Structure :
• Un capteur mesure le débit massique.
• Pour la régulation du débit massique, le MFC est doté d'un
système électronique et d'une électrovanne proportionnelle
fonctionnant sans frottement et ayant une sensibilité de fonc-
tionnement élevée.
remarque
la présence d'impuretés peut entraîner un dysfonctionnement.
Pour un fonctionnement parfait du MFC, un filtre doit être ins-
tallé en amont de l'appareil dans le cas de fluides encrassés.
Voir chapitre 6.4.1 Qualité des fluides de service.
Fonctionnement :
Le capteur mesure le débit massique et transmet la valeur mesurée
au système électronique intégré. L'électronique compare la valeur
réelle mesurée (x) à la valeur de consigne indiquée au préalable
(w) et calcule la grandeur de réglage (y) à transmettre à la vanne
proportionnelle pour contrôler son ouverture.
Le débit massique est soit maintenu stable au moyen d'une valeur
constante, soit modifié selon un profil prédéfini.
La régulation fonctionne indépendamment des variations de
pression ou de l'augmentation de la résistance d'écoulement, qui
peut provenir par exemple de l'encrassement du filtre.
La vitesse de réaction élevée de la vanne proportionnelle et le temps
de réponse court du capteur déterminent le temps de régulation
total.
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